【課題】可動子の揺動運動が安定し、ジッタの発生が効果的に抑制される光偏向器などとして構成され得る揺動体装置を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、回転軸の回りに揺動可能に支持された少なくとも1つの可動子105、109を含み、可動子の揺動時の渦気流を規制する渦気流規制部材111を備える。渦気流規制部材111は、可動子の揺動運動により回転軸から最遠の位置にある可動子109の端部が描く軌跡曲面の少なくとも一部に近接して伸びる近接面を有する。近接面は凹凸形状201、202を持つ。揺動体装置は光偏向器として構成される場合、1つの可動子109に光偏向素子108が設けられ、少なくとも1つの可動子105にトルクを印加して可動子を揺動させる駆動手段104、110が備えられる。 （もっと読む）

【課題】ミラーデバイスと支持基板の位置がずれないように正確に接合することが可能な光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】光反射部２１３を備えた質量部２１と、質量部２１を支持するための支持部２４，２５と、質量部２１を回動可能に支持部２４，２５に連結する、弾性部を備えた連結部２２，２３とが形成された基体２に凹部６１ａ，６１ｂが形成され、基体２と接合し、基体２を支持する支持基板３に凹部６１ａ，６１ｂにはまる凸部６３が形成されている。凸部６３は半田合金をボール状に配置することにより形成されている。凹部６１ａの表面には金属膜６２が形成され、凹部６１ａの金属膜６２と凸部６３を半田接合することにより、凹部６１ａと凸部６３は固定される。一方、凸部６３は凹部６１ｂにはめ込まれるが固定はされない。 （もっと読む）

デバイスの可動構成部品の永久付着、または吸着を軽減する電気機械システムデバイスを製作する方法が提供される。その方法は、改善されたおよび再現性のある表面粗さを持つアモルファスシリコン犠牲層を提供する。アモルファスシリコン犠牲層はさらに、電気機械システムデバイスで使用される普通の材料への優れた付着性を提示する。
（もっと読む）

【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、質量部を互いに直交する２軸のそれぞれの軸まわりに回動させることができるアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】電源回路５は、第１の周波数で周期的に変化する第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２を発生する第１の電圧発生部５１と、第１の周波数と異なる第２の周波数で周期的に変化する第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２を発生する第２の電圧発生部５２と、第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２と第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２とを重畳する電圧重畳部５３とを備え、電圧重畳部５３で重畳された電圧を各圧電素子４１、４２、４３、４４に印加することにより、質量部をこれを支持する１対の弾性部に沿った第１の軸線まわりに第１の周波数で回動させつつ第１の軸線に直交する第２の軸線まわりに第２の周波数で回動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 所定の周波数の摂動電圧を用いた出力光強度安定化制御中に、出力光強度変動が出力光強度安定化制御に伴う正常値の範囲を超える異常値を示したときに、誤動作による出力光強度の変動を防ぐ。
【解決手段】 光スイッチに適用され、光パスを接続する複数のミラーの角度を設定する印加電圧（ＤＣ成分）に所定の周波数の摂動電圧（ＲＦ成分）を重畳してミラーを駆動し、各出力ポートにおける出力光強度を検出してミラーの角度を調整しながら出力光強度を安定化する制御を行う光スイッチ制御装置において、摂動電圧として少なくとも２つの周波数を合成した摂動電圧を用い、出力光強度から当該摂動周波数ごとの光強度信号を抽出し、各摂動周波数の光強度信号の変動が想定される正常範囲内にある摂動周波数を選択し、その摂動周波数の光強度信号に基づいて出力光強度の安定化制御を行う手段を備える。 （もっと読む）

【課題】可視画像と非可視画像とを重複して表示する表示するに際して肉眼での認識性を損なうことなく非可視画像の機器での認識を容易にし、かつ一般的に使用される表示環境下においても、雑音に強く大量のデータ伝送を可能とする。
【解決手段】可視光を発光する可視光源１０１と、可視光を空間的に変調することにより生成される可視画像を形成する可視画像形成手段１０２と、非可視光を発光する非可視光源１０３と、非可視光を空間的に変調することにより生成される非可視画像を形成する非可視画像形成手段１０４と、可視画像と非可視画像を合成する画像合成手段１０５とを備える表示装置１００において、非可視画像形成手段１０４は、１次元又は２次元のデータコード生成手段１０６を備える。 （もっと読む）

【課題】従来よりも小さい駆動電力で、レーザー光を広い範囲に走査、偏向することが可能な光偏向器及びその駆動方法を提供する。
【解決手段】開口部１１ａを有する枠部１１、開口部内に配置された板状のミラー部１２、枠部とミラー部とを連結する一対の梁部１３ａ，１３ｂを有する光偏向部１０と、これに離間して設けられた永久磁石２とを備え、一対の梁部は、その各重心を結ぶ線ｙ１がミラー部の重心Ｏ１２を通るように配置され、ミラー部は、その一面Ａ１２が光を反射する反射面であり、一面とは反対側の面Ｂ１２に、上記線に対して対称に配置された一対のコイル１５ａ，１５ｂを有し、永久磁石は、一対のコイルとそれぞれ対向する一対の傾斜面部１７ａ，１７ｂを有し、一対のコイルと一対の傾斜面部との距離Ｌａ，Ｌｂが、ミラー部の重心に近づくに従ってそれぞれ短くなるように構成する。 （もっと読む）

【課題】光の利用効率が高く、部品点数を少なくして装置の長大化・大型化を抑制でき、短波長域を含む広い波長域で透過スペクトルが急峻で狭帯域特性を発揮する多段構造のリオフィルタと同等の波長可変フィルタを実現する。
【解決手段】波長フィルタ３１は、それぞれ２つの楔状複屈折板からなる第１及び第２バビネソレイユ位相板３２，３３を有する。両バビネソレイユ位相板は、内側の複屈折板３５，３７同士をその間に入射側偏光子３８と内側反射膜４０と出射側偏光子３９とを挟んで積層し、外側の複屈折板３４，３６の各主面にそれぞれ外側偏光子４２〜４４，４６〜４８と外側反射膜４５，４９とを光の進行方向に沿って配置する。入射光Ｌ1は入射側偏光子によりｓ偏光とｐ偏光とに分光され、それぞれ第１及び第２バビネソレイユ位相板内部を多重反射しながら透過し、出射側偏光子により合成されて出射する。 （もっと読む）

【課題】本発明は光学反射素子の駆動精度を高めることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部１と、このミラー部１とそれぞれ第一の支持部２で連結された、対の第一の音叉形圧電振動子３と、これらの第一の音叉形圧電振動子３とそれぞれ第二の支持部５で連結され、対の第一の音叉形圧電振動子３の外周を囲う枠体６と、この枠体６とそれぞれ第三の支持部７で連結された第二の音叉形圧電振動子８と、これらの第二の音叉形圧電振動子８とそれぞれ第四の支持部１０で連結された支持体１１とを備え、第一の音叉形圧電振動子３は、それぞれ第一の支持部２の両側に第一、第二のアーム１２、１３を有し、対の第一の音叉形圧電振動子３の少なくともいずれか一方は、第一または第二のアーム１２、１３上に第一のモニター電極１７を有するものとした。これにより本発明は、光学反射素子の駆動精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】共振周波数検出動作で、振動系の共振周波数を比較的高速に求められる揺動体装置、共振周波数検出方法を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、揺動体を有する振動系100と、振動系を駆動する駆動部120と、検出手段140、152と、駆動振幅制御部154と、駆動周波数制御部156を有する。検出手段は揺動体の揺動振幅を検出する。駆動振幅制御部は駆動信号の振幅をフィードバック制御する。駆動周波数制御部は駆動部120への駆動信号の周波数を制御する。共振周波数検出動作において、駆動振幅制御部154のフィードバック利得を、他の動作状態でのフィードバック利得より低い値に設定し、駆動振幅制御部が、検出される揺動振幅が目標値となる様に駆動振幅を制御する状態とする。この状態で、駆動周波数制御部が、複数の駆動周波数での夫々の駆動状態における当該周波数と前記制御振幅に基づき、駆動振幅が最小となる駆動周波数を振動系の共振周波数とする。 （もっと読む）

【課題】 ミラーを有する片持ち梁を備えており、耐久性の高い光学素子及び光学装置を提供する。
【解決手段】 光学装置２は、光学素子４，６で構成されている。光学素子４は、基板１０と密着用膜１８と片持ち梁３０とを備える。片持ち梁３０は、密着用膜１８と反対側の面に成膜されたアルミニウム膜２６（反射面）を有する。片持ち梁３０は、外力が作用しない場合、内部応力によって密着用膜１８から大きく離反する屈曲形状をとっている。片持ち梁３０と密着用膜１８の間に外力を作用させた場合、片持ち梁３０の密着面２８と密着用膜１８の密着用基準平面２０とを密着させることができる。光学素子４は、外力を利用して形状を変化させることにより、光ビームの進行方向を切換えることができる。 （もっと読む）

【課題】正確に減衰量を制御すること。
【解決手段】ＭＥＭＳアクチュエータ１００は、固定電極１００ｂと可動電極１００ａとの重なる面積が大きくなるにしたがい（静電容量が大きくなるにしたがい）、固定電極１００ｂと可動電極１００ａとの間隔が広くなるように、固定電極１００ｂと可動電極１００ａとを形成する。このように固定電極１００ｂと可動電極１００ａとを形成することによって、固定電極１００ｂと可動電極１００ａとの位置関係によらず、静電力が一定になる。 （もっと読む）

【課題】面倒となり易い加工などを要することなく振動系の振動子の回転軸回りの慣性モーメントを可逆的に変化させことができる揺動体装置、これを用いる光偏向装置を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、回転軸70の回りに揺動可能に支持された振動子40を含む振動系と、振動子40を回転軸70の回りに揺動させるための駆動手段とを有する。振動子40には、形状記憶合金部10を含む形状可変部60が設けられている。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で製造されうるアクチュエータ及びその製造方法を提供することを目
的とする。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、基板に形成された平板状の可動板(21)と、可動
板(21)の両端を基板に回動可能に支持する一対のトーションバー(24)と、可動板(21)の表
面に形成される反射膜(22)と、可動板の裏面に形成されるコイル(23)と、可動板(21)の一
部に形成されて該可動板(21)の表裏面を貫通する貫通孔部(31)とを備え、可動板(21)とト
ーションバー(24)の表面に形成される導電性膜によって反射膜(22)が形成され、該導電性
反射膜(22)とコイル(23)の一端とが貫通孔部(31)で接続され、該コイル(23)の他端がトー
ションバー(34)の裏面に延在する(28)。 （もっと読む）

【課題】より簡易な工程で製造されるアクチュエータ及びその製造方法を提供することを
目的とする。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、平板状の可動板(21)と可動板(21)を基板に対し
て揺動可能に支持する一対のトーションバー(24），(24)とを一体形成し、可動板(21)の
中央部に反射鏡(22)を設け、可動板(21)の周縁部に通電により磁界を発生するコイル部(2
3)と、このコイル部(23)に静磁界を与える磁界発生手段とを備え、可動板(21)とトーショ
ンバー(24)上に反射ミラー(22)と引き出し配線(26)とが導電性膜によって一体的に形成さ
れる構成を備えている。 （もっと読む）

【課題】光干渉変調器ディスプレイを照明するためのシステム、方法、及び装置を提供する。
【解決手段】光源から光干渉変調器構造の中へと光を向けるために反射構造、散乱中心、及び蛍光材料又は燐光材料を含む光リダイレクタを備える。光源１００から発せられた光２０２が前面光プレート２００に入り、反射構造体２１０の傾斜面２０４で素子３１０に向けて方向を変えるように前面光プレート２００の構造が最適化される。光干渉変調素子３１０の中へと向きを変えられた光２０２の大部分は、光干渉変調素子３１０で反射され、基板３００及び前面光プレート２００を通って外に伝達される。前面光プレート２００に使用される材料は、プラスチック又はガラスのような任意の好適な透明又は部分透明材料であることが出来る。 （もっと読む）

【課題】 可動部を小さく変位させることによって光ビームの進行方向を大きく変化させる光学素子を提供する。
【解決手段】 第１物体１０と第２物体２０とアクチュエータ４２，５８，９０を備えている。第１物体１０は、光ビームに対して透明であり、屈折率がｎ_１であり、光ビームを射出する第１面１４を持っている。第２物体２０は、第１面１４から射出された光ビームを入射する第２面２１を持っており、光ビームに対して透明であり、屈折率がｎ_２である。アクチュエータは、第１面１４と第２面２１が当接する第１位置関係（ａ）と、第１面１４と第２面２１が光ビームの半波長以上離反する第２位置関係（ｂ）のいずれかに切換える。
光学素子２が置かれている雰囲気の屈折率がｎ_０であるとすると、第１面１４に対する光ビームの入射角θが、（ｎ_０／ｎ_１）＜sin θ＜（ｎ_２／ｎ_１）の関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】光利用効率が高く、確実にスペックルノイズを抑えることが可能な画像表示装置を提供すること。
【解決手段】レーザ光を射出する光源１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂと、該光源１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂから射出されたレーザ光を被投射面５０に向かって走査する走査手段３０と、光源１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂから射出されるレーザ光の出力波長を時間的に変化させる波長変化手段４０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大気導入部と連通部を連通する部分を塞ぐような異物が付着しても、アクチュエータ空隙に疎水膜となるガス、液体を滞りなく導入して静電型アクチュエータの特性ばらつきを小さくする。
【解決手段】振動板１２と固定電極１４との間の空隙１３の耐久性を向上させるために、空隙１３に通じた連通路１５に通ずる大気導入孔からガス等を導入するが、大気開放部１６の固定電極１４を有する基板側に大気開放部溝４５を設け、製造工程において大気開放孔４２から大気開放部１６に異物が入り込んでも大気開放部１６に設けた大気開放部溝４５を介して空隙１３にガス等を導入することができ、静電型アクチュエータの特性ばらつきを小さくするとともに精度を高める。 （もっと読む）

光学特性を有する複数の電極マイクロメカニカルアクチュエータを備えた画素のマトリクスを有するガス放電アドレスディスプレイである。
（もっと読む）