【課題】複数ビームの光出力レベルの調整を、往復光走査時の任意の復路において、適正時間内に行える、新たな光走査装置を提供する。
【解決手段】複数光ビーム発生手段１１と、発生した複数の光ビームを感光体１９に向けて偏向するビーム偏向手段１４と、複数光ビーム発生手段１１からの光ビームの各々に対応し、対応する光ビームの偏向方向を選択的に変更可能な複数の光偏向素子を有するマトリックスビーム偏向手段１０と、感光体１９に対する往復走査の際、往路では任意のグループの光偏向素子が、対応する光ビームを感光体１９に対する走査方向に偏向し、復路では任意のグループは、走査方向以外の方向（Ｂ１〜Ｂ３）に偏向するように光偏向素子の偏向方向を制御する制御手段Ｃｔｒと、偏向された光ビームの光量を検出する光検知素子１７と、検知結果に基づいて、対応する光ビームの光量を複数光ビーム発生手段に調整させる光出力制御手段８０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】回路規模およびコストを低減することが可能なティルトミラー駆動装置を提供すること。
【解決手段】ティルトミラーの駆動量に応じたデューティー比を有するパルス信号を生成する生成手段（演算部４０）と、生成手段によって生成されたパルス信号を分岐する分岐手段（分岐部５０）と、分岐手段によって分岐されたパルス信号を一方の駆動電極に印加する第１印加手段（ドライブ回路６５）と、分岐手段によって分岐されたパルス信号を反転する反転手段（反転回路６１）と、反転手段によって反転された反転パルス信号を、他方の駆動電極に印加する第２印加手段（ドライブ回路６４）を有する。 （もっと読む）

【課題】バックプレートの内面側に電子回路を含むインターフェロメトリックモジュレータベースディスプレイを提供する。
【解決手段】ディスプレイを、透明基板１０４と、透明基板を通して光を反射するよう構成されたる反射素子を含むインターフェロメトリックモジュレータのアレイ１０２と、インターフェロメトリックモジュレータのアレイに隣接する第１の面を含み、第１の面上に、上記反射素子の変位を制御するよう構成された電子回路１１４が製作された、バックプレーン１０８と、バックプレーン上の電子回路とインターフェロメトリックモジュレータのアレイとの間に電子通信を提供する複数の電気的接続と、を具備するように構成する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳデバイスの実装において、ＭＥＭＳ要素を外力による衝撃から守る様々な特性を盛り込む。
【解決手段】実装されたデバイスは、基板１０１、該基板１０１に形成されたインターフェロメトリックモジュレータディスプレイアレイ１１１及びバックプレート１２１を、具備する。上記バックプレートは、ディスプレイアレイ１１１の上に、上記バックプレートと上記ディスプレイアレイとの間のギャップ１２４を挟んで配置される。上記ギャップの深さは、上記バックプレートの全体に渡って変化する。上記バックプレートは、湾曲され得るか、または上記ディスプレイアレイに対向するその内表面にリセスを有し得る。上記バックプレートの厚さは可変し得る。上記デバイスは、上記バックプレートと一体化された強化構造を含み得る。 （もっと読む）

乾燥剤が集積されたＭＥＭＳ装置を提供するためのシステム及び方法が提供される。一実施形態では、乾燥剤を備えたドライ組成物が、ＭＥＭＳ装置のバックプレート又は基板上にインパクトスプレーされて、基板と融合する。他の実施形態では、乾燥剤は、その乾燥剤がインパクトスプレーされる表面に接着するようにインパクトスプレーされる。更に他の実施形態では、インパクトスプレーされた表面は、乾燥剤で含浸される。更に他の実施形態では、乾燥剤は、適切な無機バインダと組み合わせられて、その後、その乾燥剤がインパクトスプレーされる表面に接着するようにインパクトスプレーされる。更に他の実施形態では、乾燥剤は、所望の粒径の粉末に微粒化又は粉砕されて、その後、表面上にインパクトスプレーされる。従って、乾燥剤の粒子又は粉末は、インパクトスプレープロセスを介してターゲット表面上に融合する。
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【課題】パッケージ構造と、干渉変調器をパッケージ化するための方法。
【解決手段】透明基板810の上部に干渉変調器830が形成されている。バックプレーン820はシール840を使用して透明基板810へ接合され、干渉変調器は、バックプレーンまたはシール内の開口部850を通して、周りの環境に露出されている。透明基板とバックプレーンとを接合し、望ましい乾燥剤、剥離材料、および／または自己整合性単分子膜をパッケージ構造800内へ取入れた後で、開口部をシールする。 （もっと読む）

【課題】表示画質を向上させつつ、装置の小型化を図ることが可能な表示装置を提供する。
【解決手段】光源１１からの入射光Ｌ１を任意の反射角で個別に反射して映像用光変調素子１３へ照射することが可能な複数の個別反射素子１２１を有する照明光制御素子１２を設ける。また、映像用光変調素子１３の形状に応じた均一の強度分布が形成されるように、個別反射素子１２１の反射角を個別に制御する。これにより、従来よりも省スペースな構成によって、表示映像に用いる照射光Ｌ２の強度分布の均一化が実現される。 （もっと読む）

【課題】光スイッチの接続パスに対する光学特性の測定作業の効率を向上させることができる光学特性測定装置を提供する。
【解決手段】光学特性測定装置１は、光入力部１１と、入力側１×１００スイッチ１２と、出力側１００×１スイッチ１３と、モニタ部１４と、測定装置制御部１５と備えている。この構成を有することにより、人手を介さず、自動的に光スイッチ１００の光学特性の測定ができるので、結果として、従来よりも光学特性の測定作業の効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】スペックルを確実に抑制できるとともに、高い解像度を確保できる画像表示装置を提供する。
【解決手段】本発明の画像表示装置１は、レーザー光を射出するレーザー光源５Ｒ，５Ｇ，５Ｂと、レーザー光をスクリーン４上で走査して画像を描画するＭＥＭＳミラー３（光走査部）と、光源から入射されたレーザー光を透過させて光走査部に向けて射出させ、レーザー光の透過領域の中心部ではレーザー光の位相を時間的に変化させず、透過領域の周縁部ではレーザー光の位相を時間的に変化させる光透過板８（光透過部材）と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】出射光の光軸のずれを効果的に抑制しつつ、発光波長域の選択性が向上された光源装置を提供すること。
【解決手段】この光源装置１は、光源３と、光源３から照射された光Ｌ１のうち、所定の波長範囲の光を選択的に透過させる波長選択素子７と、波長選択素子７によって透過された光Ｌ２を互いに直交する２つの直線偏光成分である偏光成分Ｌ３，Ｌ４に分離する偏光分離素子８と、それぞれの偏光成分Ｌ３，Ｌ４の光軸に対して所定の角度範囲を成すように配置され、その角度範囲に応じて偏光成分Ｌ３，Ｌ４の透過波長域が異なるように構成されたバンドパスフィルタ１０ａ，１０ｂとを備え、波長選択素子７は、所定の角度範囲に対するバンドパスフィルタ１０ａ，１０ｂの透過波長域の範囲を少なくとも含む光を、偏光分離素子８に向けて透過させる。 （もっと読む）

【課題】パワー損失を減らし、フレキシブルな周波数ルーティング機能を有する光学コネクトシステムを提供すること。
【解決手段】本発明の光学クロスコネクト１００は、複数の入力ファイバ１１２から光学信号を受領するレンズ列１１４を有する。このレンズ列は複数のレンズ素子から構成され、各レンズ素子は、光学信号をＭＥＭＳミラー列１１８、１２２に向ける。即ち、集光する。このＭＥＭＳミラー列は、複数のミラー素子を有し、各素子は制御信号を所望のミラー素子に加えることにより一つあるいは複数の回転軸の周囲で傾斜する。かくして光学信号は様々なパスに沿って様々な出力ファイバ１２８に向けることが出来る。 （もっと読む）

【課題】観察光の解像度および光量を保ちつつ対象部位を観察できる光変調装置およびレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】光変調装置１Ａは、第１の方向に延びる第１の光路に沿って入射したレーザ光Ｌｒを変調する反射型ＳＬＭ７と、照明光Ｌｉを透過させる透光性部材５上に形成され、反射型ＳＬＭ７から前面に入射したレーザ光Ｌｒを、第１の方向と交差する第２の方向に延びる第２の光路上へ反射させるとともに、背面に入射した照明光Ｌｉを第２の光路上へ透過させる誘電体多層膜鏡６と、誘電体多層膜鏡６から照明光Ｌｉ及びレーザ光Ｌｒを受け、照明光Ｌｉ及びレーザ光Ｌｒを集光する集光レンズ９とを備える。 （もっと読む）

【課題】可動部をアレイの並び方向に直交する軸回りに傾斜せしめる駆動電極の電極面積を広くとれ、駆動効率を向上できる光偏光器アレイを提供すること。
【解決手段】支持部材と、可動部と、前記可動部の少なくとも一面に設けられた反射面と、前記可動部の前記反射面とは反対側の面に設けられている可動部対向電極と、前記支持部材と前記可動部に連結され、少なくともアレイ方向と直交する軸の回りに前記可動部を傾斜可能に支持する少なくとも１対の弾性部材と、アレイ方向と直交する軸の回りに前記可動部を傾斜せしめる第一の駆動電極と、前記第一の駆動電極ごとに印加する電圧を個別に制御する第一の電圧制御手段と、を有し、前記第一の駆動電極は、隣接する前記軸どうしの間で、かつ隣接する前記可動部にまたがるように形成され、前記第一の電圧制御手段は、前記可動部を傾斜させるときは、隣接する前記第一の駆動電極間に所定の電位差を付与する。 （もっと読む）

本発明は、マイクロマシニング型の構成素子（Ｓ）を回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）を中心として回動させるためのカスケード接続されたマイクロマシニング型のアクチュエータ構造体に関する。本発明によれば、トーションばね装置が設けられており、該トーションばね装置が、一方で保持体（ＶＳ）に取り付けられていて、他方でマイクロマシニング型の構成素子（Ｓ）に取付け可能であり、トーションばね装置が、複数のトーションばね（ｆ１，ｆ２，ｆ３；ｆ’，ｆ_ｉ’；ｆ１’’，ｆ２’’；ｆ１ａ’’’，ｆ１ｂ’’’，ｆ２’’’；ｆ１ａ’’’’，ｆ１ｂ’’’’，ｆ２’’’’）を有しており、該複数のトーションばねが、回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）に沿って延びているかまたは回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）に対して平行に延びており、回動駆動装置が設けられており、該回動駆動装置が、複数の回動駆動体（Ａ１，Ａ２，Ａ３；Ａ_ｉ’；Ａ１’’，Ａ２’’；Ａ１’’’，Ａ２’’’；Ａ１’’’’，Ａ２’’’’）を備えており、該回動駆動体が、トーションばね装置（ｆ１，ｆ２，ｆ３；ｆ’，ｆ_ｉ’；ｆ１’’，ｆ２’’；ｆ１ａ’’’，ｆ１ｂ’’’，ｆ２’’’；ｆ１ａ’’’’，ｆ１ｂ’’’’，ｆ２’’’’）に結合されており、各回動駆動体（Ａ１，Ａ２，Ａ３；Ａ_ｉ’；Ａ１’’，Ａ２’’；Ａ１’’’，Ａ２’’’；Ａ１’’’’，Ａ２’’’’）が、回動軸線（ＤＡ；ＤＡ’；ＤＡ’’；ＤＡ’’’；ＤＡ’’’’）を中心とした１つのマイクロマシニング型の構成素子（Ｓ）の全回動角に数分の一ずつ寄与するようになっている。
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【課題】フレームと可動部とを連結する連結部のバネ定数の変動を抑制するのに適したマイクロ可動素子、および、そのようなマイクロ可動素子を備える光スイッチング装置を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、フレーム３０、可動部２０、及びこれらを連結する連結部４２が形成されているマイクロ可動基板Ｓ１と、支持基材Ｓ２と、マイクロ可動基板Ｓ１のフレーム３０および支持基材Ｓ２の間に介在してフレーム３０および支持基材Ｓ２に接合する複数のスペーサ９０Ａ，９０Ｂと、フレーム３０および支持基材Ｓ２の間に介在してフレーム３０および支持基材Ｓ２に接合するスペーサ部９１Ｃ，９２ならびに当該スペーサ部を覆ってフレーム３０および支持基材Ｓ２に接合する接着剤部９３を有する少なくとも一つの強固定部９０Ｃとを備える。強固定部９０Ｃは、二つのスペーサ９０Ａ，９０Ｂの間に位置する。 （もっと読む）

【課題】分光素子の歩留まりを低下させることなく、分光素子の加工精度に起因する波長分散補償器の挿入損失およびその個体差を低減する。
【解決手段】波長分散補償器１は、分光素子としてのＶＩＰＡ板１４と、ＶＩＰＡ板で生成された所定波長の光束を反射してＶＩＰＡ板１４に戻す反射ミラーとしての自由曲面ミラー１６と、を備える。ＶＩＰＡ板１４の周囲には温度調整素子１７ａ，１７ｂが配置されている。制御部２０は、温度調整素子１７ａ，１７ｂを個別に制御してＶＩＰＡ板１４に所定の温度分布を生じさせて波長分散補償器１の挿入損失を低減する。 （もっと読む）

【課題】微小ミラー型表示素子を備える投射型表示装置において、スクリーン上に投射される映像の画質を向上させることが可能な投射型表示装置を提供すること。
【解決手段】投射型表示装置１は、スクリーン３上に所定の映像を投射するための投射レンズ８と、照明光を発生させる光源４と、光源４からの照明光を変調する微小ミラー型表示素子２とを備えている。微小ミラー型表示素子２は、投射レンズ８に向けて照明光を反射するオン位置と、投射レンズ８の入射瞳から外れる位置に向けて照明光を反射するオフ位置とに傾斜する微小ミラー素子を備えている。オン位置における微小ミラー素子によって反射されたオン光の光軸Ｌ２は投射レンズ８の光軸Ｌ３に対して傾いている。 （もっと読む）

【課題】表示情報に応じて電気光学パネルを照射する光量を面内で部分的に可変可能とすることができる光制御素子及びそれを用いた電気光学装置を提供すること。
【解決手段】光制御素子２０は、光出射面２０ａを有し、一端部２０ｂから光が入射される導光板２４と、導光板２４の光出射面２０ａと対向する面側に配置され、導光板２４に入射された光を散乱させる絶縁性の第１の液体３１と、第１の液体３１と非混合性の導電性の第２の液体２５とを有する複数の光散乱素子３６と、光散乱素子３６の第１の液体３１と第２の液体２５との界面を可逆的に変化させるため、複数の光散乱素子３６に対して印加する電圧を前記光散乱素子３６毎に制御する制御部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧に対するミラーの傾斜角の線形応答性を改善する。
【解決手段】ミラー基板に対して回動可能に支持されるミラー１４０３と、ミラー基板と対向する電極基板の上に形成された駆動電極１３０３−１〜４と、電極基板の上に形成された、ミラーの回動中心を支えるピボットと、駆動電極に電圧を印加する制御回路とを備え、駆動電極は、ピボットの周りの電極基板上に複数形成され、バイアス電圧Ｖｂを印加した状態で、正側駆動電極と負側駆動電極との間に電圧差を生じさせる。これにより、ミラー１４０３を回動させることができ、駆動電圧Ｖに対する傾斜角θの線形応答性を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】構造体を異方性エッチングする際の補正エッチングマスクを配置するスペースをより小さくできて、シリコンウェハ上により多くの構造体を配置できる構造体の作製方法、エッチングマスク付きシリコン基板を提供する。
【解決手段】構造体の作製方法、エッチングマスク付きシリコン基板において、単結晶シリコン基板１００上に、凸部コーナーを持つ目標形状に対応する基本エッチングマスク１０３と、補正エッチングマスク１０７を形成する。補正エッチングマスク１０７の第１の部分は＜１１０＞方向に伸び、両方の端部が基本エッチングマスクに連結され、１つの端部が基本エッチングマスク１０３の凸部コーナーに連結される。第２の部分は、第１の部分の＜１１０＞方向に伸びる辺で第１の部分に接合し、第２の部分は１つの凸部コーナーを有し、開口部は、第１の部分と第２の部分が接合する境界を跨いで伸びる。 （もっと読む）