【課題】トーションバー加工時のばらつきを抑制する光偏向器、光偏向器の製造方法、光学装置及び表示装置を提供する。
【解決手段】光偏向器Ａは、光を反射する可動板１と、一端が可動板に固定され、他端が支持体に固定され、可動板を回転振動可能に軸支する一対のトーションバー２ａ、２ｂと、可動板を回転振動させる駆動機構と、を備えている。このトーションバー２ａ、２ｂは、単結晶シリコンを含んでおり、また、トーションバー２ａ、２ｂの可動板１表面に垂直であってトーションバー軸支方向の断面における形状は、断面の可動板表面垂直方向の略中央部を中心線とし、略相同である２つの略等脚台形が上底及び下底の何れか短い方同士を中心線で接合した形状である。 （もっと読む）

本発明は、レーザアブレーションマイクロリソグラフィに関する。具体的には、画素毎に複数のミラーを使用して、ミラーに損傷を与えない程度にＳＬＭミラー面上のエネルギー密度を維持しつつ、レーザアブレーションを容易にするエネルギー密度にエネルギーを集中させる、新たなＳＬＭ設計およびパターニング方法を開示する。複数のマイクロミラーは、現行のＤＭＤ装置をはるかに超える非常に高い周波数で再設定することができる。
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【課題】光走査領域の近傍に設置しても、大きな光走査領域を確保することのできる画像形成装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置１００は、レーザー光ＬＬを出射する光出射部２００と、光出射部２００から出射したレーザー光ＬＬを反射する光反射部２２を有し、光反射部２２を互いに直交する回動中心軸Ｘ１、Ｙ１にそれぞれ回動させて、光反射部２２で反射したレーザー光ＬＬを回動中心軸Ｘ１、Ｙ１にそれぞれ走査する光スキャナー１と、回動中心軸Ｘ１、Ｙ１の交点と光出射部２００との相対的位置関係を一定に保ちつつ、光スキャナー１を所定の軸線まわりに回動させる駆動手段３００とを有している。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器の特性を長期にわたって安定させる。
【解決手段】電極、静電力により電極に引き付けられて揺動する可動部、および、可動部に支持されて可動部と共に揺動する反射鏡をそれぞれが有する単位素子を複数実装された基板と、反射鏡の間から基板に向かって差し込む光を遮断する遮光層とを備える。上記空間光変調器において、遮光層は、反射鏡および基板の間に配されてもよい。また、上記空間光変調器において、遮光層は、反射鏡および可動部の間に配されてもよい。 （もっと読む）

【課題】光の反射効率が高く、製造プロセスが簡便な空間光変調素子を提供する。
【解決手段】空間光変調素子の製造方法であって、電極が形成された電極側基板を準備するステップと、電極との間の静電力により可動する可動部、可動部の動きに連れて傾斜する反射鏡および可動部を支持する支持部を有する可動側基板を準備するステップと、可動側基板の支持部を電極側基板に貼り合わせるステップとを備える製造方法が提供される。可動側基板を準備するステップは、基板本体を準備するステップと、基板本体の一面をエッチングすることにより可動部を形成するステップと、可動部上に反射鏡を成膜するステップと、基板本体に他面をエッチングすることにより支持部を形成するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器の特性を長期間にわたって安定させる。
【解決手段】基板と、基板に対して揺動する反射鏡とを備えた空間光変調器であって、反射鏡は、反射膜材料により形成された一対の反射膜材料層と、非反射膜材料により形成され、一対の反射膜材料層に挟まれた非反射膜材料層とを含む積層体を有し、一対の反射膜材料層の一方が反射鏡の反射面となる。反射膜材料はアルミニウムであり、非反射膜材料は窒化珪素であってもよい。また、反射膜材料層の一方は、反射面を被覆する気密且つ透明な保護層を更に有してもよい。 （もっと読む）

【課題】露光量を低下させることなく、パターンの描画を高精細に行う。
【解決手段】光ビーム照射装置２０の空間的光変調器（ＤＭＤ２５）は、複数のミラーを直交する二方向に配列して構成されている。空間的光変調器を、光ビームによる基板の走査方向に対して傾けて配置し、かつ、空間的光変調器の複数のミラーを、直交する二方向の内の走査方向に近い方向に、ミラーの数が異なる複数の区画に分割して使用する。駆動回路（ＤＭＤ駆動回路２７）により、空間的光変調器の各区画のミラーを、区画毎に異なる周期で駆動し、ミラーの数が多い区画の駆動周期を、ミラーの数が少ない区画の駆動周期より短くする。ミラーの駆動周期が短い区画では、パターンの描画が高精細に行われる。露光時間と露光回数とを掛けた露光量は、区画により大きく変動しない。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器の特性を長期間にわたって安定させる。
【解決手段】基板と、基板に対して揺動する反射鏡とを備えた空間光変調器であって、反射鏡は、反射面と、反射面に交差する面を含み反射面の裏面に配されて反射面に対する曲げ応力に対抗する構造材とを有する。上記空間光変調器において、構造材は、面に更に交差する底面を有してもよい。また、上記空間光変調器において、構造材は、反射面と共に包囲した空間と、当該空間の外部との間を連通させる貫通孔を有してもよい。 （もっと読む）

【課題】透過光により発熱することなく、画素に応じて第１の偏光光又は第２の偏光光を目的の方向へ導くことができる光偏向装置を提供する。
【解決手段】基板と、基板の複数の端部にそれぞれ設けられ、各上部にストッパを有する複数の規制部材と、頂部を有して基板の上面に設けられる支点部材と、光反射領域を有し、かつ固定端を持たず、かつ少なくとも一部に導電性を有する部材からなる導電体層を有し、かつ基板と支点部材とストッパの間の空間内で可動的に配置される板状部材と、基板上にそれぞれ設けられ、板状部材の導電体層とほぼ対向している複数の電極と、を備えており、板状部材が支点部材を中心として静電引力により傾斜変位することにより、光反射領域に入射する光が反射方向を変えて光偏向する光偏向装置において、ストッパ上に直接又はストッパ上部に立体的に接続して偏光素子を具備し、偏光素子がワイヤグリッド型偏光素子であることを特徴とする。 （もっと読む）

所望の数のデバイスだけが活性化されるように、並列に駆動される電気機械デバイス（例えば、ＭＥＭＳまたはＮＥＭＳ）のアレイに電荷が運ばれうる方法及び装置が説明される。特定の実施形態は、干渉モジュレータ（ＩＭＯＤｓ）を用いて実装された画像表示に関連している。特に、そのようなディスプレイにおいてグレースケールを達成するための空間ハーフトニング技術が説明されるが、これは従来の空間ハーフトニング技術に関連したパワーペナルティーという性質を有していない。
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【課題】ミラー面の振れ角に応じて出力が変化するように配置された受光素子を備えた構成の採用による小型化を図ながらも、ミラー面において光ビームを入射させる位置が制限されたりミラー面の振れ角が制限されるのを防止することが可能なＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、ミラー形成基板１に接合された第１のカバー基板２および第２のカバー基板３とを備える。受光素子６は、ミラー面２１で反射された光のうち第１のカバー基板２を透過する主光線Ｉ１ではなく第１のカバー基板３におけるミラー面２１側の表面で反射された副光線Ｉ２を受光しミラー面２１の振れ角に応じて出力が変化するように、第１のカバー基板２の上記表面側に配置してある。 （もっと読む）

【課題】 光変調効率（光利用効率）を改善することを可能とする投写型映像表示装置を提供する。
【解決手段】 投写型映像表示装置１００は、光源１０から出射された光を投写ユニット８０側に透過するように構成されており、複数の微小開口部７１を有する透過型デジタル素子７０と、光源１０から出射される光を透過するとともに、光源１０から出射される光を複数の微小開口部７１のそれぞれに分配するように構成されたマイクロレンズ６１とを備える。複数の微小開口部７１のそれぞれは、開閉可能に構成されたシャッタ７３を有する。 （もっと読む）

【課題】レーザー光を用いた走査型の画像表示装置において、従来のガウスビームを用いて画像表示を行う際に生じる不具合を解消し、鮮明で高解像度感が得られる画像表示を可能として、高品質な画像表示が可能な画像表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】高次のエルミートガウスビームＬを射出する光源部１０と、光源部から射出されたエルミートガウスビームＬを被投射面５０上で２次元方向に走査して画像を描画する走査光学系２０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】捩り撓みヒンジで連結されて相対的に回転する微細加工部材の改良された構造体を提供する。
【解決手段】基準フレームを動的プレート５８に連結し、フレームを捩りバーではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６でプレートに連結する。そして、折返し捩り撓みヒンジ９６はプレート５８をフレーム側から支持するもので、３つの基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃから成り、各基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの縦軸９８の向きは、プレート５８の回転軸６２に垂直ではなく、折返し捩り撓みヒンジ９６の中間部１０４が、基本ヒンジ素子１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃの直隣接端１０６を相互連結し、基本ヒンジ素子１０２ｂは、フレームに対して、軸６２を中心とするプレート５８の角回転を測定する捩りセンサ１０８を備えるように構成する。 （もっと読む）

選択された駆動シーケンスに従って画素アレイを有するディスプレイに表示画像を書き込む方法である。一駆動シーケンスはシーケンスにおいてアレイのライン内のそれぞれの色の行を位置指定したのちに第二のラインを位置指定する位置指定を含む。他の一駆動シーケンスはアレイのそれぞれのラインの第一の色の行を位置指定したのちにアレイのそれぞれのラインの第二の色の行を位置指定する。
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【課題】ミラー部の偏向角度を大きく設定する。
【解決手段】固定支持される第１端部、及び自由端であり第１端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第２端部をそれぞれ有する一対の第１アーム部１２ｅ，１２ｅと、固定支持される第３端部、及び自由端であり第３端部よりも幅が狭いか又は厚みが薄い第４端部をそれぞれ有し、一対の第１アーム部に対向して配置された一対の第２アーム部１２ｅ，１２ｅと、一対の第１アーム部の第２端部と一対の第２アーム部の第４端部との間に配置され、外部から照射された光を反射するミラー部１２ｉと、一対の第１アーム部の第２端部とミラー部とをそれぞれ連結する一対の第１捩じりバネ部１２ｇ，１２ｇと、一対の第２アーム部の第４端部とミラー部とをそれぞれ連結すると共に、一対の第１捩じりバネ部に対向して配置された一対の第２捩じりバネ部１２ｈ，１２ｈと、を備えている光偏向子１２Ａを提供する。 （もっと読む）

【課題】回動軸方向の幅が有限な可動板に捻り梁が接合された端面においては、幅が無限な可動板における理論的な動たわみとは異なる形状の複雑な動たわみが発生する。当該動たわみを抑制することができる光偏向素子、光偏向器、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向素子は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が可動板の端面に接続されており、可動板を反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁の一端の反対側の一端が接続されており、弾性支持梁を支持する支持枠と、可動板の側面から反射面に平行な方向に突出し、回動軸に垂直な方向において可動板の先端より回動軸に近い範囲に配設された可動板突起と、を備える。光偏向器は、当該光偏向素子を備え、画像形成装置は、当該光偏向素子又は当該光偏向器を備える。 （もっと読む）

【課題】光検出部を配置した場合でも小型化を図ることができる画像表示装置を提供することを目的とする。
【解決手段】画像表示装置は、画像信号に応じて強度変調した光を出射する光源部と、反射ミラーの変位により入射した光を走査する走査部と、走査部により走査した光を投射対象に投射する投射部と、反射ミラーへ向かう光のうち反射ミラーにより反射されずに背面側に通過する光の強度を検出する光検出部と、を備え、光検出部による検出結果に基づき、前記光源部を制御する。 （もっと読む）

【課題】複雑な製造工程を必要とせずに、窓部の入射面と反射面とを傾かせることができる光偏向器、光偏向器の製造方法、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向器は、反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、可動板を回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、光偏向素子を収容可能な素子室に配設されており、支持枠を支持する素子支持部を有する筐体本体と、反射面に入射する入射光が透過する窓部を有し、素子室の開口を封止する蓋部材と、を備え、支持枠と素子支持部とが第一の当接位置と第二の当接位置とにおいて当接することによって、支持枠が素子支持部に支持されており、入射光が窓部に入射する入射面に垂直な方向における入射面からの距離、又は反射面に垂直な方向における反射面からの距離が、第一の当接位置と第二の当接位置とで異なる。 （もっと読む）

【課題】光偏向器にミラーデバイスの温度を調整するための温度調整手段を配設することによってミラーデバイスの製造工程やパッケージへの組み込みに影響をあたえることを抑制できる光偏向器、光偏向素子の温度調整方法、光偏向器の製造方法、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向器は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が可動板に接続されており、可動板を反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁の一端の反対側の一端が接続されており、弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、光偏向素子を収容可能な素子室を有する筺体本体を備える素子筺体と、光偏向素子の温度を調整可能な温度調整手段と、を備え、温度調整手段は、筺体本体に配設されている。 （もっと読む）