【課題】簡単な製造方法により、横ずれが少ない長寿命のアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ１は、基体２と、基体２上に固定された微細構造体３とを有する。微細構造体３に、相対向する第１の支持部４と、相対向する第２の支持部５と、Ｖ字状の弾性連結部６を介して第１の支持部４に回動自在に連結され基体２から浮く回動板７と、回動板７の端部に設けられた櫛歯状の可動電極群１１と、ばね部８を介して第２の支持部５に連結され基体２に固定された固定部９と、固定部９の端部に可動電極群１１とかみ合って設けられた櫛歯状の固定電極群１０と、基体２・微細構造体３を位置決めする位置決め部１４とを備える。固定電極群１０を含む固定部９は、第２の支持部５よりも肉薄で、自重とばね部８の変形とにより可動電極群１１を含む回動板７よりも下方に変位して基体２に固定され、可動電極群１１は固定電極群１０よりも上方にずれて位置する。 （もっと読む）

【課題】本発明は光学反射素子の駆動精度を高めることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部１と、このミラー部１を介して対向するとともに、このミラー部１とそれぞれ第一の支持部２で連結された、対の第一の音叉形圧電振動子３と、これらの第一の音叉形圧電振動子３とそれぞれ第二の支持部５で連結された枠体６と、この枠体６とそれぞれ第三の支持部７で連結された対の第二の音叉形圧電振動子８と、これらの第二の音叉形圧電振動子８とそれぞれ第四の支持部１０で連結された支持体１１とを備え、第三の支持部７および第四の支持部１０はそれぞれミアンダ形状であり、これらの第三の支持部７または第四の支持部１０の少なくとも一方には、第一のモニター素子１７が設けられたものである。これにより本発明は、光学反射素子の駆動精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】支持基板の小型化が可能な圧電薄膜デバイス、および、その製造方法を提供する。
【解決手段】矩形板状の単結晶基板からなる支持基板１と、支持基板１の一表面側に形成された可動部１０とを備え、可動部１０が、支持基板１の一表面側に立設され、支持基板１の厚み方向に直交する規定方向において離間した一対の短冊状の電極１２，１２と、支持基板１の一表面側に形成した圧電薄膜を用いて形成され、規定方向において一対の電極１２，１２間に介在する短冊状の圧電層１１とを有する。また、可動部１０は、一対の電極１２，１２および圧電層１１を覆う形で支持基板１の厚み方向に板状の変位量増大部１４が立設されている。一対の電極１２，１２間に電圧を印加していない状態で、発光デバイス（例えば、半導体レーザなど）からの光を阻止し、一対の電極１２，１２間に電圧を印加した状態で光を通過させることができる光スイッチを構成できる。 （もっと読む）

【課題】高解像度の画像が得られ、１画像当たりのフレームレートに応じて走査スピードの調整が可能で耐衝撃性を有する２次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】２次元光偏向器１００は、樹脂を含み光Ｌを一方向に偏向する偏向素子１０とＳｉを含み光Ｌを他方向に偏向する偏向素子５０とを備える。偏向素子１０は、対向配置された一対の端子部１３，１４、その間に配置された偏向部１１、及びこれらを連結する梁部１６，１７を有する。偏向素子５０は、枠状の支持部１１、その枠内に配置されてミラー部６３を有する偏向部５３、その両側に配置され支持部１１に一端が連結され互いに対向配置されたアーム５４，５５及び５６，５７、アーム５４，５５及び５６，５７の他端と偏向部１１とを連結する梁部５８，５９及び６０，６１を有する。偏向部１１，５３の各重心は光Ｌの光路上に位置する。 （もっと読む）

【課題】特性ばらつきを抑制した金属材料からなる振動ミラーおよび当該振動ミラーを使用したレーザスキャニングユニットを提供する。
【解決手段】梁をねじり回転軸として往復振動する、プレス加工により成形された金属材料からなる振動子と、当該振動子に支持されたミラー５とを備える振動ミラーにおいて、振動子が、同一プレス方向のプレス加工により成形された、ミラー５を支持する支持部４を備える。支持部４のプレス加工方向の上流側の面には、当該面外に一部が突出する状態でミラー５が支持される。また、支持部４のプレス加工方向の下流側の面内には、永久磁石６が配置される。これにより、プレス加工によるバリの有無に関わらず、ミラーと永久磁石とを常に同一の状態で支持部に固定することができる。 （もっと読む）

【課題】特性ばらつきを抑制した金属材料からなる振動ミラーの製造方法を提供する。
【解決手段】金属材料からなる板材をプレス加工することにより、梁３をねじり回転軸として往復振動する、金属材料からなる振動子が成形される。次いで、当該振動子にミラーが固定される。そして、梁３の支持端部を一部除去する形状加工により梁３のばね剛性を変更し、共振周波数が調整される。ここで、梁３の支持端部とは、振動子と一体に成形された枠体２と梁３との接続部および上記ミラーを支持する支持部と梁３との接続部の双方を指す。これにより、振動ミラーの共振周波数を容易に調整することができる。また、必要に応じて、上記支持部が備える共振周波数調整片の一部または全部を除去することにより慣性モーメントを変更し、共振周波数を粗調整してもよい。 （もっと読む）

【課題】構成部材の熱膨張率の相違に基づく反りやクラック等の不具合の発生の防止を安価に実現することができる光学素子パッケージ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基部１０５の上方に光学素子１０３が設けられた光学素子パッケージ１１０は、前記基部１０５と前記光学素子１０３との間に、熱膨張係数が異なる材料の層２１０、２２０が複数接合されて成る熱膨張緩和構造体２００が配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

応力関連の変形を最小限に抑えるように構成された支持構造を有するＭＥＭＳデバイス、およびその製造方法
ＭＥＭＳデバイスの実施形態は、上位の支持構造によって支持される移動可能層を含み、更に、下位の支持構造を含むことができる。１つの実施形態では、上位の支持構造内の残留応力と、移動可能層内の残留応力とが、実質的に等しい。別の実施形態では、上位の支持構造内の残留応力と、下位の支持構造内の残留応力とが、実質的に等しい。特定の実施形態では、実質的に等しい残留応力は、同じ厚さを有する同じ材料で形成される層の使用を通じて得られる。更なる実施形態では、実質的に等しい残留応力は、互いの鏡像である支持構造および／または移動可能層の使用を通じて得られる。
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テーパ縁を実現するために、ＭＥＭＳデバイス内に層を形成するための方法
特定のＭＥＭＳデバイスは、テーパ縁を有するようにパターン形成された層を含む。テーパ縁を有する層を形成するための１つの方法は、エッチング誘導層を使用することを含む。テーパ縁を有する層を形成するための別の一方法は、上方部分が下方部分よりも速い速度でエッチング可能な層を堆積することを含む。テーパ縁を有する層を形成するための別の一方法は、複数の反復エッチングを使用することを含む。テーパ縁を有する層を形成するための別の一方法は、リフトオフマスクの上に層が堆積され、そのマスク層が除去された後、テーパ縁を有する構造が残されるように、負の角度を含む開口を有するリフトオフマスクを使用することを含む。
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インターフェロメトリックモジュレータデバイス中の支持構造（１８）はデバイス中の様々な他の構造と接触する。支持構造（１８）と他の構造との間の接合強度の増加は様々な方法、例えば、粗面及び／または支持構造と他の構造との間の界面に接着材料を使用することによって達成される。実施形態では、接着力増加は支持構造（１８）と基板層（２０）との間で達成される。別の実施形態では、接着力増加は支持構造（１８）と可動層（１４）との間で達成される。接着力増加は支持構造とインターフェロメトリックモジュレータ内に取付けられる他の構造との間の望ましくない滑りを減少させる。
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