【課題】接合膜を介して接合される部材の構成材料によらず、第１の構造体と第２の構造体との間隔が高い精度で保持された、信頼性の高いアクチュエータ、およびかかるアクチュエータを備えた光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、２自由度振動系を有する基体２と、基体２を介して対向配置された支持体３、４と、基体２と支持体３との間隔および基体２と支持体４との間隔を保持する各スペーサ１０、１１とを有している。これらの各部の間は、各接合膜８１〜８４を介して接合されている。この各接合膜は、シロキサン結合を含むランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含むものであり、これらの接合膜は、エネルギーを付与したことにより、脱離基がＳｉ骨格から脱離し、各接合膜に発現した接着性によって、基体２、支持体３、４およびスペーサ１０、１１の間を気密的に接合している。 （もっと読む）

【課題】優れた信頼性を有するとともに、光を高い利用効率で用いて高品位な画像を表示することができる電気光学表示装置および電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の電気光学表示装置１００は、基板５０の一方の面側に設けられた複数のスイッチング素子１を備えるアクティブマトリクス装置１０と、各スイッチング素子１に対応して設けられた窓部３１ａを有する基体３１と、各窓部３１ａを開閉するように基体３１に対し変位可能に設けられた可動板３３ａと、可動板３３ａを変位させて開状態と閉状態とに切り換え可能な駆動手段とを備えたシャッタ装置３０と、各窓部３１ａに対応して設けられたマイクロレンズ２０２ａを備えたマイクロレンズアレイ２０とを有する。 （もっと読む）

【課題】不良品率を低減したり、揺動体を調整する調整工程を不要或いは工程数ないしその内容を軽減したりすることができる揺動体構造体の作製方法などを提供する。
【解決手段】揺動体構造体は、形成工程と選択工程とを含む作製方法で作製される。形成工程では、弾性支持部110と、弾性支持部110の両端にそれぞれ接続された揺動体の第1の候補である第1の揺動体候補部111a及び揺動体の第2の候補である第2の揺動体候補部111bとを形成する。選択工程では、第1の揺動体候補部111aと第2の揺動体候補部111bのうち、いずれか1つを揺動体112として選択する。形成工程において、第1の揺動体候補部と第2の揺動体候補部を同一形状又は略同一形状を有する様に設計して形成することができる。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れるとともに、所望の振動特性を有するアクチュエータを提供すること、かかるアクチュエータを備えた画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータ１は、枠状をなす支持部２９と、この枠状をなす支持部２９の内側に設けられた光反射部２２１を有する可動板２２と、可動板２２を回動可能に支持するように支持部２９と可動板２２とを連結する２組の連結部２０、２１とを有し、連結部２０は一対の弾性部材２５、２６を有し、連結部２１は一対の弾性部材２７、２８を有するものであって、弾性部材２５〜２８上には接合膜３を介して圧電素子５１〜５４が接合されている。この接合膜３は、エネルギー付与前において、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含むものである。 （もっと読む）

【課題】揺動体装置を構成する揺動体やねじりバネの製造過程に加工誤差がある場合でも、迅速かつ高精度に共振周波数を調整することができる揺動体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】固定部に対し、ねじりバネによってねじり軸まわりに揺動可能に支持され、共振周波数で駆動される揺動体を備えた揺動体装置の製造方法であって、
前記揺動体の慣性モーメント量の想定値を決定する第１のステップと、
前記共振周波数を測定する第２のステップと、
前記第１及び第２のステップにおける慣性モーメント量の想定値及び測定された共振周波数から、前記ねじりバネのバネ定数を算出する第３のステップと、
前記第３のステップで算出されたバネ定数と、前記揺動体の共振周波数に対し決定された目標共振周波数から、該目標共振周波数に調整するための前記揺動体の慣性モーメントまたは前記ねじりバネのバネ定数の調整量を算出する第４のステップと、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】可動板の挙動の検出精度が高いため、安定した駆動を行うことができ、かつ製造効率の高いアクチュエータ、およびかかるアクチュエータを備えた光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、光反射部２９を有し、回動可能に設けられた第２の質量部２３を有し、第２の質量部２３を回動させることにより、光反射部２９で反射した光を対象物に走査するものであって、接合膜１５を介して支持部２４に接合された発光部１１と受光部とからなる光学センサを有する。この接合膜１５は、エネルギー付与前において、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含み、エネルギーを付与することにより、一部の脱離基がＳｉ骨格から脱離し、代わりに活性手が生じる。これにより、接合膜１５に接着性が発現し、支持部２４と発光部１１とが接合されている。 （もっと読む）

【課題】振動部とコイルとを設計する際の設計自由度を確保することができ、振動部とコイルとを接合した際の接合強度および寸法精度が高いアクチュエータ、および、かかるアクチュエータを有する画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、可動板２１と、可動板２１を回動可能に支持する軸部材２２、２３とを有する振動部２０と、可動板２１に設けられ、導電性を有するコイル２１２とを備え、可動板２１とコイル２１２とが接合膜５ａを介して接合されている。接合膜５ａは、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜５ａの少なくとも一部の領域にエネルギを付与したことにより、接合膜５ａの表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜５ａの表面の領域に発現した接着性によって、可動板２１とコイル２１２とを接合している。 （もっと読む）

【課題】振動部と磁性体とを設計する際の設計自由度を確保することができ、振動部と磁性体とを接合した際の接合強度および寸法精度が高いアクチュエータ、および、かかるアクチュエータを有する画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、回動可能に支持された可動板２１と、可動板２１に設けられた磁石２１２と、磁石２１２の近傍で、通電により磁界を発生させるコイル２１２とを備えている。磁石２１２は、可動板２１に接合膜５ａを介して接合されており、接合膜５ａは、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜５ａは、その少なくとも一部の領域にエネルギを付与したことにより、接合膜５ａの表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜５ａの表面の領域に発現した接着性によって、可動板２１と磁石２１２とを接合している。 （もっと読む）

【課題】異なる共振周波数のマイクロ揺動体を同じエッチングマスクで製造することができ、有効反射面積の低下及び共振周波数の製造ばらつきを抑制することが可能となる揺動体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】単結晶シリコン基板に、個々の揺動体が複数連結された繰り返し形状によるパターンを有するエッチングマスクを形成する工程と、エッチングマスクをマスクとして、単結晶シリコン基板をエッチングし、単結晶シリコン基板に繰り返し形状を形成する工程と、個々の揺動体として用いられる際に必要とされる共振周波数を規定する揺動体の可動部６及び支持基板の幅を決定し、ダイシングによって切断するダイシング工程と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】弾性支持部の軸方向の応力が生じ難く、揺動運動による可動部の姿勢変化を抑制することができる揺動体装置を提供することである。
【解決手段】揺動体装置は、支持基板部102と、可動部101と、可動部を回転軸100回りで揺動可能に支持基板部に対して支持する弾性支持部104と、可動部を支持基板部に対し相対的にねじれ振動させる駆動手段とを有する。可動部101は、回転軸上にある一対の弾性支持部104を介して支持基板部102と結合される。支持基板部102は、弾性支持部104と支持基板部102との2つの結合点を通り且つ回転軸100に夫々垂直な2平面で挟まれた範囲内にある少なくとも1箇所で、固定部材105に位置決め固定される。 （もっと読む）

【課題】構造体の最終形状が目標形状と異なる形状にエッチングされることを防止して、構造体の不良品率を低減することができる異方性エッチングによる構造体の作製方法を提供する。
【解決手段】異方性エッチングによる構造体の作製方法では、（１００）面を主面とする単結晶シリコン基板１００上に、凸部コーナを有する第１の構造体と該第1の構造体と開口部を介して隣接する第２の構造体とを少なくとも有する目標形状に対応する基本エッチングマスクと、第１の構造体のエッチングマスク１０３の凸部コーナから伸びて第２の構造体のエッチングマスク１０１と連結する補正エッチングマスク１０７ａ〜１０７ｄを形成する。更に、基本エッチングマスクと補正エッチングマスクを有する単結晶シリコン基板を異方性エッチングし目標形状を形成する。 （もっと読む）

【課題】可動部を気密封止する際の封止部材のアライメントを容易にする。
【解決手段】ウェハ上の各ダイの周辺領域に第１のマスクパターンを形成するステップと、第１のマスクパターンから露出した第１の露出領域を所定深さだけ除去して、ダイの周辺領域に対応する部分を当該第１の露出領域よりも突出した段差形状に形成するステップと、第１の露出領域中の周辺部の全周に亘って第２のマスクパターンを形成するステップと、第２のマスクパターンから露出した第２の露出領域を除去して側壁部を形成するステップと、側壁部で規定される中空空間に可動部を形成するステップと、段差形状に所定の封止部材を当て付けて、当該封止部材が中空空間を閉塞するよう位置合わせするステップと、位置合わせされた封止部材を接合して中空空間を気密封止するステップと、を含む方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】揺動体の中立位置を調整して、それによる反射光ビームの照射位置の調整やそれと対象物間の距離の調整などを可能とした揺動体装置を提供することである。
【解決手段】揺動体装置は、中立位置を挟んで揺動軸2の回りに揺動可能に支持された揺動体1と、駆動手段4、5、6と、位置調整手段4、7、8とを有する。駆動手段は、揺動体1を揺動軸2の回りに揺動させるための手段であり、位置調整手段は、揺動体1の中立位置を調整するための手段である。 （もっと読む）

装置は、金属性表面を有する基板と、構造物と、金属性上部表面に対向する誘電物体とを含む。構造物は、金属性表面上を伝播する表面プラズモン・ポラリトンを光学的に生成するように構成される。誘電物体は、金属性表面に沿った、およびその近くの異なる位置のアレイにおいて誘電率の値を調節するように制御可能である。
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【課題】コンパクトな構成で製造コストを低減しつつも、複数のビームを精度よく偏向走査することが可能な光学走査装置及びそれを備える画像形成装置を提供する。
【解決手段】ビームを射出する複数の半導体レーザ４１と、ビームを偏向する光偏向ユニット１と、偏向されたビームを感光ドラム３２の表面に結像する複数の結像部材と、を備える光学走査装置において、光偏向ユニット１は、偏向面が形成される第１の偏向子３ｕ及び第２の偏向子３ｄと、駆動力を受ける駆動子４と、駆動子４を駆動させるアクチュエータ９を有し、第１の偏向子３ｕ、第２の偏向子３ｄ、及び駆動子４がねじりバネ５、６によって直列に連結されると共に、駆動子４が揺動することで、第１の偏向子３ｕ及び第２の偏向子３ｄがねじりバネ５、６の揺動軸Ｏ周りに揺動可能に構成される。 （もっと読む）

【課題】高速に光接続強度の最適値を求める。
【解決手段】摂動パターン設定部１０２は、摂動パターンに基づいてミラーを摂動させる。誤差演算補正部１０４は、操作量Ｖ_xおよび操作量Ｖ_yならびに検出部７により検出される出力光の光強度を座標軸とする３次元空間における光強度分布形状に対して仮定した曲面形状数式モデルの各次数の係数を光強度分布関数曲面形状を同定することにより決定し、当該曲面形状の最大値に基づいて１の入力ポートと１の出力ポートに対する最適な操作量を演算する。スイッチング部１０１は、誤差演算補正部１０４により算出された操作量に応じた駆動電圧を電極に印加する。これにより最大光強度を得る制御電圧を求めることが可能となり、１回の摂動で探索を終了して高速なスイッチングを実現することができるので、結果として、高速に光接続強度の最適値を求めることができる。 （もっと読む）

【課題】環境温度に対する影響を緩和または防止し、所望の振動特性を発揮することができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータ１は、可動板２１と、可動板２１を介して互いに対向するよう設けられた１対の支持部２２、２３と、各支持部２２、２３と可動板２１とを連結する１対の連結部２４、２５とを有している。連結部２４は、支持部２２から可動板２１と反対側へ向けて延出する軸部２４１と、軸部２４１の先端から可動板２１へ向けて折り返すよう形成された折り返し部２４２とを有している。この折り返し部２４２は、軸部２４１の先端と可動板２１の離間部２１ａ、２１ｂとを連結するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】減圧封止が可能な構造を構成して揺動体のジッタを低減するに際し、大気圧時の２倍から３倍のＱ値を確保し、制御性の保持が可能となる揺動体装置、揺動体装置の筐体内部の減圧方法、光偏向器、画像形成装置を提供する。
【解決手段】支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を、駆動手段によって駆動する揺動体装置であって、前記揺動体の周囲を覆い、減圧封止が可能な構造の筐体を備え、前記揺動体は、大気圧時の２倍から３倍のＱ値を確保可能に減圧封止した前記筐体の内部に配設されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】逆止弁を備えた減圧封止が可能な構造を構成し、揺動体のジッタを低減する一方、揺動体の制御性を保持することが可能となる揺動体装置、揺動体装置の筐体内部の減圧方法、光偏向器、画像形成装置を提供する。
【解決手段】支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を、駆動手段によって駆動する揺動体装置であって、
前記揺動体の周囲を覆い、減圧封止が可能な構造の筐体を備え、
前記筐体には、該筐体の内部から外部に気体を通す逆止弁が一つ以上設けられ、
前記逆止弁によって減圧封止した前記筐体の内部に前記揺動体を配設することによって、該揺動体のジッタを低減する一方、制御性が保持可能とされた構成とする。 （もっと読む）

【課題】光の常時照射による受光素子の温度上昇を防ぐことが可能な技術を提供する。
【解決手段】投光装置１は、レーザ光を発する赤外線半導体レーザと、入射されたレーザ光を伝送する光伝送路と、赤外線半導体レーザと光伝送路との間に配置され、レーザ光を光伝送路に向けて集光させる光学素子と、光学素子を移動させて、レーザ光の集光位置を変位させる変位手段と、光伝送路からの出射光を周期的に走査して投光面に画像信号に応じた画像を表示させる光走査手段ＬＳと、光走査手段ＬＳによって走査された出射光を断続的に受光する受光素子ＰＤ１と、受光素子ＰＤ１の出力信号に応じて変位手段を制御し、レーザ光の集光位置を光伝送路の入射口に導く制御部ＣＮとを備えている。これによれば、受光素子ＰＤ１は断続的に出射光を受光するので、光の常時照射による受光素子の温度上昇を防ぐことが可能になる。 （もっと読む）