【課題】 耐久性が高い光学装置を提供すること。
【解決手段】 光学装置２の可動層２０のＤ２側の端部と基板１０との間に吸引力Ｆ１を発生すると、可動層２０はＤ２側の端部が基板１０に近づく方向に角度θ_１で傾斜する。このとき可動ミラー３０は支柱１４ａ，１４ｂを支点として、Ｄ１側の端部が可動層２０から遠ざかる方向に角度θ_２で傾斜する。この結果、可動ミラー３０は基板１０から角度θ_３（＝θ_１＋θ_２）で傾斜する。可動ミラー３０だけでなく可動層２０も傾斜させることによって、基板１０からの傾斜角度θ_３を得るために必要な可動ミラー３０の傾斜角度θ_２を小さくすることができる。可動ミラー３０の連結部にかかる負荷を低減することができる。光学装置の耐久性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 温度に影響されることなく、可動部の位置検出を行うことができ、しかも、小型化を図ることのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 デバイス基板２に設置された枠状の固定部３と、固定部３の内側にトーションバー５を介して回動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部４とを備え、可動部４のトーションバー５と連結していない一辺にゲート電極８を配置するとともに、ソース電極９およびドレイン電極１０をゲート電極８に対向するように配置した。 （もっと読む）

【課題】 可動電極を配置することで駆動電圧を小さくすることが可能な光学装置を提供する。
【解決手段】 光学装置２は、基板１２と可動ミラー４２と可動電極層２４と規制部３０ａ，３０ｂを備えている。基板１２と可動ミラー４２と可動電極層２４には、それぞれ電極が形成されている。規制部３０ａ，３０ｂを配置することによって、外力が作用したときに可動電極層２４が上方向に変位し、可動電極層２４と基板１２との間の電極間距離が大きくなることを禁止することができる。可動電極層２４を配置することによって、基板１２と可動ミラー４２との間の電極間距離を２区画に分割し、基板１２と可動ミラー４２との間の電極間距離を小さくすることができる。可動ミラー４２を傾斜させるための駆動電圧を小さく抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】 小型化が可能な光学装置を提供すること。
【解決手段】 光学装置２は、基板１０と支柱２０ａ，２０ｂと片持ち梁２２ａ，２２ｂとミラー構造体３８と電極１２ａ，１２ｂを備えている。ミラー構造体３８の表面に形成されているアルミニウム膜３６で光ビームを反射することができる。Ｄ１側に静電引力を作用させると、片持ち梁２２ａ，２２ｂを基板１０に近づく方向に湾曲させることができる。片持ち梁２２ａ，２２ｂの先端に固定されたミラー構造体３８は片持ち梁と同じ方向に傾斜する。ミラー構造体３８を揺動軸２６の周りに揺動させることによって、光ビームの進行方向を大きく変えることができる。片持ち梁２２ａ，２２ｂは揺動軸２６に直交する方向に伸びている。このために、片持ち梁の長さに制限されることなく光学装置２を小型化することができる。 （もっと読む）

【課題】固定部から伸びる可動梁で反射面を支持するマイクロメカニカル構造体において固定部を高くして反射面の揺動可能角度度を拡大する。
【解決手段】犠牲エッチング層を除去して形成したマイクロメカニカル構造体であり、基板４２と、基板から垂直方向に立ち上がっている固定部１１３と、固定部に連なっているとともに基板から間隙Ｈを隔てた高さを基板に平行に伸びている可動梁１１２ａ，１１２ｂと、可動梁の先端に連なっているとともに基板となす角度が変化する揺動板１１１と、揺動板の表面に形成されている反射面１６１を備えている。可動梁１１２ａ，１１２ｂが伸びている方向に測定した固定部１３１の幅Ｌが、基板１０に垂直方向に測定した可動梁１１２ａ，１１２ｂの厚みＴよりも大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体機械構造体において、外部から衝撃が加わってもヒンジが破損しないようにし、耐衝撃性を高める。
【解決手段】光走査ミラー１は、ＳＯＩ基板２００からなる半導体部１００と、半導体部１００の上面、下面に接合されたガラス基板を用いてなる上部保護基板１１０及び下部保護基板１２０を有している。半導体部１００において、可動部５０は、第１ヒンジ５により固定フレーム４に揺動可能に軸支されている。上部保護基板１１０の凹部１１２ａには、可動部５０の揺動軸に向け、ストッパ１１５が突設されている。下部保護基板１２０の凹部１２１には、可動部５０の揺動軸に向け、ストッパ１２５が突設されている。ストッパ１１５及びストッパ１２５が設けられていることにより、可動部５０のｚ方向の変位が制限され、外部から衝撃が加わっても第１ヒンジ５の破損が防止される。 （もっと読む）

【課題】ミラーデバイスと支持基板の位置がずれないように正確に接合することが可能な光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】光反射部２１３を備えた質量部２１と、質量部２１を支持するための支持部２４，２５と、質量部２１を回動可能に支持部２４，２５に連結する、弾性部を備えた連結部２２，２３とが形成された基体２に凹部６１ａ，６１ｂが形成され、基体２と接合し、基体２を支持する支持基板３に凹部６１ａ，６１ｂにはまる凸部６３が形成されている。凸部６３は半田合金をボール状に配置することにより形成されている。凹部６１ａの表面には金属膜６２が形成され、凹部６１ａの金属膜６２と凸部６３を半田接合することにより、凹部６１ａと凸部６３は固定される。一方、凸部６３は凹部６１ｂにはめ込まれるが固定はされない。 （もっと読む）

【課題】効率よく駆動することが可能な静電駆動型光スキャナを得る。
【解決手段】静電駆動型光スキャナ１００は、板状の直方体である枠体２００及び可動体３００とを有する。枠体２００は厚さ方向に貫通する角筒形状の開口部２１０を有し、可動体３００は開口部２１０の中に設けられる。可動体３００は、厚さ方向に対して垂直な断面が正方形をなす直方体であり、厚さ方向に対して垂直となる２つの表面のうち１つが鏡面３０１をなす。枠体２００から可動体３００に向けて支持軸４００が延び、枠体２００と可動体３００とを接続する。枠体２００から可動体３００に向けて各々６つの枠体側電極２２０ａ、２２０ｂが突出する。可動体３００から２つの短側面２１２ａ、２１２ｂに向けて各々５つの可動体側電極３２０ａ、３２０ｂが突出する。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧を低減しつつ、優れた光学特性を有する光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１は、可動部２１の固定反射膜３５側の面に対し間隔を隔てて対向するように、固定部に固定的に設けられた第１の電極３３と、可動部２１の固定反射膜３５と反対側の面に対し間隔を隔てて対向するように、固定部に対し固定的に設けられた第２の電極４３とを備え、第１の電極３３および第２の電極４３のうち、一方の電極は、可動部２１との間の静電容量を検出するための検出電極として機能し、他方の電極は、可動部２１との間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１の位置および／または姿勢を変化させるための駆動電極として機能する。 （もっと読む）

【課題】面倒となり易い加工などを要することなく振動系の振動子の回転軸回りの慣性モーメントを可逆的に変化させことができる揺動体装置、これを用いる光偏向装置を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、回転軸70の回りに揺動可能に支持された振動子40を含む振動系と、振動子40を回転軸70の回りに揺動させるための駆動手段とを有する。振動子40には、形状記憶合金部10を含む形状可変部60が設けられている。 （もっと読む）

【課題】より簡易な工程で製造されるアクチュエータ及びその製造方法を提供することを
目的とする。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、平板状の可動板(21)と可動板(21)を基板に対し
て揺動可能に支持する一対のトーションバー(24），(24)とを一体形成し、可動板(21)の
中央部に反射鏡(22)を設け、可動板(21)の周縁部に通電により磁界を発生するコイル部(2
3)と、このコイル部(23)に静磁界を与える磁界発生手段とを備え、可動板(21)とトーショ
ンバー(24)上に反射ミラー(22)と引き出し配線(26)とが導電性膜によって一体的に形成さ
れる構成を備えている。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも一つの周辺係留ゾーン（２．３）、中央ゾーン（２．１）、及び中央ゾーン（２．１）と周辺係留ゾーン（２．３）の間の中間ゾーン（２．２）を有する軟質フィルム（２０）を備えた変形膜（２）を有する光学素子に関する。膜はまた、静電アクチュエーション手段（５）の一又は複数の可動部分（５．１）を含み、各可動部分は、片側が中間ゾーン（２．２）に位置するフィルム留め領域（２００）に機械的に留められた足部（５．１２）で終端し、もう一方の側が自由端（５．１３）で終端している脚部（５．１１）から形成されている。脚部（５．１１）は可動電極（５．２）を組み込み、自由端（５．１３）は静電アクチュエーション手段（５）の固定電極（６．２）によって引き付けられなければならない。自由端は、膜（２）の少なくとも中央ゾーン（２．１）を変形させるために自由端（５．１３）に対向して配置される。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で製造されうるアクチュエータ及びその製造方法を提供することを目
的とする。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、基板に形成された平板状の可動板(21)と、可動
板(21)の両端を基板に回動可能に支持する一対のトーションバー(24)と、可動板(21)の表
面に形成される反射膜(22)と、可動板の裏面に形成されるコイル(23)と、可動板(21)の一
部に形成されて該可動板(21)の表裏面を貫通する貫通孔部(31)とを備え、可動板(21)とト
ーションバー(24)の表面に形成される導電性膜によって反射膜(22)が形成され、該導電性
反射膜(22)とコイル(23)の一端とが貫通孔部(31)で接続され、該コイル(23)の他端がトー
ションバー(34)の裏面に延在する(28)。 （もっと読む）

【課題】ミラーのドリフトの発生を抑制する。
【解決手段】ミラー装置は、回動可能に支持されたミラー２３０と電極３４０ａ〜３４０ｄとミラー電圧印加部４００と駆動電圧印加部４０１を備える。ミラー電圧印加部４００は、第１の電位が継続する第１の区間と、第１の電位と絶対値が等しく極性の異なる第２の電位が継続する第２の区間とが交互に生じるように、ミラー印加電圧をミラー２３０に供給する。駆動電圧印加部４０１は、第３の電位が第１の区間と等しい時間幅だけ継続する第３の区間と、第３の電位と絶対値が等しく極性の異なる第４の電位が第２の区間と等しい時間幅だけ継続する第４の区間とが交互に生じるように、駆動電圧を電極３４０ａ〜３４０ｄのそれぞれに供給する。 （もっと読む）

【課題】振動子の共振周波数を簡易な回路構成により計測しかつ調整することができるようにしたアクチュエータを提供する。
【解決手段】可動板(13)と、支持部(11)と、可動板を上記支持部に振動可能に支持するトーションバー(14)と、トーションバーに形成される角度検出センサ(20)と、可動板を振動させる駆動手段(30)と、可動板とトーションバーで構成される振動子(13,14)の共振周波数を調整する共振周波数調整手段(30)と、を備え、角度検出センサ(20)は、バイアス電流(I_B)の供給を受けてトーションバーのねじれに応じた電圧を発生するピエゾ抵抗(21)を含み、共振周波数調整手段は、振動子に設定すべき共振周波数に対応してピエゾ抵抗に供給されるバイアス電流のレベルを調整する可変電流源(34)を含む。 （もっと読む）

【課題】大気導入部と連通部を連通する部分を塞ぐような異物が付着しても、アクチュエータ空隙に疎水膜となるガス、液体を滞りなく導入して静電型アクチュエータの特性ばらつきを小さくする。
【解決手段】振動板１２と固定電極１４との間の空隙１３の耐久性を向上させるために、空隙１３に通じた連通路１５に通ずる大気導入孔からガス等を導入するが、大気開放部１６の固定電極１４を有する基板側に大気開放部溝４５を設け、製造工程において大気開放孔４２から大気開放部１６に異物が入り込んでも大気開放部１６に設けた大気開放部溝４５を介して空隙１３にガス等を導入することができ、静電型アクチュエータの特性ばらつきを小さくするとともに精度を高める。 （もっと読む）

【課題】光学素子の側方に光源を配置でき、システムの小型化に対応できる光学素子及びそれを用いた光学装置及び表示装置を提供する。
【解決手段】第１の面上において第１の方向に配列された、互いに平行な複数の第１の梁体と、前記第１の梁体のそれぞれの間に前記第１の梁体と平行に設けられた第２の梁体と、を備え、前記第１の梁体は、前記第１の方向における幅が前記第１の面に対する垂直上方に向けて漸減するように、隣接する前記第２の梁体に面した側面が傾斜してなり、前記第２の梁体は、前記第１の方向における幅が前記第１の面に対する垂直上方に向けて漸増するように、隣接する前記第１の梁体に面した側面が傾斜してなり、前記第１の方向にみた前記第１の梁体と前記第２の梁体との間の間隔が可変とされたことを特徴とする光学素子が提供される。 （もっと読む）

【課題】小型でかつ半導体素子の設計レベルで光学的なアライメントが可能な回折格子装置および表示装置を提供することを可能にする。
【解決手段】表面に空洞部２２が形成された半導体基板２０と、半導体基板に形成され、光源からの光を伝搬する導波路２５と、空洞部上に形成されるとともに導波路から伝搬される光を回折する格子周期が可変な回折格子を有し、格子周期を変えることにより回折光の方向を変化させるフォーカスグレーティングカプラ３０と、一端が半導体基板と連結されフォーカスグレーティングカプラを支持する支持部４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】常に安定した駆動を行うことができる光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】回動可能に構成された光スキャナ部１と、光スキャナ部１を回動駆動させるための駆動部４とを備え、光スキャナ部１を回動させることにより、光スキャナ部１で反射した光を対象物に走査する光スキャナ装置１０であって、光スキャナ部１の駆動状態を検出する駆動検出部５と、光スキャナ部１周辺の温度を測定する温度測定部８と、光スキャナ部１に照射される光の照射量を出力する照射量提供部９と、測定された周辺温度と光の照射量に基づいて、熱の影響による光スキャナ部１の共振周波数の変化を補正するための補正値を算出する補正値演算部７と、駆動検出部５の検出結果と補正値演算部７によって算出された補正値に基づいて、駆動部４が光スキャナ部１を自己の共振周波数で捩り変形させるよう制御する駆動制御部６を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ポリマー材料を用いてアクチュエータを単純な構造で実現することにより破損や故障し難くすること、また、その製造工程及び工数を削減することを目的とする。
【解決手段】本発明のポリマーＭＥＭＳアクチュエータ１は、シリコン基板１０の上にポリマー材料により電気で駆動可能な微小機械構造を成しており、シリコン基板１０の上に固定した導電材料による第１の電極１１と、光反射用の鏡１４が固定された先端部がシリコン基板１０上の空間で当該基板１０に対して垂直方向に可動可能なポリマー材料によるポリマー可動部１２と、このポリマー可動部１２及びシリコン基板１０の上に、ポリマー可動部１２で第１の電極１１と電気的に絶縁状態に固定した導電材料による第２の電極１３とを備えて構成されている。 （もっと読む）