【課題】開口率を高めることが容易であり、かつ高速動作が可能な光制御装置を提供する。
【解決手段】本発明の光制御装置１００は、基板と、基板を貫通して形成された貫通孔と、遮光性を有するとともに貫通孔の内側に少なくとも一部が配置されたフラップと、を備えており、貫通孔に入射した光の遮断状態では、フラップが前記基板の厚さ方向に対して斜めに配置されて前記貫通孔を遮蔽する一方、通過状態ではフラップが遮断状態よりも貫通孔の内壁側に配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの磁石（２２）を備える投影露光システム用のアクチュエータであって、磁石を、マイクロ技術製造法により製造した磁石保持板（１２）で封入及び／又は支持し、これは、移動マニピュレータ表面（２３）を、付加的な接続材料を用いずに一体接続又は結合接続により磁石保持板で保持することにより、確実な接続を得るような方法で行う。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ技術を利用した光学装置において、可動ミラーの沈み込みを抑制し、かつ、可動ミラーの正常動作を阻害しないようにする。
【解決手段】可動ミラーは、可撓梁の上方に可撓梁と接離可能な抑止部を備えている。抑止部の下方への変位量は、可動ミラーの沈み込み量と同じである。可撓梁の下方への変位量が可動ミラーの沈み込み量よりも小さい領域に抑止部を設置すると、可動ミラーが沈み込むことによって抑止部が沈み込んで、抑止部の下方に位置する可撓梁の上面に抑止部が接触する。抑止部が可撓梁の上面によって支持されることによって抑止部の下方への変位量が規制され、可動ミラーの沈み込み量が規制される。可撓梁は、可動ミラーと比較して細長く、柔軟性を有するため、可動ミラーの正常動作を阻害しない。 （もっと読む）

【課題】電極に印加する駆動電圧の振幅とミラーの回動角との非線形性を改善する。
【解決手段】ミラー制御装置は、ミラー２３０に電圧を印加するミラー電圧印加部４００と、バイアス電圧記録部４０２からバイアス電圧の値を取得し、ミラー２３０の回動軸に対して対称に配置された１対の電極のうちの一方の電極３４０ａ（３４０ｂ）とミラー２３０との間に生じる電位差の絶対値と、１対の電極のうちの他方の電極３４０ｃ（３４０ｄ）とミラー２３０との間に生じる電位差の絶対値とが、バイアス電圧によって発生する電位差の絶対値に対して常に差動的になるように、ミラー２３０の所望の回動角に応じて駆動電圧を決定する駆動電圧演算部４０４と、駆動電圧を電極３４０ａ〜３４０ｄに印加する駆動電圧印加部４０１とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ技術を利用した光学装置において、可動ミラーの沈み込みを抑制し、かつ、可動ミラーの正常動作を阻害しないようにする。
【解決手段】可動ミラーを支持する可撓梁の下方の基板上に下限規制部を設置する。下限規制部によって可撓梁を下方から支持することによって、可動ミラーの沈み込みを抑止する。下限規制部は、可撓梁と接離可能に設置されており、可動ミラーに沈み込みが無い場合には、可撓梁と下限規制部は離反しているため、可動ミラーの正常動作を阻害しない。可撓梁が下方へ変位し、下限規制部と接触しながら揺動する場合においても、可動ミラーと比較して細長くて弾性がある可撓梁を支持するため、可撓梁と下限規制部との接触による負荷が可撓梁の弾性によって緩和され、可動ミラーの正常動作を阻害しない。さらに、製造工程において、可動ミラー上面側から下限規制部の設置位置を確認し易い。 （もっと読む）

【課題】ミラーの表面金属膜に入射した光によって表面金属膜と平板部が加熱されて湾曲することを防止する。
【解決手段】一方の可撓ビーム１０ｂにｎ型の半導体７６ｄを配置し、他方の可撓ビーム１０ａにｐ型の半導体７６ａを配置する。ｎ型の半導体７６ｄとｐ型の半導体７６ａの間で通電すると、平板部８と基板４の間で熱が移送される。すなわちペルチェ素子９０が形成される。ペルチェ素子９０への通電方向によって平板部８と基板４の間での熱の移送方向が決定される。表面金属膜１６等が加熱されれば冷却し、冷却されれば加熱することができる。表面金属膜１６の温度を調整して表面金属膜１６と平板部８が湾曲することを防止できる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、可動板の重量を増やすことなく、反射面の歪みを抑制できる。
【解決手段】 本発明の光走査装置は、入射光を反射させる反射面を有する可動板と、該可動板を回動可能に軸支するトーション梁と、該トーション梁にねじり方向の駆動力を作用させる駆動部とを具備し、少なくとも、可動板とトーション梁の接続部分付近にリブを形成する。 （もっと読む）

本発明は、様々な態様において、高速および低電圧で駆動できる、画質を改良および電力消費を低減するＭＥＭＳ作動式ディスプレイのシステムおよび方法に関する。
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【課題】合波や分波を行う波長選択スイッチ機能を果たすと共に、波長情報を瞬時に特定してモニタすることができ、構造が簡単で小型の波長選択デバイスを提供する。
【解決手段】波長選択デバイス１０は、共通ポート(COM port)および入出力ポート（１^stport〜９^thport）と、各ポートからの入射光をコリメート光にするコリメータ１１〜２０と、回折格子２１と、回折格子２１で分光された光を集光する集光レンズ２２と、複数のＭＥＭＳミラー２３_１〜２３_４５を備えたＭＥＭＳミラーアレイ２４と、ＭＥＭＳミラー２３_１〜２３_４５をそれぞれ透過した光を受ける二次元ＣＣＤアレイ２５と、を備える。二次元ＣＣＤアレイ２５の出力信号に基づき、各ポートからどのような波長の光が入射されたかを、複数の画素の列番号と行番号からなるアドレスにより瞬時に特定してモニタすることができる。 （もっと読む）

【課題】駆動時に回転変位動作する可動部について、非動作方向変位を抑制するのに適し且つ高い共振周波数を得るのに適したマイクロ可動素子、マイクロ可動素子アレイ、及びそのようなマイクロ可動素子を備える光スイッチング装置を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、フレーム２０と、可動部１０と、これらを連結して可動部１０の回転変位動作の軸心Ａ１を規定する一対の連結部３０とを備える。連結部３０は、フレーム２０側から可動部１０側にかけて離隔距離が大きくなるように延びる連結バー３１，３２を含む。連結バー３１は、可動部１０における軸心Ａ１に対して第１の側に接続し、連結バー３２は、可動部１０における軸心Ａ１に対して第２の側に接続する。連結バー３１，３２の離隔方向において、連結バー３１が可動部に接続する箇所Ｃ１の方が、連結バー３２が可動部に接続する箇所Ｃ２よりも軸心Ａ１に近い。 （もっと読む）

【課題】簡単な製造方法により、横ずれが少ない長寿命のアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ１は、基体２と、基体２上に固定された微細構造体３とを有する。微細構造体３に、相対向する第１の支持部４と、相対向する第２の支持部５と、Ｖ字状の弾性連結部６を介して第１の支持部４に回動自在に連結され基体２から浮く回動板７と、回動板７の端部に設けられた櫛歯状の可動電極群１１と、ばね部８を介して第２の支持部５に連結され基体２に固定された固定部９と、固定部９の端部に可動電極群１１とかみ合って設けられた櫛歯状の固定電極群１０と、基体２・微細構造体３を位置決めする位置決め部１４とを備える。固定電極群１０を含む固定部９は、第２の支持部５よりも肉薄で、自重とばね部８の変形とにより可動電極群１１を含む回動板７よりも下方に変位して基体２に固定され、可動電極群１１は固定電極群１０よりも上方にずれて位置する。 （もっと読む）

【課題】接着部材による圧縮応力を低減することによって、光走査体の共振周波数等の固有値の変化を抑制することができる光走査装置、画像形成装置、及び光走査装置の製造方法を提供する。
【解決手段】光走査体は、入射した光を反射する反射ミラーと、反射ミラーから相反する方向に延びる一対の梁と、一対の梁を支持する固定部と、反射ミラーを揺動駆動する駆動体とを有する。光走査装置は、光走査体と、光走査体の固定部に接着部材で接着され、光走査体を支持する台座と、を備えている。光走査体の固定部における台座への接着領域、又は台座における光走査体の固定部への接着領域に、接着部材を逃がす凹部が形成された。 （もっと読む）

【課題】静電力が可動部の揺動方向に働く位置関係に容易に電極を配置できる静電型アクチュエータを得る。
【解決手段】鏡面１２４と同じ方向を向く可動部側電極１２３ａの面と、裏面１２５と同じ方向を向く可動部側電極１２３ｂの面には、可動部膜１２７ａ、１２７ｂが蒸着される。可動部膜１２７ａ、１２７ｂはＳｉ_３Ｎ_４から成る。Ｓｉ_３Ｎ_４は所定の条件下で２１０ＭＰａの引張応力を発生する。そのため、可動部側電極１２３ａは、その先端が裏面１２５の方向へ向くように湾曲し、可動部側電極１２３ｂは、その先端が鏡面１２４の方向へ向くように湾曲する。同様に、固定部側電極１１１ａと固定部側電極１１１ｂも固定部膜１１２ａ、１１２ｂが蒸着されて湾曲する。 （もっと読む）

【課題】フレームと可動部とを連結する連結部のバネ定数の変動を抑制するのに適したマイクロ可動素子、および、そのようなマイクロ可動素子を備える光スイッチング装置を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、フレーム３０、可動部２０、及びこれらを連結する連結部４２が形成されているマイクロ可動基板Ｓ１と、支持基材Ｓ２と、マイクロ可動基板Ｓ１のフレーム３０および支持基材Ｓ２の間に介在してフレーム３０および支持基材Ｓ２に接合する複数のスペーサ９０Ａ，９０Ｂと、フレーム３０および支持基材Ｓ２の間に介在してフレーム３０および支持基材Ｓ２に接合するスペーサ部９１Ｃ，９２ならびに当該スペーサ部を覆ってフレーム３０および支持基材Ｓ２に接合する接着剤部９３を有する少なくとも一つの強固定部９０Ｃとを備える。強固定部９０Ｃは、二つのスペーサ９０Ａ，９０Ｂの間に位置する。 （もっと読む）

【課題】 圧電薄膜方式の形状可変ミラーにおいて精度よく収差補正を行う。
【解決手段】 形状可変ミラーは、内部可動枠と、内部可動枠の内側に形成される回動板と、第１のトーションバーを挟む形で形成された第１の圧電膜及び第１の電極と、第２のトーションバーを挟む形で形成された第２の圧電膜及び第２の電極と、を含み、第１の電極及び第２の電極に印加される電圧によって回動される回動板の回動角度が調整される圧電アクチュエータが複数配置された圧電アクチュエータアレイと、各圧電アクチュエータに設けられた前記回動板上に形成される柱部と、前記柱部によって下方より支持されるマイクロミラーと、を備え、各圧電アクチュエータに設けられた回動板の回動角度によって各マイクロミラーの反射面の角度が二次元的に調整されることによりミラー面全体の形状が変化されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】反射面を備える可動板の有効面積を確保しつつ、可動板の慣性モーメントを低減させた光偏向器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】反射面と側面を備える可動板と、所定の軸の周りに可動板を回動可能に支持する支持部とを有し、可動板の側面が軸に向かって窪んでいる。 （もっと読む）

【課題】本発明は光学反射素子の駆動精度を高めることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部１と、このミラー部１を介して対向するとともに、このミラー部１とそれぞれ第一の支持部２で連結された、対の第一の音叉形圧電振動子３と、これらの第一の音叉形圧電振動子３とそれぞれ第二の支持部５で連結された枠体６と、この枠体６とそれぞれ第三の支持部７で連結された対の第二の音叉形圧電振動子８と、これらの第二の音叉形圧電振動子８とそれぞれ第四の支持部１０で連結された支持体１１とを備え、第三の支持部７および第四の支持部１０はそれぞれミアンダ形状であり、これらの第三の支持部７または第四の支持部１０の少なくとも一方には、第一のモニター素子１７が設けられたものである。これにより本発明は、光学反射素子の駆動精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】構造体を異方性エッチングする際の補正エッチングマスクを配置するスペースをより小さくできて、シリコンウェハ上により多くの構造体を配置できる構造体の作製方法、エッチングマスク付きシリコン基板を提供する。
【解決手段】構造体の作製方法、エッチングマスク付きシリコン基板において、単結晶シリコン基板１００上に、凸部コーナーを持つ目標形状に対応する基本エッチングマスク１０３と、補正エッチングマスク１０７を形成する。補正エッチングマスク１０７の第１の部分は＜１１０＞方向に伸び、両方の端部が基本エッチングマスクに連結され、１つの端部が基本エッチングマスク１０３の凸部コーナーに連結される。第２の部分は、第１の部分の＜１１０＞方向に伸びる辺で第１の部分に接合し、第２の部分は１つの凸部コーナーを有し、開口部は、第１の部分と第２の部分が接合する境界を跨いで伸びる。 （もっと読む）

【課題】 耐久性が高い光学装置を提供すること。
【解決手段】 光学装置２の可動層２０のＤ２側の端部と基板１０との間に吸引力Ｆ１を発生すると、可動層２０はＤ２側の端部が基板１０に近づく方向に角度θ_１で傾斜する。このとき可動ミラー３０は支柱１４ａ，１４ｂを支点として、Ｄ１側の端部が可動層２０から遠ざかる方向に角度θ_２で傾斜する。この結果、可動ミラー３０は基板１０から角度θ_３（＝θ_１＋θ_２）で傾斜する。可動ミラー３０だけでなく可動層２０も傾斜させることによって、基板１０からの傾斜角度θ_３を得るために必要な可動ミラー３０の傾斜角度θ_２を小さくすることができる。可動ミラー３０の連結部にかかる負荷を低減することができる。光学装置の耐久性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 温度に影響されることなく、可動部の位置検出を行うことができ、しかも、小型化を図ることのできるプレーナ型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 デバイス基板２に設置された枠状の固定部３と、固定部３の内側にトーションバー５を介して回動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部４とを備え、可動部４のトーションバー５と連結していない一辺にゲート電極８を配置するとともに、ソース電極９およびドレイン電極１０をゲート電極８に対向するように配置した。 （もっと読む）