【課題】常に安定した駆動を行うことができる光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】回動可能に構成された光スキャナ部１と、光スキャナ部１を回動駆動させるための駆動部４とを備え、光スキャナ部１を回動させることにより、光スキャナ部１で反射した光を対象物に走査する光スキャナ装置１０であって、光スキャナ部１の駆動状態を検出する駆動検出部５と、光スキャナ部１周辺の温度を測定する温度測定部８と、光スキャナ部１に照射される光の照射量を出力する照射量提供部９と、測定された周辺温度と光の照射量に基づいて、熱の影響による光スキャナ部１の共振周波数の変化を補正するための補正値を算出する補正値演算部７と、駆動検出部５の検出結果と補正値演算部７によって算出された補正値に基づいて、駆動部４が光スキャナ部１を自己の共振周波数で捩り変形させるよう制御する駆動制御部６を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ポリマー材料を用いてアクチュエータを単純な構造で実現することにより破損や故障し難くすること、また、その製造工程及び工数を削減することを目的とする。
【解決手段】本発明のポリマーＭＥＭＳアクチュエータ１は、シリコン基板１０の上にポリマー材料により電気で駆動可能な微小機械構造を成しており、シリコン基板１０の上に固定した導電材料による第１の電極１１と、光反射用の鏡１４が固定された先端部がシリコン基板１０上の空間で当該基板１０に対して垂直方向に可動可能なポリマー材料によるポリマー可動部１２と、このポリマー可動部１２及びシリコン基板１０の上に、ポリマー可動部１２で第１の電極１１と電気的に絶縁状態に固定した導電材料による第２の電極１３とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、小型で簡単な構造で、レーザ光源等の光源からの光を走査して画像を表示する際に生じるスペックルノイズを低減することができる光偏向器を提供する。
【解決手段】光偏向器Ａ１のミラー部１は、１対又は２対の第１の圧電アクチュエータ８ａ〜８ｄにより１対のトーションバー２ａ，２ｂを介して、第１の軸周りで回転駆動され、１対の第２の圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂにより駆動される可動枠９を介して、第１の軸周りと異なる第２の軸周りで回転駆動されると共に、１対の第２の圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂにより並進駆動される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光学反射素子を小型化することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成する為本発明は、ミラー部８と、このミラー部８の一方の端部８Ａと連結された第一ミアンダ形振動子９と、この第一ミアンダ形振動子９と連結され、この第一ミアンダ形振動子９およびミラー部８を囲む可動枠１０と、この可動枠１０の一方の端部１０Ａと連結された第二ミアンダ形振動子１１と、この第二ミアンダ形振動子１１を支持する支持体１２とを備え、第一ミアンダ形振動子９の回転軸１３と第二ミアンダ形振動子１１の回転軸１４とは直交するとともに、ミラー部８は、第一ミアンダ形振動子９によって可動枠１０に支持される片持ち構造であって、可動枠１０は、第二ミアンダ形振動子１１によって支持体１２に支持される片持ち構造であるものとした。これにより本発明は、素子の面積が小さくなり、結果として光学反射素子を小型化できる。 （もっと読む）

【課題】常に安定した駆動を行うことができる光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】回動可能に構成された光スキャナ部１と、光スキャナ部１を回動駆動させるための駆動部４とを備え、光スキャナ部１を回動させることにより、光スキャナ部１で反射した光を対象物に走査する光スキャナ装置１０であって、光スキャナ部１周辺の温度を測定する温度測定部７１と、光スキャナ部１に照射される光の照射量を出力する照射量提供部７２と、測定された周辺温度と光の照射量に基づいて、光スキャナ部１周辺の温度変化量を算出する温度変化量演算部７と、温度変化量に基づいて、光スキャナ部１周辺の温度を一定に保つように制御する周辺温度制御部８を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明はレーザープリンタなどのレーザースキャンユニットなどに用いる小型の光学反射素子を実現することを目的とする。
【解決手段】支持体１に支持された第一の支持部２ａ，２ｂと、第一のアーム３ａ，３ｂと第二のアーム４ａ，４ｂを有する音叉振動子６ａ，６ｂと、第二の支持部１１ａ，１１ｂと、ミラー部１２とを備え、音叉振動子６ａ，６ｂをミラー部１２に対向配置させ、振動中心９ａ，９ｂとミラー部１２の回転軸とを同一線上に配置し、第一の支持部２ａ，２ｂおよび第二の支持部１１ａ，１１ｂをミアンダ形状とした構成とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ポリマー材料を用いてアクチュエータを単純な構造で実現することにより破損や故障し難くすること、また、その製造工程及び工数を削減することを目的とする。
【解決手段】本発明のポリマーＭＥＭＳアクチュエータ１０は、シリコン基板１１の上にポリマー材料により電気で駆動可能な微小機械構造を成しており、長手板状のポリマー材料によるポリマー可動部１２と、このポリマー可動部１２と概略同形状を成してその上面に固着された金属ヒータ１３と、ポリマー可動部１２及び金属ヒータ１３の先端部に固定された光を反射する鏡面１４ａを表裏面に有する鏡１４とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】優れた光学特性を発揮することができる光学デバイスおよび光学ユニットを提供すること、さらに、この光学デバイスまたは光学ユニットを備え、高品位な画像を形成することができる画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１Ａは、光反射性を有する光反射部２２１Ａが設けられた可動板２２Ａと、可動板２２Ａに連結され、可動板２２Ａを回動可能に支持する１対の連結部２３Ａ、２４Ａと、可動板２３Ａ、２４Ａを回動させる駆動手段と、光反射部２２１Ａに対向するように設けられ、光反射部２２１Ａで偏向または走査する光の通過を許容しつつ迷光を遮光する遮光部材４Ａとを有する。 （もっと読む）

【課題】複写機、ファクシミリ、プリンタ等の画像形成装置、光走査型のバーコード読取装置、車載用のレーザレーダ装置等に備えられる光走査装置等に用いられる光学素子等の振動素子であって、比較的簡易な構成で梁部の強度を向上した振動素子、これを有するかかる光走査装置、この光走査装置を有するかかる画像形成装置、バーコード読取装置及びレーザレーダ装置等、並びにかかる振動素子の製造方法の提供。
【解決手段】振動素子５１の本体５２に対して振動する振動部とこれを本体５２に振動可能に支持した梁部５４とを形成するための、基板５０の一方の面からの第１のエッチングと基板５０の他方の面からの第２のエッチングとの出会い位置Ｍを、基板５０の厚さ方向における梁部５４の中央位置Ｏと異なる位置とした。また前者のエッチングで規定される梁部５４の幅より、後者のそれによる幅が大きい。 （もっと読む）

【課題】磁石の位置ずれやミラーの撓みを抑制できる光偏向器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る光偏向器１は、所定の軸に沿って回動可能に構成された、反射面を備えるミラー２と、ミラーの反射面の裏面に配置された磁石２２と、前記ミラーの裏面と前記磁石の側面とを接合する接着剤２３とを有する。例えば、接着剤２３は、磁石２２の外縁に部分的に複数箇所に設けられており、磁石２２の外形の中心に対して点対称に設けられている。あるいは、接着剤２３は、磁石２２の外縁を囲むように枠状に設けられていてもよい。 （もっと読む）

【課題】赤、緑、青の３色のレーザ光により映像を映し出すレーザディスプレイ装置の小型化を図る。
【解決手段】固定部１１に外側トーションバー１２を介して揺動可能に軸支した外側可動部１３と、外側可動部１３に内側トーションバー１４を介して揺動可能に軸支した内側可動部１５とを備える２次元駆動型のＭＥＭＳアクチュエータ１０の内側可動部１５上に、赤色、緑色、青色の各レーザ光を発光するレーザチップ１Ａ，１Ｂ，１Ｃを配置し、外側及び内側可動部１３，１５を揺動させて、レーザ光を走査する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 変位角を高精度に制御するのに適した揺動体装置を提供する。
【解決手段】 揺動体装置は、第１揺動体１０１と、第２揺動体１０２と、第１揺動体１０１を第２揺動体１０２に対してねじり軸を中心にねじり振動可能に接続する第１弾性支持部１１１と、第２揺動体を固定部に対してねじり軸を中心にねじり振動可能に支持する第２弾性支持部１１２と、を有する振動系１００と、振動系を駆動する駆動手段１２０と、駆動手段に駆動信号を供給する駆動制御手段１５０とを有する。振動系は、ねじり軸まわりに少なくとも２つの固有振動モードの周波数である第１の共振周波数ｆ１と第２の共振周波数ｆ２とを有する。ｆ２はｆ１の概ね２倍の関係にあり、Δｆ＝ｆ２―２×ｆ１に表すΔｆがΔｆ＜０の関係である。 （もっと読む）

【課題】可動体を揺動可能に支持する梁構造体の複数の曲がり梁の曲げ変形の態様の多様な組み合わせを、走査線間隔補正等の種々の用途に利用できる揺動体装置を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、可動体101、2つの揺動軸回りに揺動可能に可動体を支持枠105に支持する梁構造体、駆動手段と検出手段の少なくとも一方を有する。梁構造体は、ねじれ変形可能なねじり梁102と、曲げ変形可能な複数の曲がり梁103を有する。ねじり梁102は、一端が可動体に連結され、他端が接続部102を介して各曲がり梁の一端に連結され、各曲がり梁103の他端は支持枠105に連結される。駆動手段106乃至113は、駆動信号で、曲がり梁の曲げ変形の態様の組み合わせを選択し、少なくとも1つの揺動軸を選んで該揺動軸回りの可動体の角変位を起こす。検出手段は、曲がり梁の曲げ変形の態様の組み合わせに応じた作用を受け、少なくとも1つの揺動軸回りの可動体の角変位を検出する。 （もっと読む）

【課題】反射面の歪みを防止することが可能となる光スキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナ１は、本体部２がベース３に装着されて構成されている。本体部２は、外側に固定枠６を備え、一方、内側には、反射面８Ａが形成された平面視略円形の反射ミラー部８を有する振動体１０を備えている。振動体１０は、更に、反射ミラー部８の外周面から揺動軸１５に対して直交する両半径方向外側に同一面上に延びて、該反射ミラー部８の周囲を囲むように配置される平面視四角形のミラー支持枠７に連結される一対のミラー支持梁１１、１１と、このミラー支持枠７の揺動軸１５方向の両側面部から外側方向に同一面上に延びて、そのミラー支持枠７を固定枠６に接合する一対のはり部１６Ａ、１６Ｂとを備えている。また、各枠側板ばね部１８Ａ〜１８Ｄには、各下部電極２１Ａ〜２１Ｄ、各圧電素子２２Ａ、２２Ｂ、各上部電極２３Ａ〜２３Ｄが積層されている。 （もっと読む）

【課題】複数の潜像担持体を有するタンデム方式の画像形成装置において、光学的な調整を容易に行うことができ、しかも装置の低コスト化および小型化を図る。
【解決手段】光源６２から光ビームが射出され、光走査素子６５に入射する。この光走査素子６５は、主走査偏向軸回りおよび切替軸回りに揺動自在に設けられて光源６２からの光ビームを反射する偏向ミラー面６５１を有しており、主走査偏向軸回りに共振モードで偏向ミラー面６５１を揺動させて光ビームを主走査方向に走査させるとともに、切替軸回りに非共振モードで偏向ミラー面６５１を揺動位置決めして走査光ビームを副走査方向に導いて複数の感光体のなかで走査光ビームが照射される感光体を切り替える。 （もっと読む）

【課題】複数の潜像担持体を有するタンデム方式の画像形成装置において、光学的な調整を容易に行うことができ、しかも装置の低コスト化および小型化を図る。
【解決手段】２個のレーザー光源から光ビームが射出され、光走査素子６５に入射する。この光走査素子６５は、主走査偏向軸回りおよび切替軸回りに揺動自在に設けられて２本の光ビームを反射する偏向ミラー面６５１を有しており、主走査偏向軸回りに共振モードで偏向ミラー面６５１を揺動させて２本の光ビームを一括して主走査方向に走査させるとともに、切替軸回りに非共振モードで偏向ミラー面６５１を揺動位置決めして２本の走査光ビームを副走査方向に導いて複数の感光体のなかで走査光ビームが照射される感光体を切り替える。 （もっと読む）

【課題】高速に起動可能な光走査装置及び振動ミラーの起動方法を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る光走査装置は、所定の軸に沿って回動可能に構成された振動ミラー１と、所定の駆動周波数で振動ミラー１を駆動する駆動手段１１１と、駆動周波数を設定する制御手段１１３と、振動ミラーの駆動特性データを保持する記憶手段１１４と、振動ミラー１の環境パラメータを測定する環境検出センサ１０６と、を有し、制御手段１１３は、起動時に、駆動特性データを参照して、環境検出センサ１０６により測定された環境パラメータの下における振動ミラー１の共振周波数を推定し、推定された共振周波数に基づいて起動時の駆動周波数を決定する。 （もっと読む）

【課題】 アクチュエータアレイ用の基板とミラー面用の基板を別に製造することなく、効率の良く形状可変ミラーを製造する。
【解決手段】 形状可変ミラーの製造方法において、圧電膜と、圧電膜の下に配置された第１の電極と、圧電膜の上に配置された第２の電極と、を有する圧電アクチュエータが基板上に複数配置されたアクチュエータアレイを準備する工程と、最終的に除去される犠牲層を形成する工程と、犠牲層に孔を形成し第２の電極の少なくとも一部を露出させる工程と、露出した第２の電極の上に柱部を形成するために、犠牲層に形成された孔を柱部用材料で埋没させる工程と、犠牲層及び柱部の上面を平坦化させる工程と、平坦化した犠牲層及び柱部の上面にミラー面を形成する工程と、ミラー面が形成された後，犠牲層をエッチング法により除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】複数の揺動部を備えつつ全体のサイズを小型化することが容易となる構成を有する揺動構造体を提供する。
【解決手段】揺動構造体106は、支持部101と、第1の揺動部102と、第2の揺動部103と、支持部101と第1の揺動部102とを連結する第1の弾性支持部104と、第1の揺動部102と第2の揺動部103とを連結する第2の弾性支持部105とを有する。第1の弾性支持部104は支持部101に対して第1の揺動部102を可動に支持し、第2の弾性支持部105は第1の揺動部102に対して第2の揺動部103を可動に支持する。第1の弾性支持部104が支持部101から第1の揺動部102へ伸びる方向と、第2の弾性支持部105が第1の揺動部102から第2の揺動部103へ伸びる方向とが、略逆方向である。 （もっと読む）

【課題】装置の高コスト化、作動応答速度の低下、寿命の低下を抑制することができ、駆動の際に生じる可動板の振幅のばらつき（ジッタ）を低減することが可能となる揺動体装置等を提供する。
【解決手段】保持部に対し、バネ性を備えた支持梁部によってねじり軸を中心にねじり振動可能に少なくとも片側が支持された可動板を備え、該可動板を該ねじり軸まわりに駆動する揺動体装置であって、
前記可動板は、前記駆動の際に生じる可動板の振幅のばらつきを低減するための突起が、該可動板の前記ねじり軸を中心とする両側端部に形成されている構成とする。 （もっと読む）