【課題】気密性を損なわない構造を有し、クロストークを向上させる。
【解決手段】光導波路１２１が基板上に形成された平面光導波回路と、光素子の受光面が光導波路１２１と光学的に結合するように平面光導波回路に固定された光モジュールとを含む光ハイブリッド集積回路において、光導波路１２１の端面１０４に、光導波路１２１のコアよりも深く形成されたミラー溝１０２と、ミラー溝１０２の内部に設けられ、光導波路１２１の端面１０４から出射された光信号を、光素子の受光面に結合する光路変換ミラー１１１とを備え、光導波路１２１は、光導波路１２１の端面１０４におけるコアの幅が、平面光導波回路内の回路におけるコアの幅と異なり、光導波路１２１の端面から出射された光信号の光強度の半値全幅におけるビームの広がり角φが、少なくとも基板平面内で狭くなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】コア層に光の伝搬を阻害する拡散層が生じず、良好に光の伝搬が行える光導波路を得ることのできる光導波路の製法を提供する。
【解決手段】基板１の上に、アンダークラッド層２を形成し、アンダークラッド層２の上に、フルオレン骨格を有するエポキシ化合物を含む光重合性樹脂組成物を用いて、コア層３を形成する。そして、アンダークラッド層２の上に形成されたコア層３を被覆するように、オーバークラッド層４を形成し、オーバークラッド層４の形成には、実質的に無溶媒の硬化性樹脂組成物を用いる。これによって、コア層３における、オーバークラッド層４との界面に生じる拡散層の形成を防ぎながら、オーバークラッド層４を形成して光導波路を製造する。 （もっと読む）

【課題】複数の光部品（光導波路素子）をアセンブリ化して光モジュールとする場合に、各光部品の精密な位置調整（調芯）を容易に実現できるようにする。
【解決手段】光モジュールを、２つの素子搭載用開口部７，８を有する光導波路基板１と、２つの素子搭載用開口部７，８のそれぞれに搭載された２つの光導波路素子９，１０とを備え、光導波路基板１を、一方の光導波路素子９のみをアライメント光が通過するように形成された一のアライメントポートと、他方の光導波路素子１０のみをアライメント光が通過するように形成された他のアライメントポートとを備えるものとする。 （もっと読む）

【課題】光スイッチにおいて、電源オフ時に不必要な信号が出力されないようにする。
【解決手段】複数の入力チャネル光導波路４と、複数のコリメートレンズ５と、入力側光偏向素子２Ａと、スラブ光導波路７と、出力側光偏向素子３Ａと、複数の集光レンズ８と、複数の出力チャネル光導波路９とを備える光スイッチを、入力側及び出力側光偏向素子２Ａ，３Ａを駆動しない状態では、複数のコリメートレンズ５から出射されるコリメート光が出力チャネル光導波路９内へ伝搬させない領域に伝搬するように構成する。 （もっと読む）

【課題】輪郭を形成するＳｉ構造体と柱状のＳｉ構造体との交点付近に位置するＳｉ原子を酸化する際に、間隙が柱状のＳｉ構造体の連立方向に広がること。
【解決手段】マスクを用いてシリコン基板の基板面をエッチングし、光学素子を形成するための基となる光学素子形成体であって、複数の構造体が各構造体間にトレンチを隔てて基板面上に並設されてなる複数の柱構造体と、複数の柱構造体に連結するとともに、複数の柱構造体を内包する輪郭構造体とを基板面上に形成する第１工程と、光学素子形成体を酸化する工程であって、光学素子形成体が酸化され始めてから柱構造体が酸化されるまでの第２工程と、第２工程において酸化され残った輪郭構造体の一部が酸化されるまでの第３工程とからなる光が透過可能なシリコン酸化物で構成される光学素子の製造方法であって、第３工程において、輪郭構造体は、少なくとも前記柱構造体の並設方向に対する変形を抑制される。 （もっと読む）

【課題】 光導波路内の任意の場所において伝搬光の光路変換を可能とし、かつ、安価で製造することが可能なレンズ内蔵光導波路及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 レンズ内蔵光導波路は、コア４０と、コア４０を取り囲むクラッド３０、５０と、コア４０内に光の伝搬方向に交差するように配置されたレンズ４１とを備える。このレンズ内蔵光導波路の製造は、例えば、光の伝搬方向に交差するように配置されたレンズ用の空孔を内部に有するコアを下部クラッド上に形成し、このコアの空孔内に存在させようとする気体の雰囲気下で、硬化前の硬化性クラッド材を、前記空孔を維持したまま、コアの上部及び側面に塗布し、この塗布された硬化性クラッド材を硬化させ、気体を空孔内に閉じ込めることにより行われる。 （もっと読む）

【課題】コア層自身あるいはコア層とアンダークラッド層の界面にクラックが生じず、光損失の少ない光導波路を作製することのできる光導波路の製法を提供する。
【解決手段】基板１面に形成されたアンダークラッド層２上に感光性樹脂組成物層を形成し、この感光性樹脂組成物層面に対して、所定パターンのフォトマスクを介して紫外線を照射して露光する。ついで、上記感光性樹脂組成物層の未露光部分を現像液を用いて溶解除去することによりコア層３を形成した後、上記コア層３上にオーバークラッド層４を形成することにより、光導波路を製造する方法である。そして、上記現像液として、濃度１０〜９９重量％のγ−ブチロラクトン水溶液を用いる。 （もっと読む）

【課題】ＰＬＣと半導体光導波路とが低損失で接合された光回路モジュールを提供する。
【解決手段】光回路モジュール１は、ＰＬＣ２と半導体光導波路３とから構成されており、両者をバットジョイントで接合している。ＰＬＣ２は、基板４の上にクラッド５を載置した構造としており、クラッド４の内部にはコア６が形成されている。同様に、半導体光導波路３はＳｉサブマウント７の上に載置されており、その内部に導波路８が形成されている。ＰＬＣ２と半導体光導波路３とをそれぞれ個別に製造し、これを所定の接合方法によって接合して製造することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】光デバイス同士又は光デバイスの構成部品同士を容易に且つ高精度に光結合することができる光結合方法を提供する。
【解決手段】光デバイスを構成する第１の構成部品２１０の凹部の縁部近傍の高台部分に、Ｘ軸方向に沿って複数の導電パターン２１１ａ，２１１ｂを形成する。また、光デバイスを構成する第２の構成部品２２０の下面のエッジ部に、Ｘ軸方向に沿って導電パターン２２１ａ，２２１ｂを形成する。導電パターン２１１ａと導電パターン２２１ａとが最適な状態で接触して端子２１２ａ間に電流が流れるように、第２の構成部品２２０の角度θｚを調整する。更に、導電パターン２１１ｂと導電パターン２２１ｂとが接触するように第２の構成部品２２０を移動させ、角度θｘを調整する。 （もっと読む）

【課題】厚膜形成性，硬化性，耐熱性等に優れた重合体を作製可能とする新規なオキセタンエーテル化合物およびその製法、ならびにそれを用いた光導波路の提供。
【解決手段】フェノール類を、セシウム塩によりセシウムフェノラート化し、次いで、スルホン酸エステルと反応させて、下記の代表的化合物で表される、アダマンタン構造を有するビスオキセタンエーテル化合物の製造。
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【課題】各構成部品を容易に且つ高精度に位置合わせ（光結合）することができる光デバイスの製造方法、及びその製造方法により製造された光デバイスを提供する。
【解決手段】基板２１１の第１の領域上に形成された光導波路を有する第１の構成部品２１０と、第２の光導波路を有する第２の構成部品２２０とを光結合する光デバイスの製造方法において、基板２１１の第２の領域に貫通孔を設けておき、基板２１１の裏面側に貫通孔を塞ぐようにして圧力変形部材２３１を貼り付ける。そして、基板２１１の第２の領域上に第２の構成部品２２０を配置した後、ガス圧印加治具２４１を用いて圧力変形部材２３１に圧力を印加する。これにより、圧力変形部材２３１の一部が基板２１１の上側に突出し、第２の構成部品２２０が上下方向に微動する。光源２４５から光を出射し、受光素子２４６の出力が最大となるように圧力変形部材２３１に印加する圧力を調整する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、高密度に光半導体素子を実装可能な光配線基板および光配線モジュールを提供する。
【解決手段】 光配線モジュール１を構成する光導波路部材２は、互いに異なる位置へ光を導く複数の光導波体４０を有し、各光導波体４０は、光路変換する反射膜１４を有し、各反射膜１４は、隣接する反射膜１４と、交差方向Ｍおよび光路方向Ｌに互いに間隔をあけて設けられるので、各反射膜１４間の距離を、交差方向Ｍおよび光路方向Ｌに沿う距離よりも大きくすることができ、長手方向Ｘおよび幅方向Ｙへ、各反射膜１４を用いるために光配線基板２Ａに実装される光半導体素子３を複数配列した場合であっても、光路方向Ｌと配列する方向とが異なるので、各光導波体４０が重複することなく、光配線基板２Ａの実装可能な面部の領域を有効に用いることができ、光半導体素子３を密に配列して、光配線基板２Ａを小形化することができる。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ確実に、複数の光導波路部品の接合面（レンズ面も含む）での反射による戻り光の影響を受けることがないようにする。
【解決手段】スラブ光導波路基板を、互いに平行に設けられる複数の入力チャネル光導波路４と、互いに光軸が平行になるように設けられる複数のコリメートレンズ５と、他の光導波路部品を実装するための複数の凹部６と、複数の凹部６の間に設けられるスラブ光導波路７と、互いに光軸が平行になるように設けられる複数の集光レンズ８と、互いに平行に設けられる複数の出力チャネル光導波路９とを備えるものとし、入力チャネル光導波路４の中心軸を、コリメートレンズ５の光軸に対して平行にオフセットさせる。 （もっと読む）

【課題】厚膜形成性、硬化性、耐熱性等に優れた重合体を作製可能とする新規なカルボキシル基を有するオキセタンエーテル化合物及びその製法並びにそれを用いた光導波路の提供。
【解決手段】例えば３，５−ビス（３−エチルオキセタニル−３−メトキシ）安息香酸、５−（３−エチルオキセタニル−３−メトキシ）イソフタル酸等。これらは、３，５−ジヒドロキシ安息香酸メチル、５−ヒドロキシイソフタル酸ジメルを２−（３−オキセタニル）ブチルトシレートによりエーテル化したのち、エステル基を加水分解して得られる。更に基板と、その基板上に形成されたクラッド層とを備え、クラッド層中に所定パターンで光信号を伝搬するコア部が形成されてなる光導波路。クラッド層及びコア部の少なくとも一方が、上部化合物を含有する樹脂組成物によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】厚膜形成性，硬化性，耐熱性等に優れた重合体を作製可能とする新規なオキセタン化合物およびその製法、ならびにそれを用いた光導波路を提供する。
【解決手段】オキセタン環を有するトリス（ヒドロキシフェニル）−１，３，５−トリ（アルキルベンゼン）誘導体である。該化合物はフェノール類を、セシウム塩によりセシウムフェノラート化し、スルホン酸エステルと反応させて、上記特殊な誘導体を製造する。さらに、基板と、その基板上に形成されたクラッド層とを備え、上記クラッド層中に所定パターンで、光信号を伝搬するコア部が形成されてなる光導波路であって、上記クラッド層およびコア部の少なくとも一方が、上記特殊な誘導体を含有する樹脂組成物によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】 光素子と光導波路基板とを別々に配線基板に実装したときの位置ずれによる光結合効率の低下を抑制することができる光モジュールを提供する。
【解決手段】 光モジュール１Ａは、光素子２と、コア３１およびクラッド３２を有する光導波路基板３と、光素子２および光導波路基板３が実装される配線基板４とを備えている。この光モジュール１Ａにおいて、光導波路基板３と配線基板４とに、光導波路基板３を配線基板４に実装するときの位置決め部３５，４５を設けるとともに、コア３１の少なくとも光素子側の端部３１ａを、光素子２に近づくに連れて幅寸法が大きくなるテーパー状にした。 （もっと読む）

【課題】厚膜形成性、硬化性、等に優れた重合体を作製可能とする新規なアルキルベンゼン誘導体、ならびにそれを用いた光導波路の提供。
【解決手段】オキセタン環を有すビス（ヒドロキシフェニル）アルキルベンゼン誘導体。
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【課題】厚膜形成性，硬化性，耐熱性等に優れた重合体を作製可能とする新規なトリスオキセタンエーテル化合物およびその製法、ならびにそれを用いた光導波路を提供する。
【解決手段】新規なトリスオキセタンエーテル化合物である。フェノール類を、セシウム塩によりセシウムフェノラート化し、スルホン酸エステルと反応させて、上記トリスオキセタンエーテル化合物を製造する。さらに、基板１と、その基板１上に形成されたクラッド層２とを備え、上記クラッド層２中に所定パターンで、光信号を伝搬するコア部３が形成されてなる光導波路であって、上記クラッド層２およびコア部３の少なくとも一方が、上記トリスオキセタンエーテル化合物を含有する樹脂組成物によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】 基板内に設けられた光導波路と接続される光路変換用の光学部材を効率よく生産する製造方法を提供する。また、光路の端部にレンズが形成される光路変換用の光学部材を効率よく生産する製造方法を提供する。
【解決手段】 一方のウェハ２１に複数の開口部２３（貫通孔）を形成して貫通孔基板とする。他方のウェハ２２に複数の溝部（Ｖ溝）２４と傾斜面２５とを形成してＶ溝基板２２とする。Ｖ溝２４と傾斜面２５はエッチングにより形成する。開口部２３と傾斜面２５は位置的に相互に対応するように形成される。開口部２３と傾斜面２５が対応するように貫通孔基板２１とＶ溝基板２２とを張り合わせて結合体を形成する。この開口部２３および傾斜面２５を含むように結合体をダイシングし小片化して光学部材２６を製造する。好適には光学部材２６の光路端部にレンズが形成される。 （もっと読む）

本発明は、反射光学系（９３，９６）を使用して実質的に温度とは独立した仕方で光（９０）を光導波路（９１，９５）と光学素子との間で結合させる装置に関する。好ましい実施形態は、方物面形、準方物面形、楕円形又は準楕円形レフレクタ（９３，９６）を利用する。送光側要素及び受光側要素並びに関連の導波路（９１，９５）が、好ましくは、光パターン付け可能なポリマーから成る。
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