説明

Fターム[2H147FA29]の内容

光集積回路 (45,729) | 膜形成、結晶成長 (3,006) | 基板・膜への処理 (481) | 基板・膜の粗面化・段差形成、面粗度 (47)

Fターム[2H147FA29]に分類される特許

1 - 20 / 47


【課題】 電磁ノイズ放射の抑制を可能としたフレキシブル光電配線モジュールを提供することである。
【解決手段】 フレキシブル光電配線モジュールあって、光配線路12と電気配線11を有する可撓性のフレキシブル光電配線板10と、フレキシブル光電配線板10の一主面上に搭載され、電気配線11に電気的に接続され、光配線路12に光結合された光半導体素子13と、フレキシブル光電配線板10の一主面と反対側の面に搭載され、電気配線11に電気的に接続され、光半導体素子13を駆動する駆動IC14と、フレキシブル光電配線板10を貫通して設けられ、光半導体素子13と駆動IC14を電気的に接続する貫通配線15とを具備した。 (もっと読む)


【課題】
電気光学効果を有し、厚みが10μm以下の薄板を利用し、補強基板に接着した場合でも、薄板や補強版の破損を抑制し、さらには微小なクラックによる光損失などの性能劣化も抑制した、光導波路素子を提供すること。
【解決手段】
電気光学効果を有し、厚みが10μm以下の薄板1と、該薄板には光導波路2が形成されており、該薄板に接着層5を介して接着された補強基板6とを有する光導波路素子において、該補強基板6の該薄板側の表面には、凹凸構造が形成され、該補強基板は、該凹凸構造が形成された後であり、かつ該薄板に接着する前に、キュリー温度以下の高温で熱処理されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】材料を無駄にすることなく、希土類化合物を用いた光素子が製造できるようにする。
【解決手段】エルビウムの酸化物よりなる希土類含有層105をスパッタ法などの物理蒸着法により、基板を加熱することなく形成し、例えば1000℃に加熱することで、希土類含有層105を溝部104に凝集させ、酸化エルビウムの結晶からなる希土類コア部106を形成する。希土類の酸化物は、加熱することで、下地に形成されている凹部に凝集する。また、この加熱により、アモルファス状態の酸化エルビウムが結晶化するので、希土類コア部106は、酸化エルビウムの結晶から構成されたものとなる。 (もっと読む)


【課題】Siベースのフォトニクスプラットフォーム上で、フォトニックデバイス、Ge導波路一体型光検出器、およびハイブリッドIII−V/Siレーザの共集積化のための方法を提供する。
【解決手段】パターン化したSi導波路構造を含むSiデバイスを備えたSiベースのフォトニクス基板を用意する工程、誘電体層、例えば、SiO層を、平坦化したSiベースのフォトニクス基板の上部に堆積する工程、適切なエッチング深さで溝を誘電体層にエッチング形成して、フォトニクス基板のパターン化したSi導波路構造を露出させる工程、露出した導波路を選択エッチングして、Ge成長用のテンプレートを作成し、薄いSi層をGe成長用のシード層として残す工程、意図的なGe過成長を伴って、シード層からGeを選択成長させる工程、Ge表面を平坦化し、100nm〜500nmの減少した厚さを持つGe層を残す工程を含む。 (もっと読む)


【課題】光ファイバと光導波路コアとの位置合わせが容易で、寸法安定性の良い硬い基板によらずとも光ファイバの位置ずれがしにくい光ファイバコネクタ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板1上に、光ファイバを固定するための光ファイバ導入溝を有する光ファイバガイド用コアパターン5から構成される光ファイバガイド部材10と、光信号伝達用コアパターン4とその上に形成された上部クラッド層6とから構成される光導波路20とが並設され、前記光ファイバガイド用コアパターン5と前記光信号伝達用コアパターン4とが、基板の一方表面上に形成された同一の下部クラッド層3上に形成され、かつ前記光ファイバガイド部材10の光ファイバ導入溝に固定された光ファイバと、前記光導波路の光信号伝達用コアパターン4とが、光信号を送受可能な位置に接合されてなる。 (もっと読む)


【課題】本発明の光導波路フィルムは、光導波路フィルムの歪・応力に起因する光伝播損失変動を低減化することを目的とするものである。
【解決手段】上記課題を解決するために本発明の光導波路フィルムは、光導波路を平面に配列させたアレイ状光導波路において、コア部分とその周囲を囲むクラッド部分の領域を含む光導波路構造部分より、その光導波路間の間隙が低弾性強度の構造である応力緩和層をサンドイッチした構造を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】光導波路ユニットのコアと基板ユニットの光学素子との調芯作業が不要となるとともに、突起部の厚みが50μm未満であっても、調芯精度を悪化させることがない光センサモジュールの製法およびそれによって得られた光センサモジュールを提供する。
【解決手段】垂直壁高さ50μm未満の突起部4および溝部3bを有する光導波路部分W2 と、突起部4に位置決めされる位置決め板部5aの位置決め用部材Pおよび溝部3bに嵌合する嵌合板部5bを有する基板部分E2 とを、個別に作製し、突起部4の垂直壁に位置決め用部材Pの角部を位置決めし、溝部3bに嵌合板部5aを嵌合し一体化する。ここで、突起部4は、コア2の光送受用端面2aに対して適正位置に形成されている。また、位置決め用部材Pは、光学素子8に対して適正位置に形成されている。このため、コアの光送受用端面2aと光学素子8とは、自動的に調芯される。 (もっと読む)


【課題】 光電変換素子から伝達される熱による影響を低減させた光伝送基板および光モジュールを提供する光伝送基板を提供する。
【解決手段】 光伝送基板は、基板と、前記基板上に設けられた金属層と、前記基板上に設けられた光導波路と、上方に光電変換素子を設けて前記光導波路と光学的に結合させるための金属反射部であって、前記光導波路の光軸に対して傾斜した光反射面を有し、前記金属層と接して前記基板の上方に設けられた金属反射部と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】植物を効率的に育成可能な導光フィルム及び該導光フィルムを用いた植物育成方法を提供すること。
【解決手段】本発明の導光フィルムは、光源からの入射光を入光させる光入射部と、前記入射光を吸収して植物の成長に利用可能な波長を有する光に波長変換させる波長変換部と、前記波長変換された光を出射させる光出射部と、を有することとする。前記波長変換部が吸収する光のピーク波長をλ(nm)とし、波長変換された光のピーク波長をλ(nm)としたとき、λ<λの関係を有することが好ましい。 (もっと読む)


【課題】 クラッドに入射した光によるコアへの入射を低減させる光伝送基板および光モジュールを提供する。
【解決手段】 光電気配線基板は、基板と、前記基板上に設けられ、上面に第1の凹凸部を有する下部導体層と、前記下部導体層上の前記第1の凹凸部上に設けられ、下部クラッドとコアと上部クラッドとから構成される光導波路と、前記光導波路に設けられ、前記第1の凹凸部とともに前記光導波路を挟むように下面に第2の凹凸部を有する上部導体層と、前記下部クラッドおよび前記上部クラッドを貫通するように前記下部導体層から前記上部導体層まで連続して設けられた貫通電極と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】他の回路が集積されたバルク半導体基板に一体に集積可能な、光導波路及び光カップラを含む光素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の光導波路及びカップラ素子及びその製造方法は、バルク半導体基板、例えば、バルクシリコン基板からなる基板にトレンチを形成し、下部クラッド層をトレンチ内に形成し、コア領域を下部クラッド層上に形成して得られる。反射要素、例えば、分布ブラッグ反射器が、光カップラ及び/または光導波路の下部に形成されうる。このような光素子は、シリコンフォトニクス技術によって、チップまたは基板上に他の半導体回路、例えばDRAMメモリ回路チップ内に一体に集積されうる。 (もっと読む)


【課題】所定の角度をなす傾斜面を有する光導波路コアを備える光導波路を効率的に製造することができ、前記傾斜面に選択的に金属膜を形成させることができる光導波路の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】第1クラッド層12上に形成されたコア部13を埋設するように第2クラッド層15を形成するクラッド層形成工程と、第2クラッド層15に、第1クラッド層12に対して略垂直な垂直面17aと、垂直面17aに対向し、第2クラッド層15側から入射される光をコア部13内に誘導等をするように、光を反射させるための傾斜面17bとを有する凹部17を形成する凹部形成工程と、凹部17に金属層18を形成する金属層形成工程と、垂直面17aに形成された金属層18aを選択的に除去することによって、少なくとも傾斜面17b上に金属層18bを残存させる金属層除去工程とを備える光導波路の製造方法を用いる。 (もっと読む)


【課題】光導波路部分の形成を簡素化することが可能な光結合部材、及び光結合部材の製造方法を提供する。
【解決手段】基材本体16の上面は、コア溝形成面19として形成されている。コア溝形成面19には、コア溝20と一対の閉じ込め壁21とコア樹脂滴下部22と連結溝23とが形成されている。コア樹脂滴下部22及び連結溝23は、コア溝20における前側の溝端部24の位置に配置形成されている。コア樹脂滴下部22は、コア樹脂の充填開始部分として形成されている。コア樹脂滴下部22は、コア溝20の近傍に配置形成されている。連結溝23は、コア樹脂滴下部22とコア溝20と連結するための溝として形成されており、コア樹脂滴下部22からコア樹脂が流れ込むと、これをコア溝20側へ流すことができるようになっている。 (もっと読む)


【課題】簡便に厚さを制御し得る光導波路の構造を提供することによって、特定部分の剛性や柔軟性に優れ、光損失の少ない光導波路、及び光電気複合配線板を提供する。
【解決手段】第1のクラッド層2、コアパターン6、及び第2のクラッド層7が順に積層された光導波路であって、光導波路の中間部における第2のクラッド層の厚さが、光導波路の少なくとも一方の端部における第2のクラッド層の厚さより厚いことを特徴とする光導波路、及び該光導波路を電気配線板に積層した光電気複合配線板である。 (もっと読む)


【課題】光導波路のコア層またはクラッド層の膜厚を任意に制御できる光導波路形成用樹脂フィルム、およびこれを用いた光導波路、その製造方法並びに光電気複合配線板を提供する。
【解決手段】同一フィルム内に厚さが異なる部分を有する光導波路形成用樹脂フィルム、該光導波路形成用樹脂フィルムを用いて作製してなる光導波路、及び光導波路の製造方法、並びに該光導波路を、電気配線板に複合化した光電気複合配線板である。 (もっと読む)


【課題】屈曲耐久性に優れ、光損失の少ないフレキシブル光導波路を提供する。
【解決手段】下部クラッド層2、コア層6、上部クラッド層7が順に積層されてなるフレキシブル光導波路であって、コア層6が中間部より端部が厚く、かつ厚い部分から薄い部分にかけて傾斜を有し、上部クラッド層7がコア層6の傾斜面上で傾斜を有し、コア層6の傾斜角度が、上部クラッド層7の傾斜角度よりも大きいことを特徴とするフレキシブル光導波路、並びに前記フレキシブル光導波路を、フレキシブル電気配線板と複合化した光電気複合配線板である。 (もっと読む)


【課題】耐屈曲耐久性に優れ、かつ光伝搬特性に優れた光導波路及びその製造方法を提供する。
【解決手段】下部クラッド層2、コア部3、及び上部クラッド層4からなる光導波路1において、上部クラッド層4の幅が、少なくとも屈曲部においては下部クラッド層2の幅よりも小さく、端部においては下部クラッド層2の幅と同じか小さく、下部クラッド層2は、屈曲部の幅が端部の幅と同じか小さくする。屈曲部における上部クラッド層4の幅は、下部クラッド層2の幅に対して20〜60%である。 (もっと読む)


【課題】応力が加わった場合においても破損等のおそれがなく、溝の側面の形状が高精度で制御された光素子用基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の光素子用基板の製造方法は、LN基板11の表面11aにマスク14を形成し、次いで、サンドブラスト法により、マスク14を用いてLN基板11の表面11aに、底面12aと側面12bとの角部が0.5μm以上の曲率半径の凹面13となった溝を形成し、次いで、フッ硝酸等を用いてマスク14を除去する。 (もっと読む)


【課題】コアと導電線との位置精度が高い高分子光導波路を提供する。
【解決手段】高分子光導波路10は、光が伝搬するコア14a,14b,14cと、前記コアを包囲し、かつ、該コアよりも屈折率が小さいクラッド12,16,30と、前記クラッドのうち、少なくとも片面のクラッド上に設けられた導電線20a,20bとを有する。導電線は、前記クラッド上に予め設けられた導電層20を分離する第1の溝22によって形成され、前記コアの側面の一部は、前記第1の溝の一部に形成された第2の溝24a,24bによって形成されている。 (もっと読む)


【課題】接着層を用いることなく、基材と被着体との間に光の伝搬経路を形成するとともに、基材と被着体とを強固に接合し、光導波路として機能する接合体を容易に得ることができる光導波路の製造方法、および、薄型化が可能でかつ信頼性の高い光導波路を提供すること。
【解決手段】第1の基板2上にプラズマ重合法により接合膜3を成膜する工程と、接合膜3のうち、一部に線状に設定したコア部領域(第1の領域)310にプラズマ処理を施す工程と、接合膜3を介して第1の基板2と第2の基板4とを接合し、光導波路1を得る工程とを有する光導波路の製造方法であって、プラズマ処理によりコア部領域310の屈折率が上昇するため、コア部領域310とその周囲の領域(クラッド部領域320)との間で屈折率差が生じ、コア部領域310がコア部31になる一方、クラッド部領域320が側方クラッド部32となる。 (もっと読む)


1 - 20 / 47