【課題】被処理物に処理流体を噴き付けて表面処理する装置において、処理流体が処理領域から外に漏れたり、外部の雰囲気ガスが処理領域に入ったりするのを効率的に防止する。
【解決手段】処理ヘッド１０の被処理物Ｗと対向すべき側部４０に、処理領域８０の画成部４１と、その両側の処理外領域８１，８２の画成部４２，４３とを設ける。第１処理外領域８１と処理領域８０との境に処理流体の噴き出し口５０ａを形成し、処理領域８０と第２処理外領域８２との境に吸い込み口５０ｅを形成する。検出手段７０にて第１処理外領域８１における処理領域８０に近い箇所と遠い箇所との差圧を検出する。吸い込み流量調節手段５４にて、上記検出差圧がゼロになるように吸い込み口５０ｅからの吸い込み流量を調節する。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄作業及び／又は乾燥作業には、高圧風の吹出を行うため、かなりの騒音を発生するとともに、風圧による被洗浄物に対する振動等に起因して騒音を発することが考えられる。そして、現実の問題として、今日の生活等の環境、住宅事情や、地域事情等の各種の状況より、騒音が問題になる場合が多いことから、その改良が急務である。
【構成】送風機の送風により、送風ノズルのケーシング内に添設された接続口から空気を取入れ、空気をケーシング内に圧送された高圧風の整流を行い、ケーシングの下方に設けたスリット形状の吹出口から高圧風を吹出し、送風ノズルのケーシングの上方に、ケーシング内部の容積を拡充する空気溜用の膨出部を配備し、接続口から圧送された高圧風の整流及び高圧風の衝突の回避することを特徴とする高圧風を吹出して被洗浄物の洗浄作業及び／又は乾燥作業を行う送風ノズルのケーシングである。 （もっと読む）

【課題】アスベスト等の剥離撤去現場で、作業者と剥離撤去塵埃発生エリアをエアーカーテンで隔離し、アスベスト等を吸引貯留槽に遺漏無く自動吸引誘導する。
【解決手段】アスベスト等１の剥離撤去作業で、作業室内をエアーカーテン１１で隔離して、剥離撤去の作業では床に落下させる事無く吸引収納し、剥離時発生のミクロン微細粉までエア−カ−テン１１により自動誘導で集塵し、作業室内の無麈埃化を達成し、作業者自身の健康と第三者の保護を行い、剥離作業場から処理場までの梱包移送を含む全工程で、大気への微細粉までも放散を防止し、しかも重装備のアスベスト剥離撤去作業者の省労力につながるアスベスト等１の無塵埃剥離撤去収集装置である。 （もっと読む）

【課題】金属缶の製造過程において生じ、缶の内面に付着して残留している金属粉その他の塵埃を除去できるようにした、缶の清掃装置。
【解決手段】地板が巻締められ天板巻締め予定部側が開口している缶を地板の外側から保持する缶保持手段と、缶の胴部及び地板から構成される缶内部に開口部を介して挿脱可能な除塵機構と、缶保持手段を除塵機構の方向に移動させて除塵機構を缶内部に開口部を介して挿脱させる機構及び／又は除塵機構を缶の方向に移動させて缶内部に開口部を介して挿脱させる機構とからなり、除塵機構は缶内部に向けてエアーを噴出するエアー噴出口と吸込み口とを備え、除塵機構が開口部を介して缶内部に挿脱する動作に従ってエアー噴出口と吸込み口とが缶内部を移動する。 （もっと読む）

円筒部材の保守装置は、網状のスチールケーブル等の円筒部材（１３）の周囲を閉じるための２つのヒンジで連結されている半ハウジング（１１、１２）から成るハウジング（１０）を備えている。回転螺旋ブラシアセンブリ（２１）及び回転縦ブラシアセンブリ（２２）がハウジング内に配置されており、ハウジングの軸を中心として回転可能である。各回転ブラシアセンブリは、同軸の分割リング（２３、２６）を備え、分割リングの間には、回転円筒ワイヤブラシ（２５、２８）が接続され、それ自体の軸を中心として独立して回転可能である。ノズル（２９）は、円筒部材に洗浄液又はペンキを吹き付けるために、ハウジング内部に配置されている。ハウジングの開口部（３２）は、環境汚染を避けるために、破片、洗浄液、及びペンキを除去するための吸引装置に接続するためのものである。ハウジング上のループ（１８）は、ハウジングを円筒部材に沿って動かすためにケーブルに取り付けるためのものである。
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【課題】容器を洗浄する装置において、洗浄対処の容器とそれに向けて洗浄液を噴射するノズルとの位置ずれによる洗浄不良の発生を防止する。
【解決手段】洗浄用コンベア２０は、容器１０の側面を把持して搬送する。スターホイール６０は、導入コンベア１１０から洗浄用コンベア２０に対して容器１０を渡す。洗浄ユニットは、洗浄用コンベア２０によって搬送される容器１０とともに移動しながら容器１０に向けて噴射ノズルから洗浄液を噴射する。センサは、洗浄用コンベア２０によって搬送される容器１０と噴射ノズルとの位置関係を検知する。スターホイール調整部７０は、センサによって検知された位置関係に基づいて、スターホイール６０を駆動する駆動機構６５を制御することによって洗浄用コンベア２０によって搬送される容器１０と噴射ノズルとの位置関係を調整する。 （もっと読む）

【課題】容器の内部を少ない洗浄液で効率的かつより確実に洗浄する。
【解決手段】洗浄装置は、容器を倒立状態で把持して搬送するコンベアと、外コンベアによって搬送されている容器の内部に向けて洗浄液を噴射する噴射部３０とを備える。噴射部３０は、洗浄液５０ａ、５０ｂを扇状に噴射しながら回転するノズルヘッド３２を有する。 （もっと読む）

【課題】 基板を回転させながら該基板を洗浄処理する際に、基板を汚染させることなく良好に洗浄処理することのできる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 保持ピンの当接部１０２の高さ位置を第２高さ位置Ｐ２に位置決めして、保持ピンにより未処理基板Ｗの表面Ｗｆを下方に向けたフェースダウン姿勢で保持しながら、基板Ｗの裏面Ｗｂを上面洗浄ブラシ３１で基板Ｗを回転させながら洗浄処理する。続いて、保持ピンの当接部１０２の高さ位置を第３高さ位置Ｐ３に位置決めして、基板Ｗを第１高さ位置Ｐ１で支持ピン６により支持するとともに、遮断板５を処理位置ＰＬに位置決めして遮断板５の対向面５ａと基板Ｗとの間に形成される空間ＳＰに窒素ガスを供給することで基板Ｗを支持ピン６に押圧保持させる。このように基板Ｗを保持した状態で基板Ｗを回転させて基板Ｗの端面を端面洗浄ブラシ４１で洗浄処理する。 （もっと読む）

【課題】円筒体２の内面を完全に洗浄するとともに、洗浄後の水切りも行う。
【解決手段】円筒体２を円筒体支持手段４によって回転可能に支持し、回転手段１０によって回転させる。この円筒体２の内部に挿入される挿入体６の先端に洗浄手段３４を設ける。洗浄手段３４は先端部から順に、エアブローノズル５０、リンス用液ノズル５２、ブラシ５４の順に配置されている。洗浄手段３４を、回転する円筒体２の内部に挿入していくときには、リンス用液ノズル５２から液体を噴射し、続くブラシ５４によって濡れた内面を擦って洗浄する。洗浄手段３４を円筒体２から抜き出す際には、リンス用液ノズル５２から液体を噴射してすすぎを行い、その後からエアブローノズル５０によってエアを噴射して水切りを行う。この挿入体６の洗浄手段３４は、円筒体２の軸線と一致するように支持ローラ６４によって保持されている。 （もっと読む）

【課題】キャリアに搬入する前のウェハやキャリアから搬出したウェハからパーティクルを効果的に除去できる処理システム及び処理方法を提供する。
【解決手段】
基板Ｗを処理する処理システムに，基板Ｗを処理する処理部と，複数枚の基板Ｗを収納する収納容器Ｃを載置する載置台４０と，基板Ｗを略水平な姿勢で保持し，前記収納容器Ｃの開口２０を介して収納容器Ｃ内に対して基板Ｗを搬入出させる基板搬送装置６０とを備えた。そして，基板搬送装置６０によって保持された基板Ｗに対して，開口２０側から開口２０の外側に向かう方向にガスを供給するガス供給口７３を設けた。 （もっと読む）

【課題】 吸引ノズルと被処理体との離間を小さくしても十分な吸引量を確保でき、且つ吸引する外気に渦流を誘起させることで効率的に塵埃を除去することができる塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】 円筒状の吸引ノズル１と、吸引ノズル１の後端に接続されて吸引ノズル１の先端１ｂ側から外気を吸引するための吸引手段と、被処理体３を吸引ノズル１の先端１ｂと対向するように配しつつこれを保持する保持台とを備え、先端１ｂを被処理体３に近接させた状態にて吸引ノズル１で外気を吸引することにより、被処理体３に付着した塵埃を除去する塵埃除去装置Ａにおいて、吸引ノズル１の先端１ｂに、吸引ノズル１の外面１ｃから内面１ｄに連設される溝５が設けられており、溝５を、溝５の中心線Ｏ１と吸引ノズル１の先端１ｂの直径方向とが交差するように形成する。 （もっと読む）