【課題】不純物を確実に除去して優れた洗浄効果を得るとともに、作業性を向上させることのできる多結晶シリコンの洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄槽２の洗浄室２１〜２５内に、異なる勾配の載置面６１を有する支持台６が複数配設され、バスケット３は、その両側部に、吊り上げ機４２により係止される突出部３５がバスケット３の幅方向外方に突出し、かつ、長さ方向に間隔をあけて相互に平行に一対ずつ設けられてなり、支持台６は、その両側部に、載置面６１にバスケット３を載置する際に、一対の突出部３５の間に配置され、支持台６の載置面６１よりも上方に突出する一対のガイドフレーム７が上下方向に沿って立設されている。 （もっと読む）

【課題】省スペース化を図ることができ、以って作業者単独によるワーク搬入出作業を軽減することの可能な洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄槽と、洗浄前のワークを収容するワーク搬送治具を略垂直姿勢で滞留させる入口バッファと、洗浄後のワークを収容するワーク搬送治具を略垂直姿勢で滞留させる出口バッファと、前記ワーク搬送治具を略垂直姿勢で入口バッファから洗浄槽へ搬送し、洗浄後に洗浄槽から出口バッファへ搬送する搬送装置とを具備する洗浄装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに侵入した数μｍの研削屑も良好に除去することができ、かつ、チャックテーブル上に保持された被加工物の表面を良好に洗浄することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】高圧エアー及び液体で構成される２流体洗浄水８２０ａを高圧噴射する構成とすることにより、数μｍほどの屑も洗浄できるようにして、ブラシ等を不要とする。また、飛散防止チャンバー８３と、飛散防止チャンバー８３においてチャックテーブル２の上面２ａ又は被加工物Ｗの表面Ｗａ上で飛散するミスト８２０ｂを外部へ排出する排出手段８４とを備え、洗浄時は、飛散防止チャンバー８３の側壁８３０の下端がチャックテーブル２の上面２ａ又は上面２ａに保持された被加工物Ｗの表面Ｗａと所定の隙間Ｃ１をもち、チャックテーブル２の上面２ａ上又は被加工物Ｗの表面Ｗａ上に形成された洗浄水層８７により隙間Ｃ１が封止されるようにすることにより、ミストが飛散しないようにする。 （もっと読む）

【課題】洗浄剤などの薬剤を使用する洗浄処理を完結でき、環境を汚染せず省エネの要請にも応えることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】飽和蒸気圧を超える圧力を維持して流通水を過熱する過熱ラインＨＴと、過熱ラインＨＴの過熱水を、大気開放状態で洗浄対象物に噴射して洗浄対象物に付着した加工油を除去する洗浄部１と、加工油を含有する凝縮水を洗浄部１から受けて、凝縮水から油分を分離する油水分離部３と、を有して構成され、洗浄処理用の薬剤を使用することなく脱脂洗浄処理を完結することができる。 （もっと読む）

【解決手段】 パレット洗浄システム２は、水平状態のパレット１を起立状態とする起立部Ｃと、パレットに洗浄液を噴射する洗浄部Ｄと、パレットに付着した洗浄液を脱水する脱水部Ｅと、パレットを乾燥させる乾燥部Ｆとを備えている。
このうち、上記乾燥部Ｆは、乾燥手段１９を備えた乾燥室２０と、複数の起立状態のパレットを所定間隔で保持して、該パレットを載置面に直交する方向に搬送する主コンベヤ（第７コンベヤ２２）と、主コンベヤの搬送方向に直交する方向にパレットを移動させて主コンベヤにパレットを供給する供給コンベヤ（第６コンベヤ２１）と、主コンベヤの搬送方向に直交する方向にパレットを移動させて主コンベヤからパレットを排出する排出コンベヤ（第８コンベヤ２３）とを備えている。
【効果】 パレットの洗浄から乾燥までを効率的に行うとともに設置面積を抑えることができる。 （もっと読む）

電極は経路に沿って端部を縦にして搬送される。電極は、底部外周端で支持されて、概ね垂直に保持される。複数の洗浄ノズルが経路に隣接してその対向する両側に配置される。ノズルからの洗浄スプレイは電極の両側面に当てられる。ノズルは、直線状に配置されてノズルアレイを形成し、電極の底部より先に上部に洗浄スプレイが当たるように角度が付けられる。リンスまたは前洗浄用の分離した部分を洗浄チャンバ内に備えてもよい。使用済みの水を回収して再利用してもよい。
（もっと読む）

【課題】ワークの保持手段自体による陰の部分を解消するとともに、そのワークに対する保持作用及び洗浄作用の安定化を図り、長期間の稼働により搬送チェーン等の無端状走行帯に伸びが生じたとしても、ワークの各停止位置における洗浄作用に支障が生じることのない洗浄装置を提供する。
【解決手段】ワークが載置されるワーク載置部と、ワークの上面を押えつける押圧部材と、洗浄媒体を噴射する噴射ノズルとを備え、ワーク載置部７に載置されたワーク１を押圧部材１９により押えつけながら洗浄媒体を吹付ける洗浄装置において、押圧部材１９を噴射ノズル２０と一体的に設け、それらの押圧部材１９と噴射ノズル２０を移動させることにより、押圧部材１９による陰の問題を解消するとともに、ワーク載置部を移動するための搬送チェーン等の無端状走行帯の伸びに起因する押圧部材１９や噴射ノズル２０の移動上の問題を解消する。 （もっと読む）

【課題】 少量の洗浄液で再汚染を防止する。
【解決手段】 洗浄システム１００は、装置本体２、ワークＷが載置される基板テーブル３、汚染物質Ｐに対して洗浄液を供給する洗浄液供給ユニット１２、洗浄液に超音波を付与するホーン超音波発振器１３、洗浄液を吸引する吸引ユニット１４、位置検出ユニット１５、および制御手段１６で構成されている。ワークＷを洗浄する際には、ワークＷに存在する汚染物質Ｐに対して洗浄液供給ユニット１２から液滴を供給し、この液滴にホーン超音波発振器１３から超音波振動を付与して汚染物質Ｐを被洗浄物から脱離させる。また、吸引ユニット１４を用いてワークＷから脱離した汚染物質Ｐを液滴とともに吸引して除去する。 （もっと読む）