【課題】高圧洗浄車において、簡単な構成で操作性を向上させながら、ホースリール操作レバーの誤動作を防止する。
【解決手段】第１油圧モータを流量制御機構を備えた方向切換弁に接続し、この方向切換弁に接続されたホースリール操作レバー１７を操作することで、回転方向及び回転速度を制御可能に構成する。ホースリール操作レバー１７を、第１直線部９０ａと、この第１直線部９０ａの中間の中立位置に連続して第１直線部９０ａに垂直な第１垂直部９０ｂとを有する操作盤表面５０ａの第１ガイド孔９０内に配置し、第１引張コイルバネによって第１垂直部９０ｂに沿って第１直線部９０ａから離れる方向へ付勢する。 （もっと読む）

【課題】特に地下タンクの撤去作業前に可燃性蒸気対策として、比較的安価且つ安全性の高い地下タンクの洗浄方法を提供する。
【解決手段】高圧ホース１０の先端には洗浄ノズル２０が装着され、後端には高圧洗浄機３０が接続されて、高圧水が供給される。高圧ホース１０は、通気管・油面計口Ｌを通って地下タンクＴ内に挿入されている。サクション口Ｓには、先端が地下タンクＴの底面近くまで延びたサクションパイプ４０が差し込まれ、サクションパイプ４０の他端には、ホース５０を介してエアー駆動式ダイヤフラムポンプ６０が接続され、さらにホース７０を介してバキューム車８０に接続されている。高圧ホース１０に高圧洗浄機３０から高圧水が供給されると、洗浄ノズル２０から高圧水Ｈが噴き出し、地下タンクＴ内面に残っていたガソリン等の付着物を洗い流す。同時に、地下タンクＴ内に溜まった洗浄廃水Ｗをサクションパイプ４０から回収する。 （もっと読む）

【課題】 橋梁の下側面に付着した汚れを、効率よく低コストで洗い落とすことが出来る洗浄装置の提供。
【解決手段】 車両１から支持アーム２を水平に延ばし、該支持アーム２の先端には縦支柱８と水平アーム９からなるＬ形アーム３を取付け、上記支持アーム２は伸縮可能とし、Ｌ形アーム３は昇降動すると共に縦支柱８を中心として旋回することが出来る構造とし、そして上記水平アーム９には洗浄液を噴射する噴射ノズル１０，１０・・を取付けている。 （もっと読む）

【課題】コスト高および寸法増加を招くことなく、ボウルの搬入、搬出を簡単に行うことができ、ボウル内周面を効率良く洗浄可能なボウル洗浄装置を提案すること。
【解決手段】パン生地などの混練り等に用いられるボウル１００を洗浄するためのボウル洗浄装置１では、開放型の洗浄槽３の中心に配置した垂直ノズル管１２の先端には垂直ノズル１３が形成され、この下側近傍には、ボウル開口縁側の内周面部分に洗浄液を吹き付ける内側ノズル１３が放射状に形成されている。旋回式のＬ型アーム３１、３２によって上向き状態で受け取ったボウル１００を反転させて下向き状態で洗浄槽３の真上に保持し、垂直ノズル１３から上方に垂直に噴射する洗浄液をボウル１００の円形底面に吹き付ける。洗浄液は全周に広がりながらボウル内周面に沿って流れ、当該内周面の汚れを落とす。ボウル開口縁側の内周面部分は内側ノズル１３から噴射される洗浄液によって洗浄される。 （もっと読む）

【課題】作業者が誤ってノズル部分を手で握るという不具合を解消して高い安全性を確保することができる高圧水洗浄装置を提供すること。
【解決手段】先端にノズル１５とランス１４が取り付けられたフレキシブルホース１３を縦型配管１０１の内部に下方から挿入しながら前記ノズル１５から噴射される高圧水によって縦型配管１０１内を洗浄する高圧水洗浄装置において、互いに平行に配されたローラ（２部材）１８間に前記フレキシブルホース１３を通すとともに、該フレキシブルホース１３の先端に取り付けられた前記ランス１４の一部に前記ローラ１８間の隙間よりも大きな外径を有する大径部１４Ａを形成する。又、前記ローラ１８の近傍に飛散防止カバー１２を立設する。 （もっと読む）

【課題】ダメージや乾燥不良の発生を抑制しつつ、処理時間を低減することができる基板処理方法および基板処理装置を提供する。
【解決手段】ＤＩＷによるリンス処理が行われたウエハＷの表面にＨＦＥを短時間供給する。これにより、ウエハＷ上のＤＩＷの大部分がＨＦＥに置換される。その後、ＨＦＥとＩＰＡの混合液の蒸気をウエハＷの表面に供給する。供給された蒸気は、ウエハＷ上の液成分に均一に溶け込んでいく。また、ウエハＷ上に残留しているＤＩＷは、前記液成分に拡散した後、当該液成分の液面から蒸発していく。これにより、ウエハＷ上からＤＩＷが完全に除去され、パターン倒れの発生が抑制される。その後、スピンドライ処理を実施することにより、ウォーターマークの発生を抑制しつつウエハＷを乾燥させることができる。 （もっと読む）

【課題】不純物による洗浄液の汚染を防いでリード端子部を洗浄することのできる洗浄装置を提供する。
【解決手段】ノズル１は、外筒部２と、外筒部２の内部に配設された内筒部３と、外筒部２を貫通して内筒部３に接続し、内筒部３を外筒部２の長手方向に沿ってピストン駆動するエアシリンダ４とを備える。外筒部２は、内筒部３の周囲に設けられた２つのラビリンスシール９，１０によって、内部を３つの部屋に分けられている。第１の部屋１１には、配管８に接続する第１の開口部５が設けられている。内筒部３は、第１の部屋１１に設けられた第４の開口部１４と、第２の部屋１２に設けられた第５の開口部１５とを有する。第５の開口部１５には水蒸気１７を噴射する噴射部１６が接続していて、噴射部１６は第２の部屋１２から外筒部２を貫通して外部に突出している。 （もっと読む）

【課題】基板の表面の周縁部上のレジストが全厚にわたって硬化していても、その硬化したレジストを除去することができる、基板処理方法および基板処理装置を提供すること。
【解決手段】スピンチャック２に保持されたウエハＷの表面の周縁部（非デバイス形成領域）に、有機溶剤ノズル５から有機溶剤の液体を供給する。これにより、ウエハＷの表面の周縁部上のレジストは、たとえ全厚にわたって硬化していても、有機溶剤の液体に溶解されて除去される。 （もっと読む）

【課題】 チューブ内に注入する洗浄剤がスケール面の全体に行き渡り、且つ大量に供給され、発生するガスの影響を受けない循環ループを形成し、チューブ内に洗浄剤を連続的に循環させることにある。
【解決手段】 熱交換器（Ｘ）のチューブ（Ｙ）内に付着するスケールを除去で、有機酸洗浄液を該チューブ内に循環して供給し、チューブ内のスケールを粗取りし、チューブ内を水洗浄し該洗浄液を回収し、エアブローでチューブ内面を乾燥し、チューブ内面を噴射素材を吹き付けるスケール除去方法であり、その装置は、洗浄液を保有するタンク（１）に循環ポンプ（２）が接続され、該ポンプの吐出口は、一または複数個の排出口を持った分配器（３）に接続され、該分配器の排出口には、一または複数本のチューブに接続され、該チューブの一端がろ過器（４）と接続され、該ろ過器の一端をタンクに接続し、洗浄液の循環ループを形成スケール除去装置から構成される。 （もっと読む）