【課題】真空吸着装置においてワークの設置状況にかかわらず、簡素な構成で前記ワークを確実且つ安定的に吸着することができる。
【解決手段】真空吸着装置１０は、負圧流体の供給される供給ポート２２を有したボディ１２と、該ボディ１２の下部に設けられワークＷを吸着可能なパッド１４と、前記ボディ１２とパッド１４との間に設けられるシール部材１６とを備え、前記パッド１４が多孔質体から形成されると共に、前記シール部材１６が、前記パッド１４に対して剛性が低く形成される。また、パッド１４には、該パッド１４を平面状に維持する保持プレート２６が装着される。そして、例えば、パッド１４に対して傾斜したワークＷを吸着する際、該パッド１４がシール部材１６を変形させながら傾斜して前記ワークＷに密着する。 （もっと読む）

【課題】 真空吸着パッドにおける前記の課題を解決し、コンクリート、モルタル、タイルの凹凸の著しい外壁素材にも高真空で吸着でき、例えば、簡素構造の小型軽量、低コスト、高耐久の、壁面走行安定化装置にも利用可能な真空吸着パッドを提供することを目的とする。
【解決手段】 パッド基板３３と、その周囲に沿ってパッド基板に固定したシール部材３５と、上記基内に設け、真空源に接続するための真空引き孔３７とを備え、これらパッド基板３３とシール部材３５とで囲まれるパッド内を真空に維持して被吸着面に吸着させる真空吸着パッドＰ１において、上記シール部材３５は、高分子ゲルで形成されるとともに、被吸着面側先端３５ａに向かって先細りとし、断面形状において、上記先端３５ａの角度が鋭角であり、かつ、この先端を、パッド基板に固定したシール部材固定部の幅方向中心よりも外側に位置させた。 （もっと読む）

【課題】耐久性の向上を図る。
【解決手段】パッド本体３１の下面側には、弾性材料からなる弾性パッド部３２が接続されている。弾性パッド部３２は、吸着時に被吸着物である液晶パネル１１に対して当接可能とされる。パッド本体３１及び弾性パッド部３２には、内部を貫通し弾性パッド部３２における液晶パネル１１との対向面に開口する排気路４２が確保されている。パッド本体３１及び弾性パッド部３２の接続部分３４は、外周側からカバー３５によって保持されている。 （もっと読む）

【課題】カーボンファイバーの端部が露出して半導体ウェーハを削ったり、短いカーボンファイバーが脱落してパーティクル化するのを抑制できる半導体ウェーハ用の吸着パッドを提供する。
【解決手段】円板１と、円板１の裏面に形成されたリング形の装着リブ２と、円板１の表面に形成された複数の突起と、円板１の中心部に穿孔された吸気孔４と、装着リブ２に対応するよう円板１の表面に凹み形成され、円板１の表面を内側領域６と外側領域７に区画するリング形の歪み抑制溝５と、内側領域６に穿孔された複数の取付孔９と、歪み抑制溝５を複数の溝に分割して補強する複数の分割補強リブ１０とを備える半導体ウェーハ用の吸着パッドを体積抵抗率が１．０×１０^０〜１．０×１０^１３（Ω・ｃｍ）の熱可塑性樹脂コンパウンドにより射出成形してロボットのアームに装着する。そして、ロボットのバキューム装置の駆動に基づき、半導体ウェーハＷを吸着保持させる。 （もっと読む）

【課題】吸着痕を残さずにワークを搬送することができる吸着パッドを提供することを課題とする。
【解決手段】吸着パッド１０は、空気を吸引する空気吸引孔１１を有するゴム製の吸着パッド本体１３と、吸着パッド本体１３の吸着面側に形成され、吸着パッド本体１３のゴム成分の漏出を防止する皮膜９２と、を備えており、吸着面側に被搬送物が吸着されて保持される。吸着パッド本体１３はシリコーンゴムで構成されている。皮膜９２は、吸着パッド本体１３の吸着面側に電子線を照射してゴム成分を構成する分子を架橋させることにより、周波数５Ｈｚの正弦波歪みを与えたときに、温度２７〜２８℃における動的弾性率が２．４×１０^７〜２．４５×１０^７Ｐａの範囲内とされた皮膜にされている。 （もっと読む）

【課題】リサイクル可能な吸着パッドであって、吸着性に優れ、かつ、被吸着物の変形を生じさせない吸着パッドの提供。
【解決手段】筒状の基部と、前記基部の一端に連結するスカート状の吸着部とを具備する吸着パッドであって、前記吸着部が、熱可塑性エラストマーを含有する熱可塑性エラストマー組成物からなり、前記熱可塑性エラストマーが、側鎖に、カルボニル含有基を有する水素結合性架橋部位と、共有結合性架橋部位および／または含窒素複素環とを含有する、吸着パッド。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの損傷を抑制し、パーティクルの発生を防ぐことのできる半導体ウェーハ用吸着パッドを提供する。
【解決手段】体積抵抗値が１Ｅ＋０〜１Ｅ＋１３（Ω・ｃｍ）の熱可塑性樹脂コンパウンドを用いて半導体ウェーハ用吸着パッドを射出成形する。半導体ウェーハ用吸着パッドを、板体１と、板体１上に突出形成される内側リブ１０と、板体１の周縁部に形成されて内側リブ１０を包囲する外側リブ２０と、板体１に穿孔され、内側リブ１０と外側リブ２０との間に連通する吸気孔２とから構成し、ロボットのバキューム装置に接続して半導体ウェーハＷの裏面を吸着保持させる。熱可塑性樹脂コンパウンドの射出により、半導体ウェーハ用吸着パッドにスキン層３０を形成し、このスキン層３０の被覆保護作用により、半導体ウェーハＷの損傷等を防止する。 （もっと読む）

【課題】 積み上げられた板材を１枚ずつ把持して、その直ぐ下の板材を動かしてしまうことなく搬送できる吸引パッドおよび板材検査装置を提供すること。
【解決手段】 吸引パッド３１は、作動アーム３２の先端に設けられ、板材Ｗをエア負圧発生源３３の吸引力によって吸着する。この吸引パッド３１は、作動アーム３２に取り付けられた吸引パッド本体３１ａと、吸引パッド本体３１ａの周縁部に設置され、板材Ｗが当接する吸盤部３１ｂと、吸盤部３１ｂおよび吸引パッド本体３１ａ内に囲繞されて形成され、エア負圧発生源３３に接続されたエア配管３５に連通する内部空間部３１ｃと、内部空間部３１ｃを介して吸盤部３１ｂに当接して吸引パッド本体３１ａに吸着される板材Ｗに対向して配置され、吸引パッド本体３１ａに設けた突起３１ｄと、を有している。 （もっと読む）

【課題】 被搬送物を確実に吸着保持し得る真空吸着具を提供する。
【解決手段】 この真空吸着具は、貫通孔１３が設けられた中空の取付部材１２と、これに装着される弾性筒体１４とを有している。弾性筒体１４は取付部材１２に固定される基端部１５とこれに一体となった蛇腹部１６とを有し、真空供給源に貫通孔１３を介して連通する連通室１７が設けられている。弾性筒体１４に装着される吸着パッド２４は多孔質構造となっており、連通室１７に連通し被搬送物Ｗに開口する開口孔２８が設けられるとともに被搬送物Ｗに接触する吸着面２７が設けられている。吸着面２７に被搬送物Ｗを接触させた状態で開口孔２８を真空状態にすると、開口孔２８の真空と開口孔２８から気孔を介して真空状態となる吸着面２７の真空とにより吸着力が得られる。 （もっと読む）