【課題】基板の高速搬送に適した基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、基板を保持するハンド２３Ａ，２３Ｂと、ハンド２３Ａ，２３Ｂを駆動するハンド駆動機構２０，２６，２７と、ハンド２３Ａ，２３Ｂの動作を補助するように気体を噴射する気体ノズルを有する動作補助ユニット１０Ａ，１０Ｂとを含む。動作補助ユニット１０Ａ，１０Ｂは、ハンド２３Ａ，２３Ｂに備えられており、気体噴射により生じる反力によって、ハンド２３Ａ，２３Ｂの動作を補助する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、多関節型ロボットアームの滑らかな動作を実現することができる制御装置を提案する。
【解決手段】
本発明の制御装置２は、第一駆動モータ、第二駆動モータ、および第三駆動モータにかかる負荷イナーシャ、重力トルク、モータトルク、ならびにモータイナーシャに加えて、ばね装置のトルク、ならびに第一駆動モータ、第二駆動モータ、および第三駆動モータそれぞれの動力を伝達するための駆動系部材列のイナーシャである駆動系イナーシャのうちの少なくともいずれか一つを用いて、第一駆動モータ、前記第二駆動モータ、および第三駆動モータの角加速度を算出する加速度算出手段を備える。 （もっと読む）

【課題】ロボットに与えられている外力判定を高精度に行うための閾値を決定する。
【解決手段】近似部１４２が、ロボットに対して人的操作による外力及び積載による外力をそれぞれ与えたときにロボットに加わる垂直抗力を所定のサンプリング周期（Δｔ）で取得し、各サンプリング間隔における垂直抗力の変動量を指数関数で近似する。また、取得部１４４が、ｆ₀の値を変更しつつ、各外力における垂直抗力の変動量がｆ₀を超える確率Ｇ_L、Ｇ_Hをそれぞれ求め、それらの確率の差分を取得する。そして、パラメータ導出部１４６が、取得部が取得した確率の差分に基づいて選択されるｆ₀の値を、外力の判定に用いるパラメータ（閾値ｆ_c）とする。 （もっと読む）

【課題】重力補償の精度を高め、かつ、計測動作時において工具とワークとの衝突を避け、さらに、計測時間を短縮することを可能とした加工ロボット及びその重力補償方法を提供する。
【解決手段】外力を計測する力センサ１５を備えた工具１２を用い、加工中に工具１２に作用する加工反力を計測しながらワーク１を加工する加工ロボット１０の重力補償方法であって、加工軌道をＣＡＭによって生成し、ワーク１の加工前に、加工軌道と干渉しない範囲で準備した計測軌道において、工具１２を加工時の姿勢で動作させ、その際の力センサ１５の計測値をオフセット値として記憶し、ワーク加工時に、加工軌道上の同一の姿勢におけるオフセット値を、加工中の力センサ１５の計測値から差し引いて、加工反力を算出し、加工反力を用いて、工具１２の押付力を制御しながらワーク１に倣って加工する。 （もっと読む）

【課題】高価なセンサ等を用いることなく物体が挟まれた位置を正確に検出し、挟み位置に応じてトルクを最適に制御できるようにする。
【解決手段】関節角度の検出値θが目標値θrに追従するように生成される基本トルクＴ0に安全モータトルクプロフィールＰsによる制限を適用することにより安全モータトルクＴsを演算する。θに対するＴsの変化に基づいてリンク機構２１への物体の挟み込みを検出する。物体の挟み込みが検出された場合に関節部から物体までの挟み位置ｘを推定する。挟み位置ｘに応じてＰsを設定する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、エンドプレートおよびツールや治具の重量を支えることができ、また、駆動電流による発熱を抑制し、作業を行う際の駆動力を確保する。
【解決手段】ベースプレート２とエンドプレート４との間に接続された複数のリンク３と、各リンク３に取り付けられ、リンク３を駆動させるアクチュエータ６と、ベースプレート２とエンドプレート４との間に接続され、定常位置でのエンドプレート４およびエンドプレート４に取り付けられた物体の重量を支える重力補償装置５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ロボットアームと周囲の対象物との接触等で生じる外力を低減することができるようにしたロボットシステム及びロボット制御装置を提供する。
【解決手段】ロボットアーム２と、ロボットアーム２に設けられロボットアーム２を駆動させる１以上のアクチュエータ４１Ａ〜４７Ａと、ロボットアーム２とアクチュエータ４１Ａ〜４７Ａとの少なくともいずれかにかかる外力を検出するセンサ部４と、アクチュエータ４１Ａ〜４７Ａの動作を制御するとともに、センサ部４の検出結果に基づいてアクチュエータ４１Ａ〜４７Ａへのトルク指令値を制限するコントローラ３と、を有して構成する。 （もっと読む）

【課題】オンラインで特定動作を必要とせず、ロボットが把持するワークの重量及び重心位置を推定する装置を提供する。
【解決手段】ワーク重量を想定せずにモータに向けて送られたトルク指令と把持されたワークの重量に応答して現実に生じているトルクとの差異に着目してワークの重量を推定する。ロボットに作用する重力トルク及び摩擦トルクを演算する手段（２７）と、現実に生じているトルクから重力トルク及び摩擦トルクを減算することにより正味の外乱トルクを演算する手段（２４）と、正味の外乱トルクをロボットの手先力及び手先モーメントに変換する手段（２５）と、負荷が追加される前にロボットの手先に生じている第１の手先力推定値と、負荷が追加され微小量だけ持ち上げた後にロボットの手先に生じている第２の手先力推定値との差分を計算することにより負荷の重量を推定し、同様にして第１及び第２の手先モーメントの差分を計算することにより負荷の重心位置を推定する手段（２６）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】支持姿勢や搬送動作にかかわらず板状部材の撓みを抑制できる支持装置および支持方法ならびに搬送装置および搬送方法を提供すること。
【解決手段】接着シートＭＳが貼付された板状部材Ｗの搬送装置１は、接着シートＭＳを介して板状部材Ｗを保持する保持手段２と、保持手段２で保持された板状部材Ｗを付勢して板状部材Ｗの面位置を所定位置に維持する面位置維持手段６と、保持手段２を移動させる移動手段３とを備え、面位置維持手段６は、板状部材Ｗを一方側に付勢するかまたは他方側に付勢することで、板状部材Ｗの支持姿勢や搬送動作にかかわらず板状部材Ｗの面位置を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】鉛直方向を検出することのできるロボットの制御装置を提供する。
【解決手段】ロボット１０は、第４軸線Ｊ４の方向に延びるとともに、第４軸線Ｊ４を中心として回転可能に支持された第２上アーム１６Ｂと、第４軸線Ｊ４に直交する第５軸線Ｊ５から離れる方向へ延びるとともに、第２上アーム１６Ｂにより第５軸線Ｊ５を中心として回転可能に支持された手首部１７とを備える。第４軸線Ｊ４を中心として第２上アーム１６Ｂを重力により自由回転させ、且つ第５軸線Ｊ５を中心として手首部１７を重力により自由回転させた場合に、手首部１７の先端が指す方向を鉛直方向として検出する。 （もっと読む）

【課題】工具をワークに押付けながらワークを加工することができ、かつ加工中に工具の姿勢を変えても、力センサの直線性誤差、他軸感度誤差、及び回転工具の回転によるコリオリ力の影響を低減して高精度な加工制御ができる重力補償方法を提供する。
【解決手段】外力を計測する力センサを有しワークを加工する工具と、工具を３次元空間内で位置と姿勢を移動可能なロボットアームと、加工データを記憶しロボットアームを制御するロボット制御装置とを備える。ワークの加工前に、工具とワークとを接触させずに、工具を加工軌道に沿って加工時の送り速度及び姿勢で動作させ、その際の力センサの計測値をオフセット値として記憶する。次いで、ワークの加工時に、加工軌道上の同一の送り速度及び姿勢におけるオフセット値を、加工中の力センサの計測値から差し引いて、加工反力を算出し、この加工反力を用いて、工具の押付力を制御しながらワークに倣って加工する。 （もっと読む）

【課題】瞬時歩容発生手段が発生した瞬時目標運動では考慮されていない、各脚体の中間部の関節の屈曲動作に伴う慣性力の影響を補償して、動力学的な精度を高めるように該瞬時目標運動を補正する。
【解決手段】ロボット１の直立姿勢状態から、各脚体２の先端部近傍の所定の点と、脚体２の上体３との連結部近傍の所定の点とを結ぶ線分の長さが縮まるように各脚体２の中間部の関節１６Ｒ，Ｌを屈曲させて、関節１６Ｒ，Ｌを前記線分と交差する方向に突出させる歩容を生成するとき、上体３と各脚体２との連結部の位置を、瞬時目標運動で定まる該連結部の位置から脚体２の中間部の関節１６Ｒ，Ｌの突出の向きとほぼ逆向きに変位させ、且つ、上体３の下端に対する上端の位置を、瞬時目標運動で定まる上体３の下端に対する上端の位置から脚体２の中間部の関節１６Ｒ，Ｌの突出の向きとほぼ同じ向きに変位させるように瞬時目標運動を補正する。 （もっと読む）

【課題】 低コストで信頼性が高く正確なロボット関節部におけるたわみ補正、力制御等ができるロボット装置を提供すること。
【解決手段】 基台側リンク１に備えた駆動モータ１１を駆動制御する制御装置と、この駆動モータの動力を入力軸５２、固定軸５３、出力軸５４の３要素を有する減速機５を介して先端側リンク２に伝達する関節部３を備え、この関節部３は、前記基台側リンク１に筐体が固定され、検出部で前記減速機５の入力軸５２の角度情報を検出する第一エンコーダ１２と、前記先端側リンク２に筐体２１が固定され、検出部２２で前記減速機５の入力軸５２の角度情報を検出する第二エンコーダ２３とを備え、前記制御装置は、前記第二エンコーダ２３で検出した前記入力軸５２の角度情報に基いて前記駆動モータ１１を駆動制御するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】マニピュレータ先端部に保持されるワークの質量の変動に影響されることなく、多自由度マニピュレータの滑らかで高精度な動作を実現する。
【解決手段】複数のリンク１７ａ、リンク１８ａ、可動アーム１１ｂを、複数の第１関節モータ１７、第２関節モータ１８、第３関節モータ１９によって駆動することにより、ワーク１０を保持するマニピュレータ先端部１１ａの３次元空間での大きな自由度の動きを実現する多自由度マニピュレータ１１において、マニピュレータ先端部１１ａの内部に流体タンク２１を設け、ワーク１０の質量の変動に応じて流体タンク２１に貯留される流体２０の量を変化させることで、ワーク１０の質量の変動に影響されることなく、常に一定の負荷がマニピュレータ先端部１１ａに作用するようにした。 （もっと読む）

【課題】摩擦補償を適切に行うことでロボットの実際の動作軌跡をより理論に近づける。
【解決手段】ロボット制御装置３は、モータ軸側ギアと出力軸側ギアとが停止しており且つ弾性変形量がゼロである状態から出力軸を目標駆動方向に駆動させる場合に、モータ軸側ギアに印加する目標駆動方向への摩擦補償用トルクを徐々に増加させ、弾性変形量が最大弾性変形量に到達した以後では弾性変形量が最大弾性変形量に到達した時点での摩擦補償用トルクを一定値として印加する。 （もっと読む）

【課題】摩擦補償を適切に行うことでロボットの動作軌跡の精度を適切に高める。
【解決手段】ロボット制御装置３は、モータ軸側ギアと出力軸側ギアとが停止しており且つ弾性変形量がゼロである状態から出力軸を目標駆動方向に駆動させる場合に、モータ軸側ギアに印加する目標駆動方向への摩擦補償用トルクを徐々に増加させ、弾性変形量が最大弾性変形量に到達した以後では弾性変形量が最大弾性変形量に到達した時点での摩擦補償用トルクを一定値として印加する。 （もっと読む）

【課題】ハンド本体に対して移動可能な可動部としての可動フレーム、第２取付アーム、及び複数の第２クランパに作用する慣性力を相殺して、基板の実際のテンションの増大及び変動を十分に抑えること。
【解決手段】ハンド本体９の他端側に一対のカウンタウェイト３３Ａ，３３Ｂがハンド長さ方向Ｌへ移動可能に設けられ、各第１滑車３５Ａ（３５Ｂ）にカウンタウェイト３３Ａ（３３Ｂ）と可動フレーム１９を連結する第１連結ワイヤ３９Ａ（３９Ｂ）が支持され、各第２滑車４１Ａ（４１Ｂ）にカウンタウェイト３３Ａ（３３Ｂ）と可動フレーム１９を連結する第２連結ワイヤ４５Ａ（４５Ｂ）が支持されていること。 （もっと読む）

【課題】ロボットの接触状態の判定を元に位置制御と力制御を使い分けロボットの位置や姿勢だけでなく力加減を非接触状態から接触状態まで連続的に制御、教示し、再生することができるロボットの制御装置を提供する。
【解決手段】先端にエンドエフェクタを取り付けたロボット１０１を教示装置１０８により誘導して接触を伴う作業を教示し、教示した作業を再生するロボットの制御装置において、作業の教示時に、エンドエフェクタまたは把持対象物１０３が作業対象物１０４に接触していない場合にはロボット１０１を位置制御にて誘導し、教示点の登録の際にロボット１０１の位置を記憶し、エンドエフェクタまたは把持対象物１０３が作業対象物１０４に接触している場合にはロボット１０１を力制御で誘導し、教示点の登録の際に力の大きさを記憶する。 （もっと読む）

【課題】多関節ロボットが障害物等に衝突した際、ロボット及び障害物に与える機械的ダメージを最小限に抑えるロボットの停止方法を提供し、衝突検出後、再プレイバックした際、再衝突を回避できるようにする。
【解決手段】モータ３により駆動されるロボットアーム４と、前記ロボットアーム４が障害物に衝突することを検知する衝突検出装置６を備え、前記衝突検出装置６からの情報をもとに前記ロボットアーム４を制御するロボットシステムにおいて、前記衝突検出装置６からの前記情報をもとに複数の停止方法を判断する停止方法選択処理部１５を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】歩行ロボットの関節に発生させる補助トルクの最大値を歩行中の任意の時点で変化させること。
【解決手段】バネスイッチのシリンダ５１内をスライドするスライド部５２にバネの一端を連結し、シリンダ５１内表面に窪み６１を設けるとともにシリンダ５１の中心軸６８に垂直な断面でのスライド部５２の断面積を変えることによって、バネをバネスイッチでロックする。スライド部５２は、Ｓ極部６２と、Ｎ極部６３と、コイル６４とを有し、コイル６４が発生する磁界によりＳ極部６２とＮ極部６３をくっ付けたり離したりすることによってシリンダ５１の中心軸６８に垂直な断面でのスライド部５２の断面積を変える。 （もっと読む）