【課題】 真空紫外光を研磨対象物の被研磨面へと適切に照射して、研磨対象物の被研磨面を高精度且つ高効率に平坦化できる研磨装置を提供する。
【解決手段】 真空紫外光Ｌに対して透過性を有する定盤３と、定盤３の裏面側から真空紫外光Ｌを照射する真空紫外光照射部４と、研磨対象物２を研磨するために定盤３の表面に取り付けられ、且つ真空紫外光照射部４から照射されて定盤３を透過した真空紫外光Ｌを通す複数の貫通孔５１が形成されている研磨パッド５と、定盤３を回転させるための駆動手段と、真空紫外光照射部４が収容される容器７内を窒素パージするための窒素供給手段８と、研磨パッド５の表面に研磨液を供給する研磨液供給手段と、を備える研磨装置１。 （もっと読む）

【課題】回転砥石等の回転刃物も使用できる新たな手持ち式ベルトサンダを提供する。
【解決手段】駆動源であるモータ１２と、モータ１２のモータ軸１２ａに固定される駆動側傘歯車１３と、駆動側傘歯車１３により回転駆動され駆動プーリ２１を備える従動回転部と、従動回転部の前側に突出して設置されるアーム部３０と、アーム部３０の前側先端部に駆動プーリ２１と離間して回動自在に設置される従動プーリ２２と、駆動プーリ２１と従動プーリ２２との間に張架される無端のサンダベルト４１とを備える手持ち式ベルトサンダにおいて、駆動プーリ２１は回転刃物を取付け可能とする回転刃物接続部を備える。 （もっと読む）

【課題】４個の加工手段を備えた加工装置を小型に構成することができる加工装置を提供する。
【解決手段】加工装置は、中心部に開口を備え回転可能に配設されたターンテーブルと、ターンテーブルに正多角形の頂点の位置に配設され被加工物を保持する保持面を備えた少なくとも５個のチャックテーブルと、ターンテーブルの該開口を挿通して立設された支柱と、支柱に少なくとも５個のチャックテーブルのうちの４個のチャックテーブルに対応して配設された４個の加工手段と、４個の加工手段をそれぞれチャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に移動せしめる４個の加工送り手段と、ターンテーブルを回動して４個のチャックテーブルを４個の加工送り手段による加工領域に位置付けた状態において余りのチャックテーブルに被加工物を搬入・搬出する搬入・搬出領域とを具備している。 （もっと読む）

【課題】
ＳｉＣ、ＧａＮ又はＷＣ等の超硬合金を始めとする難加工材料の表面に、大気圧プラズマで生成した高密度ラジカルを照射して、ラッピングやポリシング等の機械研磨で容易に除去が可能になるように表面の機械的性質を改質し、スクラッチフリー、ダメージフリーの高品位表面を高能率に創成することが可能な難加工材料の精密加工方法及びその装置を提供する。
【解決手段】
大気圧プラズマによって生成した反応性の高い酸化種を難加工材料の表面に作用させて改質し、難加工材料に表面改質層を形成する表面改質プロセスと、難加工材料に対してスクラッチや加工変質層を導入せず、且つ難加工材料よりも表面改質層に対する除去レートが高い研磨機構によって表面改質層を選択的に除去する研磨プロセスと、を含み、表面改質プロセスと研磨プロセスを交互に繰り返し、あるいは同時に進行させて加工する。 （もっと読む）

【課題】ワークの内周面が第１加工部の第１加工具により加工された後に第２加工部の第２加工具により加工される複合加工工具において、前記第１加工具を径方向内方に位置させるリトラクト機構の機能向上を図る。
【解決手段】複合加工工具１は、スカイビング加工部６とバニシング加工部とリトラクト機構８とを備える。ワークの内周面は、スカイビング加工部６の切削刃２２により加工された後にバニシング加工部のバニシングローラにより加工される。リトラクト機構８は、位置設定部３１を有するリトラクトピン３０と、リトラクトピン３０を軸線方向に駆動する駆動機構と、切削刃２２を有するカートリッチ２０を径方向内方に付勢して位置設定部３１に当接させる板バネ３５とを備える。リトラクトピン３０は、前記駆動機構により駆動されて位置設定部３１を通じてカートリッチ２０の位置を変更することにより、切削刃２２の径方向位置を変更する。 （もっと読む）

【課題】摺動面におけるスカッフィング（特に低温でのスカッフィング）の発生が防止されたＳｉ粒子含有Ａｌ−Ｓｉ系合金摺動材を提供する。
【解決手段】１７〜３５質量％のＳｉを少なくとも含むと共に、研削加工により形成された潤滑油保持が可能な溝部と塑性加工が施された平坦部とを有し、少なくとも前記平坦部の表面からＳｉ粒子の一部が突出した摺動面を備えている。 （もっと読む）

【課題】電解研磨における研磨ステップの終了点を検出するためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】電解研磨システムは、電解液を通る電流を送出するように構成された電源を有する。電源が供給する電気信号の信号特性を監視して研磨終了点を決定する。例えば、監視信号特性は電流および電圧を含む。別の実施形態では、電流は研磨で除去した材料量に関連付けられ、全時間にわたる電流を監視することによって研磨で除去した材料の全量を決定することが出来る。 （もっと読む）

【課題】電解研磨と機械研磨とを同時に行う研磨加工方法および装置を提供すること。
【解決手段】駆動側ワーク（駆動側加工ワーク）１と被駆動側ワーク（被駆動側加工ワーク）２とを、砥粒（遊離砥粒）３を分散させた電解液４中で少なくとも一部を対向させて配置し、前記各ワーク１，２を相対運動させるとともに、少なくともいずれか一方のワークと前記電解液４との間に電力を掛けて、機械的な研磨と電解研磨とを生じさせる研磨加工方法において、前記駆動側ワーク１と前記被駆動側ワーク２との前記砥粒３を挟んだ加工部位での法線力を相対的に増大させるとともに、前記ワーク１，２と前記電解液４との間に掛ける電力を相対的に低くする形状創成加工と、前記法線力を相対的に小さくするとともに、前記電力を相対的に高くする表面研磨加工とを行うことを特徴とする研磨加工方法である。 （もっと読む）

【課題】鋳物表面の鋳巣を補修する工具であって、工具表面に凝集する余肉の除去が可能な表面加工工具を提供する。
【解決手段】本発明の表面加工工具は、円筒部をもつ鋳物Ｃの内周面Ｃ_Ｓを加工する表面加工工具１であって、回転軸Ｘを中心に回転するとともに軸方向に送られる本体部２と、本体部２から突出し、内周面Ｃ_Ｓに対して傾斜するとともに回転方向前方に面するしごき面３２ａと、しごき面３２ａの先端部に位置し内周面Ｃ_Ｓを押圧する押圧端部３ｐと、をもつ押圧突起３と、押圧突起３よりも送り方向後方で本体部２から突出し、しごき面３２ａよりも大きく傾斜する切削面４２ａと、切削面４２ａの先端部に位置し押圧突起３が通過後の内周面Ｃ_Ｓに当接する当接端部４ｐと、をもつ当接突起４と、を備える。回転する本体部２を円筒部内で軸方向に送ることで、押圧突起３のしごき面３２ａ側に集まる余肉Ｍが、当接突起４により切削される。 （もっと読む）

【課題】研磨パッドの回転速度を通常使用される回転速度である２５ｒｐｍ〜１５０ｒｐｍの範囲で設定すれば、加工速度の変化が許容される変化割合よりも小さくなる研磨パッド、並びに電解複合研磨装置及び電解複合研磨方法を提供する。
【解決手段】基板表面の金属膜の電解複合研磨に使用される電解複合研磨装置の対向電極上に設置される貫通孔を有する研磨パッド１０１であって、貫通孔１０１ａの孔径Ｄが０．１ｍｍ〜５ｍｍ、厚さｈが０．５ｍｍ〜５ｍｍ、かつ孔径の２乗／厚さ（Ｄ^２／ｈ）が０．００２ｍｍ〜５０ｍｍの範囲であることを特徴とする。 （もっと読む）

一実施形態では、基板処理表面を維持するための方法が提供される。本方法は、一般に、基板処理表面に対して測定の第１のセットを実行する工程と、ここでは、測定のセットが処理表面コンディショニングアームに結合された変位センサを使用して行われ、測定のセットに基づいて処理表面プロファイルを決定する工程と、処理表面プロファイルを最小プロファイルしきい値と比較する工程と、プロファイル比較の結果を伝達する工程とを含む。
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【課題】 平坦化特性及び面内均一特性に優れる電解研磨パッドを容易に製造する方法を提供することを目的とする。さらに、前記特性に加えて電気抵抗が小さく、研磨速度が大きい電解研磨パッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 離型シートの片面に粘着剤層を有する粘着テープの該粘着剤層に銅シートを貼り合わせて粘着型銅シートを作製する工程、前記粘着型銅シートに銅シート及び粘着剤層を貫く溝を形成して２個以上の銅陰極領域からなる陰極層を形成する工程、前記陰極層に研磨層を貼り合わせる工程、及び前記離型シートを剥離して、露出した粘着剤層にクッション層を貼り合わせる工程を含む電解研磨パッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 平坦化特性に優れ、スクラッチの発生を抑制でき、研磨速度が大きい電解研磨パッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 凹部構造面を有する樹脂層の該面側に、複数の錫シートを該凹部構造に沿って並べて積層し、かつ対向する錫シート端部を同じ凹部内に埋入して、錫シート表面に溝を有する積層シートを作製する工程、及び前記積層シートに錫シート及び樹脂層を貫く貫通孔を形成する工程を含む電解研磨パッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】サポートロールをオフセット移動させても、曲げ力を開放して破壊を防ぎ、歩留まりを向上させることができる研磨装置を提供する。
【解決手段】めっき浴槽２内に導いた帯状体Ｓを方向転換させるシンクロール３と、方向転換された帯状体Ｓを挟むサポートロール４，５とがめっき浴槽２に設けられている。一方が固定されたアーム部２２と、アーム部２２の他方にヒンジ部２４を介して回動可能に連結され、サポートロール４の周面に当接するブレード部２１とを有する研磨装置２０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 平坦化特性に優れ、スクラッチの発生を抑制でき、研磨速度が大きい導電性シートを提供することを目的とする。
【解決手段】 凹部構造面を有する樹脂層の該面側に、錫シートが該凹部構造に沿って積層されている積層シートを少なくとも含み、前記積層シートは、錫シート表面に溝を有しており、かつ錫シート及び樹脂層を貫く貫通孔を有する導電性シート。 （もっと読む）

本発明は、熱機関の構成部品の製造方法、特にタービン、コンプレッサ、エキスパンダ用の構成部品を製造する方法に関するものであって、該方法においては、該構成部品の素材が少なくともある部分において浸食により加工され、該浸食により生成された表面は、バレル研磨及び／又は電解研磨により、前記浸食により生成された白層が少なくともある部分においては完全に除去されるように処理される。本発明はさらに、前記本発明の方法を用いて製造された、熱機関用の構成部品に関する。 （もっと読む）

【課題】平坦化特性に優れ、スクラッチの発生を抑制でき、研磨速度が大きく、かつ陽極を備えた研磨パッドを簡便かつ生産性よく製造する方法を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの陽極用突出部２１を有する錫シート１１の片面に樹脂層１３を積層して積層シートを作製する工程、及び積層シートの陽極用突出部２１以外の部分に錫シート１１及び樹脂層１３を貫く多数の貫通孔Ａ１７を形成する工程、貫通孔と錫シートの間にポリウレタン樹脂を含む樹脂領域Ｘを形成する工程、錫シートにポリウレタン樹脂を含む樹脂領域Ｚ１５を形成する工程により研磨パッドを製造する。 （もっと読む）

【課題】研磨時のスクラッチを低減できる導電性研磨パッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】研磨パッド用の基材（Ａ）に、スルホン酸基および／またはカルボキシ基を有する導電性ポリマー（Ｂ）が付着してなる導電性部材（Ｃ）を有する導電性研磨パッド。研磨パッド用の基材（Ａ）にアミノ基を２以上有する化合物（Ｄ）が付着してなる基材（Ａ’）に、スルホン酸基および／またはカルボキシ基を有する導電性ポリマー（Ｂ）が付着してなる導電性部材（Ｃ）を有する導電性研磨パッド。 （もっと読む）

使用済みまたは損傷を受けた工業用構成要素の再製が、磨耗されたか、または損傷を受けた重要な表面から材料を除去するために、減法表面技法プロセスを用いて行われる。方法は、表面から第１の量の材料を除去するために、構成要素に最初にプロセスを行うことと、損傷の範囲を決定するために、構成要素の表面を検査することと、続いて、必要に応じて、さらなる量の材料を除去するために、プロセスをさらに行うこととを含む。 （もっと読む）

【課題】研磨テープのような研磨デバイスを使用して基板を研磨することに関する装置及び方法が提供される。
【解決手段】研磨デバイスは、ベース４１０、ベースに貼り付けられる樹脂層４０８、及び、樹脂層によってベースに添付される複数のエンボス加工された研磨粒子４０６及び／または研磨ビーズを含んで形成することができる。複数の研磨粒子及び／または研磨ビーズは、樹脂層においてエンボス加工することができる。複数の研磨ビーズは、バインダ材料中に懸濁された複数の研磨粒子を含むことができる。複数の研磨粒子及び／またはビーズと樹脂層は結合して、基板に接触するように適合された研磨デバイス４００の研磨面４０２を形成する。基板の研磨は、好ましくは、基板が回転している間に、研磨テープを除いたいずれの装置も縁部に接触しないように、基板が保持デバイスによって回転している間に基板の縁部を研磨することを含む。 （もっと読む）