【課題】構成部品の幾何形状が複雑であっても、また構成部品材料の加工性が劣悪であっても、高級構成部品部分の精密加工を可能にする、金属構成部品の製造方法を提供することである。
【解決手段】材料の切削により、および／または材料の変形加工により形成された３次元形状を有する金属構成部品の製造方法であって、１つまたは複数の高級構成部品部分の精密加工が、電解液を作業領域に放出するノズル状カソードを用いた電気化学的加工によって行われ、前記カソードまたは金属構成部品が、マニピュレータエレメントによって空間内を自由に移動される製造方法。 （もっと読む）

【課題】
ソーワイヤの表面に、長さ方向に沿った所定間隔（ノズルの設置間隔に依存する間隔）の溝を電解加工により効率よく形成することができる電解加工装置および電解加工方法を提供する。
【解決手段】
プーリー１に掛け回されたワイヤＷＲの表面に、長さ方向に沿った所定間隔の溝を電解加工により形成するソーワイヤ製造装置１００であって、ワイヤが掛け回された領域においてワイヤを断続的に張架する、複数のワイヤ支持部１１と、隣接する２つのワイヤ支持部間に張架されたワイヤＷＲに向けて電解液を出射する、複数のノズル１２と、を有するワイヤ加工用のプーリー１、ワイヤＷＲと、当該ワイヤに向けて出射された電解液ＬＱとの間に電圧を与える電源２、および、ノズル１２から出射される前記電解液に出射圧を与えるポンプ３を備える。 （もっと読む）

【課題】
加工対象を軸回転させて微細部品や微細工具を製造する際に当該加工対象に機械ストレスや熱ストレスを与えないで、高精度かつ高効率の微細加工を行う。
【解決手段】
電解液ＬＱをフィルム状に出射するスリット状出射口１１１を備えたノズル１１と、ノズル１１に電解液ＬＱを供給する電解液供給源１２と、フィルム状の電解液ＬＱと加工対象ＯＢとの間に電圧Ｖを加える電源１３と、加工対象ＯＢを支持し加工対象ＯＢをフィルム状の電解液ＦＬＱに接触させつつ相対的に軸回転させる加工対象支持回転ジグ１４とを備え、フィルム状の電解液ＦＬＱが加工対象ＯＢに接触する線状部分を電解加工する電解加工装置１。 （もっと読む）

【課題】流体が流通する２つの通路が斜めに交差する流体機器において、２つの通路が交差する部位の破損を防止する。
【解決手段】一方の通路１３ａに加工電極５０を挿入して鋭角側交差部１３０ｘの電解加工を行う場合、加工電極５０を挿入していない他方の通路１３ｃ側は加工電極５０から遠いため電解加工ができず面あれを発生し、この面あれ部を起点として鋭角側交差部１３０ｘが破損し易い。そこで、鋭角側交差部１３０ｘを、第１通路１３ａに挿入される第１加工電極５０と第２通路１３ｃに挿入される第２加工電極５１とを用いて電解加工する。このようにすれば、鋭角側交差部１３０ｘ全体において加工電極５０、５１との距離が近いため、鋭角側交差部１３０ｘ全体において面粗度を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】電解加工の研磨精度並びに研磨レートの向上を図る。
【解決手段】ウェーハWの被加工対象膜と電解加工装置10の電極31との間のギャップGを電解液の静圧或いは動圧を利用して極小に制御する。電解液33は誘電体微粒子を含有したものを用い、電解液をギャップ間へ供給しつつ通電して電解加工を行う。ギャップ中の誘電体微粒子が被加工対象膜に近接、または接触した箇所の電位勾配が急峻となり、その部分に活性化エネルギーが集中して除去加工が進行する。誘電体微粒子は分布確率の一様性に応じて被加工対象膜の全面に均等に作用し、表面が荒れることなく鏡面が形成される。 （もっと読む）

【課題】電解加工の研磨精度並びに研磨レートの向上を図る。
【解決手段】電解加工装置11の加工ヘッド部13にカーボンファイバーなどの導電性材料の線状電極15を設ける。定盤12上にウェーハWをセットして回転駆動し、注液ノズル16からウェーハの表面へ電解液Sを供給する。回転するウェーハ上の電解液の動圧により線状電極の先端が浮上して微小なギャップが形成される。ギャップが微小なことから、被加工対象膜の凸部分に強い電解強度が作用し、高い研磨レートで凸部分が選択的に除去される。電解液に固体微粒子、好ましくは誘電体微粒子を含有させることによって、さらに加工性能が向上する。 （もっと読む）

【課題】動圧溝の深さのばらつきが少ないシャフトを製造する。
【解決手段】シャフト１３１の外側面に動圧溝１３１１を形成する電解加工装置２は、電解加工ユニット２１、シャフト固定部２３および電源２４を備える。電解加工ユニット２１は動圧溝の形状の電極を有する筒状の電極部２１２を有し、電極部２１２は中心軸Ｊ２に垂直な方向に摺動可能に支持される。シャフト１３１はシャフト固定部２３に固定されて電極部２１２に挿入される。電解液供給部２１４から電解液がシャフト１３１の外側面と電極部２１２の内側面との間の間隙に供給されると、電極部２１２が移動して電極部２１２の中心軸がシャフト１３１の中心軸に一致し、この状態で電源２４によりシャフト１３１と電極部２１２の間に電流を流すことによりシャフト１３１の外側面に動圧溝１３１１が形成される。これにより、動圧溝の深さのばらつきを減少させることが実現される。 （もっと読む）

【課題】加工部と非加工部の境界（エッジ）近傍の高精度な電解加工を可能とする電解加工装置、電解加工方法、及び凹凸面を有する部品の製造方法を提供すること。
【解決手段】電解加工に用いる電極（１）を、被加工物（３）の加工面と対向する面に導電部（９）と絶縁部（１０）が形成され、該絶縁部に電解液供給孔（７）が配置されているものとするとともに、その電極を用いて電解加工する際、電極をＺ軸にそって往復動させて、電極下降時に電解加工を行い、電極上昇時にはスラッジの除去を行うとともに電解液の供給圧力を電極の移動と同期して制御する。 （もっと読む）

この発明はワークピースを機械加工するための方法を提供する。当該方法は、予め定められた距離を空けてワークピースの表面と電極とを配置するステップを含む。当該方法はまた、表面と電極との間における電解質の流れを方向付けるステップを含む。当該方法はまた、ワークピースを機械加工するために表面と電極との間に電圧を印加して電流を生成するステップを含む。当該方法はまた、第１の予め定められた材料を電解質の流れに追加して、ワークピースの表面に結合し、保護層を残すステップを含む。
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【課題】微細な凹凸を有する基板上の金属膜の表面を低い加工圧力で平坦化することができ、かつ金属膜をその全面に亘って均一な加工速度で加工することができる電解加工装置を提供する。
【解決手段】本発明の電解加工装置は、給電電極３１及び加工電極３２と、基板Ｗを保持する基板キャリアー１１と、給電電極３１と基板Ｗとの間に第１の電解液を供給する第１供給流路５１と、加工電極３２と基板Ｗとの間に第２の電解液を供給する第２供給流路５２と、第１の電解液と第２の電解液とを電気的に絶縁する絶縁体３６と、給電電極３１と加工電極３２と絶縁体３６とが配設されるテーブル１２と、給電電極３１と加工電極３２との間に電圧を印加する電源３３と、絶縁体３６と金属膜６とを接触させた状態で、テーブル１２と基板キャリアー１１とを相対運動させる相対運動機構１７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】流体動圧軸受とくにハードディスク用スピンドルモータに用いられるスリーブの、ラジアル動圧発生溝加工、アキシャル動圧発生溝加工、及び内周面のオイル溜まりのバリ取り加工が同時に又は適宜選択して行える電解加工冶具を提供する。
【解決手段】スリーブの端面所定位置に行うアキシャル動圧発生溝加工と、スリーブ内周面所定位置に行うラジアル動圧発生溝加工及びスリーブ内周面所定位置に行う加工バリの除去加工のうち、１つ若しくは二つ以上を同時に行うための電極体と、電解液通路形成機能とスリーブに対する電極の位置決め機能とを備えた絶縁性ガイド冶具とで構成され、絶縁性ガイド冶具の端面をスリーブ保持冶具又は保持されたスリーブの端面と加圧密着させることにより、電解液が流れる通路を形成することを特徴とする電解加工冶具、これを用いた電解加工方法。 （もっと読む）

【課題】導電性の難切削材に微細な任意の加工形状の加工をより高精度に行なうことができ、仕上面質と仕上面粗さに優れる電解液ジェット加工方法を提供すること。
【解決手段】ジェットノズル１を定電流電源装置２の陰極に接続し被加工物を陽極に接続する。所望の加工形状の加工深さを目標にして所望の加工形状の輪郭形状が得られるように、重ね合わせの原理に基づいて同一または異なる加工条件に従う複数の加工溝を組み合わせるように相対移動軌跡を設定する。そして、設定された相対移動軌跡に沿ってジェットノズル１を走査することによって被加工物３に目的の加工を行なう。 （もっと読む）