本開示は、多孔質研磨層を有する研磨パッド、そのようなパッドの製造方法、及び研磨プロセスにおけるそのようなパッドの使用方法に関する。研磨パッドは、対向する第１の面及び第２の面を有する柔軟層と、柔軟層の第１の面上に配置された多孔質研磨層と、を備える。多孔質研磨層は、熱硬化成分と放射性硬化成分とを含む架橋網状組織を含み、放射性硬化成分と熱硬化成分とが、架橋網状組織中で共有結合されている。多孔質研磨層は、架橋網状組織中に分散されたポリマー粒子も含み、ポリマー粒子は、熱可塑性ポリマー類又は熱硬化性ポリマー類の少なくとも１つを含む。多孔質研磨層は、典型的には、架橋網状組織中に分散された独立気泡孔も含む。 （もっと読む）

【課題】研磨治具、研磨フィルム、及び分析方法において、作業効率を高めること。
【解決手段】研磨フィルム１０が装着される先端部３と、先端部３の外周側面３ａに嵌合する内面５ａを有し、内面５ａと外周側面３ａとの間で研磨フィルム１０を挟持する着脱自在な押さえ部材５と、外周側面３ａにおいて、押さえ部材５よりも先端寄りの位置に設けられた突起部６と、突起部６と押さえ部材５との間に挿入され、着脱自在な固定具７とを有する研磨治具による。 （もっと読む）

研磨要素または建築用要素は、少なくとも部分的に失透しているガラス材料から本質的になる。研磨要素または建築要素を形成する方法は、複数のガラス材料の破片を設けるステップと、複数のガラス材料の破片を熱処理し、これによって、失透材料を含む少なくとも一部を有する固形成型部材を形成するステップと、を含む。
（もっと読む）

【課題】切れ味が良好で、高精度で高能率なドレッシングが長期間にわたって可能な、ダイヤモンドロータリドレッサを提供する。
【解決手段】超砥粒層には互いに交差する溝を網目状に設け、超砥粒層の作用面と溝のなすエッジ部に超砥粒を配置し、溝の内部の超砥粒は溝表面から突出しないように配置する。溝底のコーナー部には丸みを付与することが好ましく、溝幅は超砥粒の平均粒径の２倍から５０倍、溝深さは、超砥粒の平均粒径の０．１倍から５倍に設定することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】超硬質粒子の先端の高さ位置が高精度で揃う超砥粒工具及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基材１１にボンド層１２を介して超硬質砥粒１３を固着させた超砥粒工具１０であって、ボンド層１２が、セラミックスからなるサポート粒子１２ｂを含有する樹脂１２ａからなる。 （もっと読む）

【課題】研磨コストを低減することが可能な球状体の研磨装置、球状体の研磨方法および球状部材の製造方法を提供する。
【解決手段】研磨装置は、回転盤研磨面１０Ａを有する回転盤１０と、回転盤研磨面１０Ａに対向する固定盤研磨面を有する固定盤とを備えている。回転盤研磨面１０Ａは固定盤研磨面に対して対向する状態を維持しつつ、相対的な回転が可能となっている。回転盤研磨面１０Ａには、上記回転に沿った周方向に延在する溝部１１が形成されている。溝部１１が形成された回転盤１０は、球状体である素球よりも高い硬度を有するダイヤモンド粒子からなる砥粒を含む砥粒層１８と、砥粒層１８上に形成され、砥粒層１８よりも低い硬度を有する保持層１９とを含んでいる。そして、溝部１１は深さ方向において保持層１９を貫通し、砥粒層１８に至るように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 クリーニング後の面に、深い傷を残すことなく美麗な表面が得られ、しかも作業中もストレスなく、簡単に洗浄・汚れ落し作業が行えるクリーニング材を提供する。
【解決手段】 シート１０ａ表面に一次接着剤１２ａをコートさせ、基材研磨粒子１ａを落下又は静電引力により付着させ、一次接着剤１２ａを硬化させた後、微小研磨粒子２ａを配合した二次接着剤１４ａをコーティングし、二次接着剤１４ａを硬化させ、研磨面全体として、微視的に凹凸面のあるシート材である。 （もっと読む）

【課題】刃部および柄部を備えた穴加工用工具（電着ドリル）において、その刃部の先端が摩耗しにくい、製品寿命が長い穴加工用工具を提供する。
【解決手段】機械主軸に取り付けられる柄部（シャンク）２０と、ねじれ溝１２が形成された刃部１０とを備えた穴加工に用いられる穴加工用工具１であって、刃部１０の先端部１０ａの回転軸付近には、先端部１０ａから突出したメタルダイヤ１３が埋設されていると共に、先端部１０ａおよび周辺部にダイヤモンド砥粒３０が電着により付着されている。 （もっと読む）

【課題】刃部および柄部（シャンク）を備えた、穴加工に用いられる電着ドリルにおいて、その刃部の先端が摩耗しにくい、製品寿命が長い電着ドリルを提供する。
【解決手段】機械主軸に取り付けられる柄部（シャンク）２０と、先端に向けて螺旋状のねじれ溝１２が形成された刃部１０とを備えた穴開け用の電着ドリル１であって、刃部１０は、その先端部にダイヤモンド砥粒３０が固着されていると共に、先端部１０ａが円弧凸状になされている。 （もっと読む）

【課題】微細構造を有する針状体の加工時および転写成形時の欠損を抑制することが可能な針状体製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の針状体製造方法によれば、段差を備えた研削刃を用いることにより、多段構造の針状体が簡易な工程で作製可能となる。また、特に転写成形時の欠損が発生しやすい針状体先端の近傍のみ接触面積を低減させた構造を作製することができることから、転写時に版と成形品とが張り付くことによって生じる先端欠損を低減させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】安価で異径管の内面を確実かつ容易に研磨できる研磨部材を提供する。また、両端に小径部中間に大径部が形成された異径セラミックス管を割ることなく、その内面を確実かつ容易に研磨できる異径管内面の研磨方法を提供する。
【解決手段】本研磨部材は、予め異径管の大径部の内面に沿うような形状に成形した形状部を研磨部として用い、異径管の小径部を貫通する状態では、形状部は伸びた状態になり、大径部に達した状態では、形状部は大径部の内面に沿うような形状に復元する。また、これを用いた異径管内面の研磨方法。 （もっと読む）

【課題】鉄−アルミ複合材料など硬質材料と軟質材料の複合材料を加工した時に、ワークの硬質材料部分から発生する切粉を細かくすると共に、砥粒脱落を防止することが可能なフライス工具を提供する。
【解決手段】カップ状の台金１１の端面１１ｂにろう付けによりダイヤモンドからなる砥粒１２ａ，１２ｂが固着され、前記台金の端面１１ｂの外周寄りの部分である外周部２と、内周寄りの部分である内周部１との境界に溝１３が設けられ、前記内周部１の平坦面１ａが前記外周部２の平坦面２ａよりも高く形成され、前記外周部２の最外周部２ｂは傾斜面または曲面に形成されたフライス工具において、前記最外周部２ｂには、３個以上８個以下の略同一粒径の砥粒１２ｂを略一定間隔で略同一円周上に配置した砥粒集合体１６が、所定の間隔をおいて配置されていることを特徴とするフライス工具。 （もっと読む）

【課題】被研磨物から所定量の研磨物を削り取る。
【解決手段】被研磨物より高硬度の材料を用い、所定の円領域３内に所定サイズの凹部２を所定数設けた研磨体１を形成する。各凹部２の平面サイズｘ，ｙ、深さｄ、個数等は、研磨体１によって被研磨物から削り取るべき研磨物の量に基づいて設定する。これにより、研磨体１で被研磨物が削られ、削られた研磨物が凹部２に充填され、研磨体１に所定量の研磨物が保持されるようになる。保持された研磨物を用いて分析を行う場合には、高精度の分析を効率的に行うことが可能になる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の表面の洗浄性能が高く、耐久寿命が長いガラス基板用洗浄工具を提供する。
【解決手段】洗浄工具１０の砥石片１６は、マトリクスとしての母体樹脂２４と、その母体樹脂２４よりも硬く且つガラス基板４２よりも低強度のフィラー( 薄片状シリカ、マイカ）２２とを含むことから、洗浄に際して砥石片１６によりガラス基板４２を傷つけることなく、ガラス基板４２の表面に付着した封止樹脂が好適に削除されるとともに、ガラス基板４２の表面に付着したガラスカレットが好適に弾き飛ばされるので、ガラス基板４２の表面における高い洗浄性能と長い耐久寿命とが得られる。 （もっと読む）

【課題】容易に微細工具を製造することができる微細工具の製造方法及び微細工具の製造装置を提供する。
【解決手段】微細工具の製造方法は、棒状工具本体１の外周部を棒状工具本体１とは別の材料からなると共に、棒状工具本体１より除去成形が容易な材料のクラッド材２によって被覆して複合構造工具３を形成し、この複合構造工具３のクラッド材２の一部を除去して棒状工具本体１を必要長さに露出させて微細工具１００を製造するものである。 （もっと読む）

【課題】作業効率が高く、塗装欠陥を効率よく除去する塗膜研磨装置および塗膜の研磨方法を提供すること。
【解決手段】塗膜研磨装置は、研磨材の粗さが異なる同心円状の２つの領域を有する研磨フィルム５と、該研磨フィルムの装着部であり、塗膜に向けて凸状の曲面を有する研磨パッド４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】切削ブレードの取り付けられるフランジの支持面を簡単に修正可能な修正器具を提供する。
【解決手段】修正器具８０は、ブレードマウントの係合軸を受け入れる開口部８２ａとこの開口部を囲繞し固定フランジの支持面に作用する作用部８２ｂとを有する作用体８２と、この作用体を支持する握り体８４と、作用体の作用部に貼着され固定フランジの支持面を研磨する研磨シート８６とから構成される。固定フランジの支持面に研磨シートを圧接させて修正器具の握り体を左右に回動することにより、支持面に付着したごみを除去して固定フランジの支持面を滑面に修正する。 （もっと読む）

【課題】コイル状の弾性ばねを用いて確実に孔の内縁角部を研削可能な被加工物の製造方法及び装置を実現する。
【解決手段】 研削ばね体１１を予め孔１９ａの他方側に配置し、第１端部１２ｃを一方側へ移動させて弾性ばね１２を軸線方向に引き伸ばして外径を縮小しつつ孔１９ａを通して第１端部１２ｃを孔１９ａの一方側に抜き出させ、その後、第２端部１２ｄを一方側へ移動させて弾性ばね１２を孔１９ａの一方側で軸線方向に短縮させ、弾性ばね１２の少なくとも軸線方向の第１端部１２ｃの側にある部分の外径を増加させて孔１９ａの内径より大きく構成し、その後、弾性ばね１２を他方側へ移動させて孔１９ａの一方側から孔１９ａ内に引き込む過程で、弾性ばね１２の外周部を内縁角部１９ｂに対し周回方向に連続的に当接させ、刃先１２ｂで内縁角部１９ｂを周回状に研削する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの表面を改質して、処理前の表面ウェーハと比較して、より”平坦で”、および／またはより”均一で”、および／またはより”粗面でない”表面を得ること。
【解決手段】半導体ウェーハ３４の露出面を改質する方法であって、（ａ）該表面３６を、多数の研磨剤粒子と結合剤とを所定のパターン形状で含む３次元的に加工された研磨表面を有する固定された研磨物品３９と接触させるステップと、（ｂ）該ウェーハと該固定された研磨物品とを液状媒体４３の存在下で相対的に移動させて、該ウェーハの前記表面を改質するステップとを含む方法。 （もっと読む）

【課題】すべての研磨剤用途において良好な研削性能（例えば、長寿命、高切削速度、一定切削速度および一定表面仕上げなど）を見込んでいる凝集物および凝集物を製造する方法が望まれてきた。凝集物の寿命全体にわたり現れたばかりの研磨剤粒子を凝集物が作業表面に提供することが望まれてきた。さらに、凝集物の多孔度を制御するような方法で凝集物を製造することが望ましい。
【解決手段】本願は凝集物を開示している。凝集物は結晶質マトリックスを含む。凝集物は研磨剤粒子をさらに含んでもよい。凝集物は約０．３８未満の正規化かさ密度を有する。本願は凝集物を製造する方法をさらに開示している。凝集物は、酸化物および水を含むゾルと合わせて研磨剤粒子を含む混合物を形成し、混合物を噴霧乾燥機に導入することにより製造される。その後、混合物は噴霧乾燥機内で乾燥させる。その後、混合物は例えば炉内で焼成される。得られた凝集物は、酸化物の結晶質マトリックス内に保持された研磨剤粒子を含む。本発明は、本発明の凝集物を使用する方法をさらに開示している。 （もっと読む）