【課題】従来よりもＳ／Ｎ比を向上させることが可能な共振器およびその製造方法、ならびにそのような共振器を備えた発振器および電子機器を提供する。
【解決手段】入力交流信号Ｓinの周波数に応じて縦波振動による共振振動を行う振動部１１内において、振動部１１内に（ＬＣＲ直列共振回路と並列に）、導体部１１１よりも抵抗値の高い高抵抗部１１３を設ける。共振ピークの信号レベルＳｐを低下させずに、バックグランドレベルＳｂｇを下げることができる。なお、振動部１１において、梁部１２Ｈおよび支持部１３Ｈとの接続部分ならびにその周辺領域が高抵抗部１１３となっていると共に、これら梁部１２Ｈおよび支持部１３Ｈもまた高抵抗部（高抵抗領域）となっているようにするのが好ましい。 （もっと読む）

本発明は、複数の金属微小構造体を製造する方法であって、
ａ）導電基板、または導電シード層で被覆された絶縁基板を用意する工程と、
ｂ）基板表面の導電部分の上に感光性樹脂の層を塗布する工程と、
ｃ）感光性樹脂層の表面を平坦化して、望みの厚さおよび／または表面状態にする工程と、
ｄ）望みの微小構造体の外形に合ったマスクを通して樹脂層にＵＶ照射する工程と、
ｅ）感光性樹脂層の重合されていない領域を溶解して、基板の導電面が所々見えるようにする工程と、
ｆ）上記導電層の上に少なくとも１層の金属層をガルバニック堆積して、ほぼ感光性樹脂の上面の高さまで達するユニットを形成する工程と、
ｇ）樹脂と電鋳ユニットが同じ高さになるように樹脂および電鋳金属を平坦化し、それにより電鋳部品または微小構造体を形成する工程と、
ｈ）樹脂層および電気めっき部品を基板から分離する工程と、
ｉ）工程ｇ）の最後に出来上がった構造から感光性樹脂の層を除去して、上記のようにして形成された微小構造体を取り出す工程と
を含むことを特徴とする方法に関する。 （もっと読む）

【課題】所望の方向に光を正確に反射するマイクロミラー装置を得る。
【解決手段】マイクロミラー装置１０が走査するレーザ光のうち、カバーガラス底面において結像レーザ透過領域２１０の外側に向けて走査されるレーザ光は、カバーガラス底面に設けられた光反射膜により光検出部材に向けて反射される。このとき、第１の可動部１２０は、第１のＹ方向光検出部ＰＤｙ１と第２のＹ方向光検出部ＰＤｙ２との間から第５のＹ方向光検出部ＰＤｙ５と第６のＹ方向光検出部ＰＤｙ６との間までレーザ光を走査するように制御され、第２の可動部１３０は、第１のＸ方向光検出部ＰＤｘ１と第２のＸ方向光検出部ＰＤｘ２との間から第５のＸ方向光検出部ＰＤｘ５と第６のＸ方向光検出部ＰＤｘ６との間までレーザ光を走査するように制御される。これにより、照射対象面に設けられた結像領域内に形成される情報、たとえば文字情報や画像情報をユーザが認識可能となる。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図りつつ、可視光領域での波長分離を高精度に行うことができる光学デバイス、光学デバイスの製造方法、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス１は、可動部２１の第２の構造体３側の面上に設けられた第１の駆動電極２８と、第２の構造体３上に第１の駆動電極２８に対向するように設けられた第２の駆動電極３３とを有し、第１の構造体２および第２の構造体３は、金属を主材料として構成された金属層４を介して接合され、かつ、金属層４を導体として第１の駆動電極２８と第２の駆動電極３３との間に電圧を印加することにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】表面粗さの低減と摩擦性能の向上させながら微小機械システムの微小機械部品をコーティングする方法を提供する。
【解決手段】 本発明の微小機械システムの微小機械部品をコーティングする方法は、（Ａ）コーティングすべき基板（４）を用意するステップと、（Ｂ）前記基板（４）を、ダイアモンドコーティング層（１）を施すステップとを有する。前記ダイアモンドコーティング層（１）は、反応容器内でＣＶＤステップにより堆積され、前記ＣＶＤステップによるダイアモンドコーティング層の（１）の堆積プロセスの間の成長プロセスの終了段階に於いて、前記反応容器内の炭素量を変化させ、前記基板（４）の表面近傍のｓｐ^２／ｓｐ^３炭素（２）結合の変化を生じさせる。 （もっと読む）

【課題】フォトリフレクタによる検出精度を向上させた２次元走査の光走査装置を提供することである。
【解決手段】光走査装置１２ａは、互いに異なる軸方向を有するミラー軸部（第１軸部）２２及び枠軸部（第２軸部）２４と、ミラー軸部２２の回動によって回動するとともに、枠軸部２４の回動によって回動するミラー部２０と、ミラー部２０及びミラー軸部２２を囲み、枠軸部２４の回動によって回動する可動枠部２３と、ミラー部２０の裏面に対向し、ミラー部２０の裏面を反射面とする第１フォトリフレクタ３１と、可動枠部２３の裏面に対向し、可動枠部２３の裏面を反射面とする第２フォトリフレクタ３２とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】光の反射面位置により光位相を変調する方式において、ミクロンサイズの構造にマイクロミラーを一体化した構造体の駆動において光波長より十分短い位置精度で光の反射面位置を制御する位相変調素子を提供する。
【解決手段】可動構造体２２の移動を２枚の薄膜金属片持ち梁停止板１３で挟んだ範囲に限定し、所望の光位相変調量から該停止板間距離を設定し、該範囲の中央から両端部に向けより低いエネルギーポテンシャル状態を形成し、メモリセルデータにより該構造体の移動方向を差別化し、該構造体を該範囲のいずれかの端に移動させ、端に形成した該梁停止板によって該構造体を停止し保持安定化させる双安定駆動により、該構造体に一体化したマイクロミラーにより反射される光の光路長を切り替え、再現性の良い光位相変調を実現する。 （もっと読む）

【課題】所望の方向に光を正確に反射するマイクロミラー装置を得る。
【解決手段】カバーガラス２００は、平板状の直方体であって、カバーガラス底面２０２には、ＣｄＳを蒸着して形成される光検出部材が設けられる。光検出部材は、第１から第６のＸ方向光検出部ＰＤｘ１−ＰＤｘ６と、第１から第６のＹ方向光検出部ＰＤｙ１−ＰＤｙ６とから成る。第１のマイクロミラー装置１０は、カバーガラス底面２０２上において、第１の可動部１２０が、第１のＹ方向光検出部ＰＤｙ１と第２のＹ方向光検出部ＰＤｙ２との間から第５のＹ方向光検出部ＰＤｙ５と第６のＹ方向光検出部ＰＤｙ６との間まで、第２の可動部１３０が、第１のＸ方向光検出部ＰＤｘ１と第２のＸ方向光検出部ＰＤｘ２との間から第５のＸ方向光検出部ＰＤｘ５と第６のＸ方向光検出部ＰＤｘ６との間までレーザ光を反射するように制御される。 （もっと読む）

【課題】 ＭＥＭＳチップとシリコン製キャップチップを接合したＭＥＭＳ組立体を樹脂
モールドすると、樹脂モールド時にワイヤーが動きシリコン製キャップチップの側面と接
触して、ノイズの発生や線間短絡の不具合がある。
【解決手段】 シリコン製キャップチップの側面をウェットエッチングで形成し、ウェッ
トエッチング面に絶縁性保護膜を形成することで、密着力の高い絶縁性保護膜が形成でき
、樹脂モールド時にワイヤーが動いてキャップチップ側面に接触しても、ノイズの発生や
線間短絡を防止できる。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳセンサーの感度の検出に影響を与える可動錘の質量と、容量電極のダンピング係数、弾性変形部のバネ特性等の設計の自由度を向上させる。
【解決手段】多層配線構造を加工して形成されるＭＥＭＳセンサーは、弾性変形部１３０によって固定枠部１１０に連結され、周囲に空洞部が形成されている可動錘部１２０と、固定枠部１１０に固定された固定電極部１５０と、可動錘部１２０に接続され、固定電極部１５０に対向して配置される可動電極部１４０とを含む容量電極部１４５と、可動錘部１２０の質量、可動電極部１４０のダンピング係数および弾性変形部１３０におけるバネ特性の少なくとも一つを調整するための調整層ＣＢＬ（ＣＢＬ１〜ＣＢＬ３）とを含み、調整層ＣＢＬは、多層配線構造の構成要素である、少なくとも一層の絶縁層を含む。 （もっと読む）

【課題】薄膜圧電アクチュエータを備えるＭＥＭＳ（微小電子機械システム）デバイスを提供する。
【解決手段】第１の面を有する基板１０２が、第１の面上において第１の接着促進導電層１０４と、結晶配向促進層１０６と、第２の導電１０８と、誘電層１１０と、第３の接着促進導電層１１４と、導電性電極１１６を有する。圧電部１１２は、この結晶配向促進層１０６と接触し、結晶配向促進層１０６の配向に対応する配向を有する。誘電材料１１０が圧電部１１２を囲む。この誘電材料１１０は、無機材料から形成される。 （もっと読む）

【課題】 特に、センサ部材とキャップ部材間の応力を効果的に緩和できるＭＥＭＳセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】 センサ部材４とキャップ部材５とが接合層６を介して接合されている。前記センサ部材４は、前記接合層６側からセンサ領域を備える第１シリコン部材１、第１酸化絶縁３層及び第２シリコン部材２の順に積層されている。前記キャップ部材５は、前記接合層６側から第３シリコン部材７、第２酸化絶縁層８及び第４シリコン部材９の順に積層されている。 （もっと読む）

【課題】可動錘部の質量を効率的に増大させることができ、また、物理量を高精度で検出可能であり、また、多層配線を使用するＣＭＯＳプロセスを用いて、自在かつ容易に製造することが可能なＭＥＭＳセンサー（例えば静電容量型加速度センサー）を提供する。
【解決手段】弾性変形部１３０を介して固定枠部１１０に連結され、周囲に空洞部１１１，１１２が形成された可動錘部１２０を有するＭＥＭＳセンサー１００Ａにおいて、可動錘部１２０は、複数の導電層１２１Ａ〜１２１Ｄと、複数の導電層間に配置された複数の層間絶縁層１２２Ａ〜１２２Ｃと、複数の層間絶縁層の各層に貫通形成された所定の埋め込み溝パターンに充填され、層間絶縁膜よりも比重が大きいプラグ１２３Ａ〜１２３Ｃと、を含む積層構造体を有し、各層に形成されたプラグは、一または複数の長手方向に沿って壁状に形成された壁部を含む。 （もっと読む）

【課題】傾斜磁場に感応しないようにする。
【解決手段】音叉式ジャイロスコープ１００は、導電性サスペンション１３３、１３４を介して基板１２９に連結されたアンカー１４４、１４５と接続される第１導電性プルーフマス１１０及び第２導電性プルーフマス１２０を備えている。第１の導電性プルーフマスの対向する２つの端１１１、１１２及び第２の導電性プルーフマスの対向する２つの端１２１、１２２に電気抵抗中間ポイント１７１が電気的に接続されており、該中間ポイントを介して、音叉式ジャイロスコープから感知電荷増幅器１３０に信号を提供し、感知電荷増幅器から、音叉式ジャイロスコープの回転を示す出力信号V_outを発生する。中間ポイントでは傾斜磁場の影響がキャンセルされるので、出力信号には、傾斜磁場によるノイズが含まれていない。 （もっと読む）

【課題】可動体を揺動可能に支持する構成のマイクロ構造体において、トーションバーの端部の形状不安定およびこれに伴うマイクロ構造体の特性ばらつきを抑制する。
【解決手段】マイクロ構造体１は、第１層からなる部分および前記第１層よりも下側の第２層からなる部分を含むフレーム３と、第１層からなる部分および第２層からなる部分を含む可動体２と、第１層からなりフレーム３の第１層からなる部分と可動体２の第１層からなる部分とを連結して可動体２を揺動可能に支持する揺動支持部４と、を備える。そして、揺動支持部４のフレーム３側の端部が、フレーム３の第２層からなる部分によって下方から支持され、揺動支持部４の可動体側２の端部が、可動体２の第２層からなる部分によって下方から支持されている。 （もっと読む）

【課題】力学量の検出を行う感知部を有するセンサチップを、基板に搭載したものを、封止部材により封止してなるセンサ装置において、封止部材によってセンサチップに発生する応力を極力低減する。
【解決手段】感知部１１を表面に有するセンサチップ１０を、基板２０の一面側に搭載した後、センサチップ１０および基板２０を封止部材３０により被覆して封止するセンサ装置の製造方法であって、基板２０の一面側にセンサチップ１０を搭載するとともに、センサチップ１０の表面に揮発性を有する樹脂５０を配置して、当該表面を樹脂５０で被覆した後、これらセンサチップ１０および基板２０を封止部材３０によって封止し、その後、封止部材３０を硬化するとともに、樹脂５０を加熱して揮発させてセンサチップ１０の表面のうち封止部材３０で被覆されている部位と封止部材３０との間に空隙４０を設ける。 （もっと読む）

【課題】磁束を導いてＭＥＭＳデバイスを通過させるための磁極片の使用を提供すること。
【解決手段】磁性材料で充填された１つまたは複数の凹部（１２２、１３０）をそれぞれが有する、２つの対向する基板層（１２８、１２４）が、閉ループ動作をもたらすために、磁束の流れを導いてＭＥＭＳデバイス層（６０）内のコイル（４４）を通過させる。磁束は、１つの磁極片からコイルを通過して第２の磁極片へ流れる。また、リソグラフィ・エッチング技術を用いた製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】正確に所望の値のギャップを有し、駆動領域の駆動時に基板に駆動力が加わっても、ギャップの変動が少ないＭＥＭＳデバイスの実装構造を提供する。
【解決手段】駆動領域２１を有する駆動基板２０と、電極パッド３１を有し駆動基板が積層する電極基板３０と、駆動領域と電極パッドとの間の距離を所望に保持するための高さを有する距離調整部６０と、駆動基板と電極基板との間に形成される干渉回避部７０とを具備する。距離調整部６０は、バンプ６０ｃと、バンプに成膜され、接合面を有する接合膜６０ａとを有している。全ての接合膜の接合面を合計した面積は接合面が接合する駆動基板と電極基板とのいずれかの投影面積よりも小さく、少なくとも１つのバンプは駆動領域の外周縁の近傍に配設され且つ接合面が電極パッドに非干渉となるように、または電極パッドの外周縁の近傍に配設され且つ接合面が駆動領域に非干渉となるように配設される。 （もっと読む）

本発明は、ＭＥＭＳセンサーおよび３つの互いに直交する空間軸ｘ，ｙおよびｚの少なくとも１、好ましくは２に沿った加速度および回転速度をＭＥＭＳセンサー（１）によって測定する方法に関し、少なくとも１の駆動マス（６；６．１，６．２）および少なくとも１のセンサーマス（５）が基板（２）上に移動可能なように配置され、前記少なくとも１の駆動マス（６；６．１，６．２）は、駆動振動数において前記少なくとも１のセンサーマス（５）に対して移動可能であり、前記センサーの外側の加速が起きたとき、駆動マス（６；６．１，６．２）およびセンサーマス（５）は、駆動振動数において傾けられ、前記センサー（１）の外側の回転速度が起きたとき、回転速度振動数において傾けられ、前記加速度振動数と回転速度振動数は異なる。前記ＭＥＭＳセンサーにおいて、前記駆動マス（６；６．１，６．２）およびセンサーマス（５）は、前記基板（２）上に配置され、前記少なくとも１のアンカー（３）により静止状態において、バランスされる。この少なくとも１のアンカー（３）における周期的な振動の時、駆動モードでは、前記駆動マス（６；６．１，６．２）は前記駆動マス（６；６．１，６．２）と前記センサーマス（５）のこの少なくとも１のアンカー（３）に対する不釣合いが生じ、前記センサー要素は、加速度振動数および／または回転速度振動数による、生じたトルクおよびコリオリ力による前記駆動およびセンサーマスの偏向を検出する。
（もっと読む）

【課題】密封状態とすることによって電気部品の信頼性を確保するとともに、密封状態となる完成前に検査を行うことを可能とすること。
【解決手段】肉薄部２１と、肉薄部を画定する肉厚部２２と、を含む固定部１２０と、肉薄部に形成されたスリット１４１により画定される可動部１１０と、肉厚部上に設けられる配線電極１３２ｂと、肉薄部上に設けられる接点電極１３２ａと、可動部の上方に延在する第１駆動電極１３１と、を含む金属電極と、肉厚部上に設けられ、可動部および金属電極を包囲する側壁２３と、側壁上に固定され、可動部および金属電極を封止する平板部１３とを備える。 （もっと読む）