【課題】 非対称薄膜容量性微小機械加工超音波変換器（ｃＭＵＴ）及びｃＭＵＴ撮像アレイの製作に関する技術を提供する。
【解決手段】 非対称薄膜容量性微細機械加工超音波変換器（ｃＭＵＴ）素子及び製作方法。好ましい実施形態では、本発明によるｃＭＵＴ素子は、一般的に非対称特性を有する薄膜を含む。薄膜は、その端部が異なる幅を有するようにその長さにわたって変動する幅を有することができる。非対称薄膜は、その様々な幅寸法のために様々な撓み特性を有することができる。別の好ましい実施形態では、本発明によるｃＭＵＴ素子は、一般的に非対称特性を有する電極要素を含む。電極要素は、その端部が異なる幅を有するようにその長さにわたって変動する幅を有することができる。非対称電極要素は、その様々な幅寸法のために異なる受信及び送信特性を有することができる。別の好ましい実施形態では、薄膜に沿って位置決めされた質量負荷が、薄膜の質量分布を変更することができる。また、他の実施形態も特許請求して説明する。 （もっと読む）

【課題】燃料電池などで使用できるマイクロ熱交換器及び製作方法を提供する。
【解決手段】本発明によるマイクロ熱交換器は第１流体が流れるために金属板上に並列形成された多数の微細チャンネル、前記微細チャンネルのそれぞれに流体を供給及び排出する供給チャンネル及び排出チャンネル、前記金属板に通孔されて形成され前記供給チャンネルと排出チャンネルのそれぞれに連結される第１連結口、第２流体が供給及び排出される第２連結口が備えられる複数の金属板が積層接合された熱交換部；前記積層接合された熱交換部の上部と下部に互いに対称に接合される固定板と、第１流体と第２流体とがそれぞれ供給及び排出され、第１連結口と第２連結口と連通されるように前記固定板に通孔された導管で備えられたマニホールド；とを含み、前記多数の金属板及び前記熱交換部と固定板との間の接合は接合用薄板が介されてろう付け接合になることを特徴とする。
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