【課題】基板と垂直なＺ方向に変位する可動錘部の質量を増大させることができ、ＣＭＯＳプロセスを用いて自在かつ容易に製造可能なＭＥＭＳセンサーを提供すること。
【解決手段】連結部１３０Ａを介して支持部１１０に連結されてＺ方向に移動する可動錘部１２０Ａを有するＭＥＭＳセンサー１００Ａは、可動錘部が、複数の導電層と、複数の導電層間に配置された複数の層間絶縁層と、複数の層間絶縁層の各層に貫通形成された埋め込み溝パターンに充填され、層間絶縁膜よりも比重が大きいプラグと、を含む積層構造体を有し、各層に形成されたプラグは、層間絶縁層と平行な二次元平面の少なくとも一軸方向に沿って壁状に形成された壁部を含む。可動電極部１４０Ａは積層構造体にて形成され、これと対向する固定電極部１５０Ａとの間の対向面積が可動錘部のＺ方向変位に応じて変化する。 （もっと読む）

【課題】可動錘部の質量を効率的に増大させることができ、多層配線を使用するＣＭＯＳプロセスを用いて、自在かつ容易に製造することが可能なＭＥＭＳセンサー（例えば静電容量型加速度センサー）を提供すること。
【解決手段】連結部１３０Ａを介して支持部１１０に連結され、周囲に第１，第２空隙部１１１，１１２が形成されてＺ方向に移動する可動錘部１２０Ａを有するＭＥＭＳセンサー１００Ａは、可動錘部１２０Ａが、複数の導電層と、複数の導電層間に配置された層間絶縁層と、層間絶縁層に貫通形成された埋め込み溝パターンに充填され、層間絶縁膜よりも比重が大きいプラグと、を含む積層構造体を有する。プラグは、層間絶縁層と平行な二次元平面の少なくとも一軸方向に沿って壁状に形成された壁部を含む。複数の導電層の一つが可動電極面を有する可動電極部１４０Ａとなり、これと対向する固定電極部１５０Ａが設けられる。 （もっと読む）

【課題】静電容量を含むＭＥＭＳセンサーにおいて、可動電極部の面積と可動錘部の質量の設計に関して、さらに好ましくはバネ特性の設計に関して、ＭＥＭＳセンサーの設計の自由度を向上させること。
【解決手段】基板上に形成される多層の積層構造体を加工して製造されるＭＥＭＳセンサーは、基板に形成された固定枠部１１０と、弾性変形部１３０を介して固定枠部に連結され、周囲に空洞部が形成された可動錘部１２０と、固定枠部より空洞部に向けて突出形成された固定電極部１５０と、可動錘部と一体的に移動し、固定電極部と対向する可動電極部１４０と、を有し、可動錘部１２０は、多層の積層構造体により形成される第１可動錘部１２０Ａと、第１可動錘部の下方に位置し、前記基板の材料にて形成される第２可動錘部１２０Ｂと、を含む。 （もっと読む）

【課題】基板に設けられた固定電極と可動ミラーに設けられた可動電極とが可動ミラーの揺動軸と電極面が垂直となっている光学装置において、固定電極と可動電極の電極面を大きくすることと、可動ミラーのミラーサイズを大きくすることとを両立させる。
【解決手段】可動ミラーの下方に、可動ミラーが揺動する揺動軸と電極面が垂直となるように固定電極と可動電極を設置する。可動電極は可動ミラーの下面から下方に延びており、固定電極は基板から可動電極に向けて延びている。可動電極と固定電極が可動ミラーの下方に設けられるため、可動電極を設ける領域を可動ミラーの表面に確保する必要がない。材料基板の面積に対してミラー面積を大きく取ることができ、開口率を大きくすることができる。固定電極と可動電極は、可動ミラーの揺動角の検出装置や、静電駆動式アクチュエータとして利用できる。 （もっと読む）

【課題】温度変化に応じた梁部の湾曲の度合いの変動を抑制する。
【解決手段】薄膜構造体は、２層１０，１１の薄膜からなる梁部４であって、力を受けていない状態で自身の保有する応力によって湾曲する梁部４を、備える。２層１０，１１の各層は、互いに同一の線熱膨張係数を有する材料からなる。 （もっと読む）

【課題】熱膨張率の相違を利用した湾曲によって駆動力を生じる応答性が良好なアクチュエータ、ならびに該アクチュエータを用いた駆動装置および撮像装置を提供する。
【解決手段】アクチュエータは、第１層と、該第１層よりも大きな熱膨張率を持つ第２層と、第１および第２層よりも大きな熱伝導率を持つ第３層とを含む複数層が積層されるとともに、加熱に応じて変形する可動部を備える。また、該アクチュエータは、第３層と一体的に構成されるか、または第３層と接触するように構成され、且つ第１および第２層よりも大きな熱伝導率を持つ熱伝導部を含む放熱領域を有するとともに、可動部が固定される固定部を備える。 （もっと読む）

【課題】薄膜圧電アクチュエータを備えるＭＥＭＳ（微小電子機械システム）デバイスを提供する。
【解決手段】第１の面を有する基板１０２が、第１の面上において第１の接着促進導電層１０４と、結晶配向促進層１０６と、第２の導電１０８と、誘電層１１０と、第３の接着促進導電層１１４と、導電性電極１１６を有する。圧電部１１２は、この結晶配向促進層１０６と接触し、結晶配向促進層１０６の配向に対応する配向を有する。誘電材料１１０が圧電部１１２を囲む。この誘電材料１１０は、無機材料から形成される。 （もっと読む）

【課題】可動錘部の質量を効率的に増大させることができ、また、物理量を高精度で検出可能であり、また、多層配線を使用するＣＭＯＳプロセスを用いて、自在かつ容易に製造することが可能なＭＥＭＳセンサー（例えば静電容量型加速度センサー）を提供する。
【解決手段】弾性変形部１３０を介して固定枠部１１０に連結され、周囲に空洞部１１１，１１２が形成された可動錘部１２０を有するＭＥＭＳセンサー１００Ａにおいて、可動錘部１２０は、複数の導電層１２１Ａ〜１２１Ｄと、複数の導電層間に配置された複数の層間絶縁層１２２Ａ〜１２２Ｃと、複数の層間絶縁層の各層に貫通形成された所定の埋め込み溝パターンに充填され、層間絶縁膜よりも比重が大きいプラグ１２３Ａ〜１２３Ｃと、を含む積層構造体を有し、各層に形成されたプラグは、一または複数の長手方向に沿って壁状に形成された壁部を含む。 （もっと読む）

【課題】 特に、センサ部材とキャップ部材間の応力を効果的に緩和できるＭＥＭＳセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】 センサ部材４とキャップ部材５とが接合層６を介して接合されている。前記センサ部材４は、前記接合層６側からセンサ領域を備える第１シリコン部材１、第１酸化絶縁３層及び第２シリコン部材２の順に積層されている。前記キャップ部材５は、前記接合層６側から第３シリコン部材７、第２酸化絶縁層８及び第４シリコン部材９の順に積層されている。 （もっと読む）

【課題】構造が簡易で製造がしやすく、コンパクトな構成にでき、かつ情報信号や電流のオン、オフがノイズに影響されにくく、確実にオン、オフ切り替えを行えるＲＦ−ＭＥＭＳスイッチとする。
【解決手段】カンチレバー部２を取り付ける下部基板３と固定側ＲＦ入、出力信号伝送路４、５があるカバー側の上部基板を組み立ててなるスイッチである。下部基板３が備えるカンチレバー部２は圧電アクチュエータを構成し、一端を下部基板３に固定し、コンタクト部６を上面に備えた他端が上下方向に揺動可能である。カンチレバー部２が上方へ曲がるとコンタクト部６も上方へ移動し、上部基板にあるＲＦ入力信号伝送路４と出力信号伝送路５の双方へ当接し、両伝送路４、５を導通させる。またカンチレバー部２の揺動部分の下側には下部基板３が存在せず、空間となる構造とする。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性に優れた加速度センサーを得ること。
【解決手段】固定電極４１と可動電極２１との間の距離が変化するＸ軸方向の加速度印加時において、固定電極４１と可動電極２１との間隙７０に存在する気体の流れは、対向面に形成された一方向に向かって延びる凸部４３によって一方向への流れが発生する。この気体の流れによるスクイーズフィルムダンピングにより、大きな減衰定数ｃを得ることができる。したがって、可動部２０と支持体１０との間隔を狭くすることなく、固定電極４１と可動電極２１との間隙７０の構造によって減衰定数ｃの調節を可能にでき、可動部２０と支持体１０との衝突破壊が低減した耐衝撃性の優れた加速度センサー１００を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】光学的作用を生じさせるレンズ等の光学部品を不要とすることにより、光学系の構成を簡素化し、コストダウンを図ることができるマイクロミラー素子を提供する。
【解決手段】可動板１０のベースとなる基板層１５の外面側に、中間層１６が蒸着により形成され、中間層１６の外面側に、ミラー層１７が蒸着により形成される。基板層１５及びミラー層１７とは異なる熱膨張係数の材料から成る中間層１６によって、可動板１０を凹状又は凸状に変形させて、可動板１０のミラー面１２を光学的に凸面状又は凹面状に形成する。 （もっと読む）

【課題】破壊や特性の劣化を抑制しつつ、所望の変位を実現することが可能なアクチュエータ、該アクチュエータを用いた駆動装置および撮像装置を提供する。
【解決手段】移動対象物を移動させるアクチュエータであって、所定の部分が変位する可動部と、該可動部が固設される基準部とを備える。また、該アクチュエータでは、可動部が、第１層と、加熱に応じて第１層とは異なる膨張または収縮を行う第２層と、発熱する第３層とを含む複数層が積層されて構成されるとともに、放熱性が高い領域ほど、該可動部のうちの所定領域当たりにおける第３層の発熱量が増加するように構成される。そして、可動部では、第３層の発熱に応じて可動部が曲がることで所定の部分が変位する。 （もっと読む）

【課題】多数の生物個体に取り付けて、健康や環境のモニタリングを行うことに適するセンサを実現するための技術を提供する。
【解決手段】本発明によるバイモルフ素子は、ＭＥＭＳテクノロジによって製造されるＭＥＭＳデバイスであり、互いに向かい合うように、且つ、変位方向が相手に接近する方向となるように配される、２枚のバイモルフ板を有することを特徴とする。実施形態によっては、これら２枚のバイモルフ板は、いずれも、その板面が、前記バイモルフ板を支持する基体の底面及び／又は頂面に対して垂直になるように配されてもよい。実施形態によっては、バイモルフ板の上側部は前記基体の高さを超えず、その下側部は前記基体の底面の高さより低くはならないように配されてもよい。 （もっと読む）

【課題】回動するミラーを有するマイクロミラー装置において、ミラー部の慣性モーメントに大きく影響を与える重量の増加を最低限に抑えつつ、ミラー部の剛性を向上させて往復振動時の反りや変形を極力低減させることができるように、ミラー部の構成について工夫すること。
【解決手段】トーションバーを介してミラー部がフレームに対して回動可能に連結されたマイクロミラー装置を前提として、上記ミラー部は、引張り応力を有する層(12a)と圧縮応力を有する層(12b)とを交互に積層した応力制御層(12)を含んで成ることである。 （もっと読む）

試料から少なくとも所定の一種の細胞（Ｃ１）を分離するためのマイクロ流体システムである。システム（１）は、所定種類の細胞（Ｃ１）の少なくとも一部を試料のさらなる細胞（Ｃ２）に対して実質的に選択的に主チャンバ（４）から回収チャンバ（５）に移動させるための分離ユニット（３）を備えている。２つの弁（９，１０）が、主チャンバ（４）の上流および下流に配置されており、２つの弁（１１，１２）が回収チャンバ（５）の上流および下流に配置されている。制御アセンブリ（２３）は、前述の弁（９，１０，１１、２）を管理するように、設計されている。提案されているこのシステム（１）は、高度の再現性および正確さで細胞を分離することができる。
（もっと読む）

【課題】分離膜の耐久性に優れたマイクロ流路デバイスを提供すること。
【解決手段】対向する上面及び下面、並びに、側面を有する分離膜と、前記分離膜を挟み込む複数の基材と、前記分離膜により互いに隔てられている流路Ｌ₁及び流路Ｌ₂と、前記流路Ｌ₁に接続している供給口Ｘ₁と、前記流路Ｌ₂に接続している排出口Ｙ₁と、を有し、前記流路Ｌ₁が前記分離膜の上面及び／又は下面の少なくとも一部に接しており、前記流路Ｌ₂が前記分離膜の側面の少なくとも一部に接しており、前記分離膜内を膜の面方向に流体が移動可能であることを特徴とするマイクロ流路デバイス、前記マイクロ流路デバイスを備えた分離装置、並びに、前記マイクロ流路デバイスを使用する分離方法。 （もっと読む）

本発明は、サンプルを診断する方法、および様々な微少流体、微量遠心およびマイクロフィルターデバイスに関連する。１つの実施態様において、本発明は、ミトコンドリアサンプルおよび／または血小板サンプルを用いて、神経変性性疾患を診断する方法を提供する。別の実施態様において、本発明は、望ましい量の標的生物学的粒子を選択的に捕捉および分析する微少流体デバイスを提供する。他の実施態様は、微少流体診断デバイス；および使用のための説明書を含む、アルツハイマー病および／または軽度認知機能障害の診断のための微少流体キットを含む。
（もっと読む）

【課題】微少量の液体を正確に搬送することが出来るマイクロポンプを備えたマイクロ化学チップを提供する。
【解決手段】少なくとも１個以上の流路とマイクロポンプ２と試料注入部３と反応部４が形成されたマイクロ化学チップを、前記流路が前記マイクロポンプ２の内部に形成され、前記マイクロポンプ２が、第１、第２の屈曲型導電性高分子アクチュエータの両端部を接合することにより、中央部が開閉する構造とした開閉型アクチュエータを用いており、前記試料注入部３と前記反応部４が導電性高分子膜を用いて形成され、かつ前記試料注入部３と前記反応部４が前記マイクロポンプ２によりつながれた構成とする。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つのボンディング基板と反応性多層システムとを含むマイクロ構造に関し、ここで反応性多層システムは、互いに離間された垂直配向のナノ構造を備えるボンディング基板の少なくとも１つの表面層と、ナノ構造間に位置し、且つナノ構造の材料に関する反応相手をなす少なくとも１つの材料で充填された領域とを有する。本発明は、さらに、少なくとも１つのボンディング基板及び反応性多層システムの作製方法を含み、ここでは、反応性多層システムを形成するため、ボンディング基板の少なくとも１つの表面層がパターニングされ、又はパターン状に堆積されて、それに伴い互いに離間された垂直配向のナノ構造が形成され、及びナノ構造間の領域が、ナノ構造の材料に関する反応相手をなす少なくとも１つの材料で充填される。加えて、本発明は、少なくとも１つのボンディング基板と反応性多層システムとを有するマイクロ構造を、ボンディング基板を有する別の構造とボンディングする装置を含み、ここでこの装置は、開閉及び排気を行うことのできるボンディングチャンバであって、そこにマイクロ構造及び別の構造を導入して互いに位置合わせすることのできるボンディングチャンバを有し、また、ボンディングチャンバに連結される活性化機構であって、それによって、マイクロ構造の反応性多層システムであって、ナノ構造の材料に関する反応相手をなす材料を−ナノ構造間に位置して−備える反応性ナノ構造から形成される反応性多層システムを、ナノ構造とナノ構造の材料に関する反応相手をなす材料との間に自己伝播発熱反応が起こるような方法で機械的に、電気的に、電磁的に、光学的に及び／又は熱的に活性化することのできる活性化機構も有する。さらに、本発明は、２つのボンディング基板とボンディング基板の間に位置する構成体とから形成されたマイクロシステムに関し、前記構成体は既反応の反応性層システムを有し、ここで既反応の反応性層システムは、互いに離間された垂直配向のナノ構造を備える−ボンディング基板上に提供された−少なくとも１つの表面層と、ナノ構造の材料に関する反応相手をなす少なくとも１つの材料でナノ構造間が充填された領域とから構成される既反応の構造配列であり、ここでこのマイクロシステムは、バイオマテリアルで被覆されたセンサであり、及び／又はポリマー材料から構成される素子及び／又は少なくとも１つの磁性及び／又は圧電性及び／又はピエゾ抵抗性部品を有する。
（もっと読む）