【課題】反応装置における反応剤の混合の均一性を高める。
【解決手段】反応装置の第１流路構造体１ａは、基板４と、その基板４の一方の面を覆った状態でその面に接合されている第１封止部材６と、基板４の他方の面を覆った状態でその面に接合されている第２封止部材８とを有し、基板４の一方の面には、第１導入路１０を構成する第１導入溝１８と第２導入路１２を構成する第２導入溝２０とが形成されている一方、基板４の他方の面には、反応路１６を構成する反応溝２４が形成されており、さらに、合流路１４を構成する合流孔２２が基板４の一方の面から他方の面へ貫通しており、合流孔２２は、第１導入溝１８と第２導入溝２０の共通の終点でかつ反応溝２４の始点であり、第１導入溝１８の下流側端部と第２導入溝２０の下流側端部とは、基板４の一方の面において互いに異なる方向から合流孔２２に合流している。 （もっと読む）

【課題】電子装置の製造工程を効率的に実施し、製造コストを低減する。
【解決手段】本発明の電子装置１００は、基板１と、基板１上に形成された機能構造体（ＭＥＭＳ構造体）３Ｘと、機能構造体３Ｘが配置された空洞部Ｓを画成する被覆構造とが備えられる電子装置であって、前記被覆構造が、基板１上に設けられ、且つ空洞部Ｓを囲む層間絶縁層４，６と、下部包囲壁３Ｙ及び配線層５，７とからなる側壁１０Ｙと、空洞部Ｓの上方を覆うと共に、空洞部Ｓに貫通する開口７ａを有し耐食性層を含む積層構造からなる第１被覆層７Ｙと、開口７ａを閉鎖する第２被覆層９と、を備えている。耐食性層は、ＴｉＮ、Ｔｉ、Ｗ、Ａｕ、Ｐｔまたはそれぞれの合金より構成される。 （もっと読む）

【課題】電極パッド部の導電膜下部の絶縁膜表面に凹凸部があると、導電膜表面にも凹凸部が生じる。
【解決手段】シリコン基板表面に接するように形成された電極パッド部において、電極パッド部は、第１の絶縁膜とポリシリコンが、シリコン基板表面側から順に積層している構造である。このような電極パッド部を提供する。 （もっと読む）

本発明は、電極層間に絶縁層を有する少なくとも３つの他の電気的な電極層を備える層状マイクロエレクトロニック及び／又はマイクロメカニック構造に関する。第１の外側層内にビアが提供され、前記ビアは前記層を介してウェハ固有の材料で作られる絶縁された電極、前記層を通して導電性を提供するために他の層を介して前記第１の外側層内の前記ビアに延びる電気的導電性のプラグと、前記選択された層にあって前記材料から前記プラグを絶縁するための前記他の層の少なくとも一つの選択層における前記導電性プラグを囲む絶縁エンクロージャとを備える。さらに、少なくとも一方向にて可動されるような、窪みのうえに提供された可動部材を備えるマイクロエレクトロニック及び／又はマイクロメカニックデバイスに関する。前記デバイスは、本発明に係る層状構造を有する。そのような層状ＭＥＭＳ構造を形成する方法も提供される。
（もっと読む）

【課題】低消費電力のスイッチ及びＥＳＤ保護素子を提供する。
【解決手段】本発明の例に関わるスイッチは、基板１０上に設けられた第１及び第２の電極１１，１２と、第１の電極１１上に設けられたアンカー１４と、アンカー１４に支持され、アンカー１４から第２の電極１２上方まで延在し、導電体が用いられ、第２の電極１２に対して上下方向に動く可動構造１５と、可動構造１５の端部に設けられ、第２の電極上方に配置される接点部１６と、可動構造１５上に設けられ、可動構造１５を構成する材料と応力差を有し、接点部１６を第２の電極１２に向かって反らせる調整膜１８と、可動構造１６の周囲を取り囲むように基板１０上に設けられ、調整膜１８に接触し、駆動電極として機能するキャップ２０と、を具備する。 （もっと読む）

半導体基板（２１０）上に形成されたマイクロまたはナノ電気機械トランスデューサデバイス（２００）は、作動構造の作動に応答して運動可能に構成された可動構造（２０３）を有する。可動構造（２０３）は、第１熱応答特性を有する少なくとも１層の機械層を備えた機械構造（２０４）と、第１熱応答特性とは異なる第２熱応答特性を有する作動構造（２０２）の少なくとも１層と、少なくとも１層の熱補償層を備えた熱補償構造（２０６）とを含んでいる。熱補償構造（２０６）は、少なくとも１層の作動構造（２０２）とは異なり、可動構造（２０３）の運動が実質的に温度変化には依存しないように、機械層（２０４）と作動構造（２０２）とによって生み出される熱効果を補償するように構成されている。
（もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、変位量および駆動力の大きな高分子アクチュエータを提供すること。
【解決手段】 第１の高分子シート２０と第２の高分子シート３０とが拘束部材１５ａ，１５ｂに並設されている。一方の第１の高分子シートを仮想中心線Ｏａ−Ｏａに対して左右対称となる形状で形成し、他方の第２の高分子シート３０を仮想中心線Ｏｂ−Ｏｂに対して左右非対称となる形状で形成する。両高分子シート２０，３０に所定の電界を与えると、一方の左右対称の第１の高分子シート２０の自由端２２はＺ１方向に曲げ変形する。他方の左右非対称の第２の高分子シート３０の自由端３２は、Ｚ１方向への曲げ変形と捩れ変形とが同時に発生し、自由端３２が第１の高分子シート２０の湾曲面の外側に回り込んで第１の高分子シート２０の外面をＺ１方向に支持する。これにより、高分子アクチュエータ１の変位量および駆動力を大きくすることができる。 （もっと読む）

本発明は、様々な態様において、高速および低電圧で駆動できる、画質を改良および電力消費を低減するＭＥＭＳ作動式ディスプレイのシステムおよび方法に関する。
（もっと読む）

ＭＥＭＳまたはＮＥＭＳデバイス（２００）の可動構造（２０３）は、第１熱応答特性と第１機械応力応答特性とを有する機械層（２０４）を備えた機械構造と；第２熱応答特性と第２機械応力応答特性とを有する作動構造（２０２）と；第３熱応答特性と第３機械応力応答特性とを有する第１補償層（２０６）と；第４熱応答特性と第４機械応力応答特性とを有する第２補償層（２０７）とを有する。第１補償層（２０６）と第２補償層（２０７）とは、可動構造（２０３）の運動が温度変動に依存しないように、機械構造（２０４）と作動構造（２０２）とによる熱効果を補償するように構成される。かつ第１補償層（２０６）と第２補償層（２０７）とは、ＭＥＭＳまたはＮＥＭＳデバイスが非アクティブ状態のとき可動構造が所定量だけ歪むように、機械構造（２０４）と作動構造（２０２）とによる応力効果を調整するように構成される。
（もっと読む）

【課題】複数の半導体チップを積層した積層体にＭＥＭＳセンサを内蔵した小型の半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体チップ１３、１４、１５が、絶縁層１６、１７を介して積層された積層体１８と、第１領域１１に形成され、積層体１８の最上層の半導体チップ１５から最下層の半導体チップ１３に至り、最下層の半導体素子に電気的に接続された貫通電極１９と、第２領域１２に形成され、積層体１８の最上層の半導体チップ１５から最下層の半導体チップ１３に至る貫通孔２０の底面から立設し、最上層の半導体チップ１５に至る高さを有するとともに、貫通電極１９と材質が同じ可動電極２１と、貫通孔２０の淵に沿って最上層の半導体チップ１５上に形成され、貫通孔２０の外側に向かって互いに直交する方向に延伸した第１および第２固定電極２２、２３と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】マイクロポンプシステムを有するマイクロ流体デバイスにおいて、製造工程の簡素化を図ると共に、さらなる小型化を図る。
【解決手段】マイクロ流体デバイス１は、ガス発生部３を有する。ガス発生部３は、基板１０と、ガス発生層２０とを有している。基板１０は、第１の主面１０ａと第２の主面１０ｂとを有する。基板１０には、少なくとも第１の主面１０ａに開口するマイクロ流路１４が形成されている。ガス発生層２０は、基板１０の第１の主面１０ａに、開口１４ａを覆うように配置されている。ガス発生層２０は、外部刺激を受けることによりガスを発生させる。ガス発生層２０の基板１０側の表面及び基板１０の第１の主面１０ａのうちの少なくとも一方は、粗面である。 （もっと読む）

【課題】常温常圧から高温高圧下における流通反応を安全かつ高速、高効率で行うため、高温高圧と腐食環境に耐えうるマイクロリアクター用の中空金属反応管を提供する。
【解決手段】鉄合金またはニッケル合金チューブ１の内面に、チタンまたはチタン合金層２を有し、最上層として触媒金属層３を積層してなるマイクロリアクター用反応管。 （もっと読む）

【課題】性能の向上したアクチュエータを提供する。
【解決手段】アスペクト比が10⁴以上のカーボンナノチューブおよびイオン液体から構成
される導電性薄膜；長さが50μm以上のカーボンナノチューブおよびイオン液体から構成
される導電性薄膜。 （もっと読む）

【課題】基板上に積層され自己整合された部品の製造方法を提供する。
【解決手段】基板の一表面に層の積層体を形成する段階であって、積層体が第１犠牲層、第２犠牲層及び表面層を備える段階と、第１犠牲層の一領域をエッチングする段階と、第１犠牲層のエッチングされた領域内及び表面層上に樹脂を堆積する段階と、犠牲層上の樹脂の少なくとも１つの領域に位置合わせされる樹脂の少なくとも１つの領域を第１犠牲層のエッチングされた領域に残すために樹脂をリソグラフィする段階と、第１犠牲層のエッチングされた領域内及び犠牲層上の除去された樹脂を残っている樹脂を制限するための材料で置換する段階と、第１犠牲層のエッチングされた領域内及び表面層上の残っている樹脂の領域を除去して部品の製造に対する専用の領域を提供する段階と、専用の領域内に部品の要素を形成する段階と、第２犠牲層の一領域を選択的にエッチングする段階と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本構成を有しない場合に比べて、接触面にかかる応力の局部集中を低減させることが可能となる物品の形成方法を提供する。
【解決手段】第１の薄膜２０２Ａ及び第２の薄膜２０２Ｂ・第３の薄膜２０２Ｃが形成されたドナー基板２００をステージ１２に保持するとともに、ターゲット基板１００を基板ホルダ５に保持する第１の工程と、ステージ１２と基板ホルダ５を相対的に移動させることにより、ドナー基板２００から第１の薄膜２０２Ａ及び第２の薄膜２０２Ｂ・第３の薄膜２０２Ｃを順次剥離してターゲット基板１００に接合積層する第２の工程とを備えた微小構造体の製造方法であって、第２の工程を実行するにあたり、ターゲット基板１００に反り１１０を弾性復帰可能に形成することにより、ターゲット基板１００をドナー基板２００の側に凸部となるように膨出させる。 （もっと読む）

本発明は、マイクロチャネル反応器の中で水素化分解プロセスまたは水素化処理プロセスを行うためのプロセスに関する。本発明は、マイクロチャネルプロセス処理単位の中の複数のマイクロチャネルの中へ蒸気および液体を流すためのプロセスおよび装置にも関する。 （もっと読む）

【課題】小型の構成で大きな駆動力を発生させることが可能な技術を提供する。
【解決手段】固定部と、一端が固定部に固設され、且つ一方向に延設される板状の可動部と、を備えるアクチュエータとする。そして、該可動部が、一端が固定部に固設され且つ一方向に延設される板状のベース部と、該ベース部の一方主面上において該ベース部と一体的に形成され、且つ第１の光の照射に応じて上記一方向に伸び、第２の光の照射に応じて上記一方向に縮む光変位部と、を有するようにする。 （もっと読む）

【課題】径方向空隙型の微小電気機械に適した４極以上の多極化へ対応可能で、かつ高速回転下での渦電流遮断性を備えたロータ磁石において、残留磁化Ｍｒが０．４２Ｔ〜０．７Ｔであり、さらにＭｒを高めること。
【解決手段】ロータ磁石５をＲ-ＴＭ-Ｂの結晶化により、磁気的に等方性であり、かつ残留磁化Ｍｒが０．９５Ｔ以上の着磁性に優れたナノ複合多結晶集合組織の厚膜積層体とし、必要に応じて、磁界中冷却による面内多極磁化を施す。特に、パルスレーザディポジッション(ＰＬＤ)を用いたナノ構造のマニュピュレーション技術によって、人工的に制御されたαＦｅとＲ-ＴＭ-Ｂとを１０^３層以上、交互に積み上げたナノ複合組織を有する厚膜を作製する。 （もっと読む）

【課題】所望の機械的特性を有する微細構造体を提供する。
【解決手段】微細構造体１は、基板１１の上に配置された固定部材１２と、一端が固定部材１２に接続された下層ばね部材１３と、この下層ばね部材１３の他端に接続され、基板１１の上に離間して配置された可動部材１５と、少なくとも１箇所で下層ばね部材１３と連結した上層ばね部材１４とを少なくとも備え、下層ばね部材１３および上層ばね部材１４は、基板１１に対して垂直な方向から見て下層ばね部材１３または上層ばね部材１４と重ならない少なくとも２つの離間部を有する。これにより、アスペクト比が高いばねを形成できるので、水平方向のばね定数に対して鉛直方向のばね定数を十分大きくすることができ、基板方向への振動を抑えた所望の機械的特性を備えた微細構造体を実現することができる。 （もっと読む）

流体回路中の負荷への加圧された流体の供給を制御し、圧力フィードバックを与える複数の内部流体導管を有する、マイクロバルブ・デバイス。
（もっと読む）