【課題】本発明の目的は反応や分析のステップ数や量を制限しない、且つ、製造が容易であるマイクロ流体システム用支持ユニットの製造方法を提供することである。
【解決手段】少なくとも、（イ）第一の支持体に少なくとも一つの中空フィラメントを任意の形状に固定する工程、（ロ）中空フィラメント内の全部または一部にモノリス前駆体を充填する工程、（ハ）モノリス前駆体の全部または一部を反応させ、モノリス構造体を作製する工程、を備えることを特徴としたマイクロ流体システム用支持ユニットの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】静電気の帯電によって影響を受けるスイッチ素子の第１および第２の素子電極の誤動作を防止する機構デバイスを提供する。
【解決手段】機構デバイスは、上面に形成された第１の素子電極１１と第２の素子電極１２、これら素子電極１１、１２の両端にそれぞれ電気的に接続されたスルーホール１３ａ、１３ｂ、および各スルーホール１３ａ、１３ｂにそれぞれ電気的に接続さて回路基板３０に接合された外部接続用端子１４ａ、１４ｂを有する素子形成基板１０と、この素子形成基板１０に第１の素子電極１１と第２の素子電極１２を覆うように固着され、一方のスルーホール１３ａに接合された金属膜４０を表面に有する素子保護用基板２０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】低コストなバイモルフスイッチを提供する。
【解決手段】可動接点と固定接点とを電気的に接続するバイモルフスイッチであって、表面及び裏面、並びに当該表面から当該裏面へ貫通して設けられた貫通孔を有する基板と、貫通孔の開口部の縁部から当該開口部の内側に延伸する固定接点と、可動接点を開口部と対向して保持し、当該可動接点を駆動するバイモルフ部とを備える。バイモルフ部の一端は、基板の表面に形成された酸化シリコン層の上に形成されてよい。 （もっと読む）

【課題】微細流路の高さ調整を高精度且つ簡便に行うことができ、安価で定量性のあるマイクロ化学チップを提供する。
【解決手段】親水性の流体が流通する少なくとも１以上の微細流路１２を有するマイクロ化学チップ１０において、プレート表面に微細流路１２となる親水性部分を有する基盤プレート１４と、基盤プレート１４の微細流路側に、基盤プレート１４に対して平行に対向配置された蓋プレート１６と、基盤プレート１４と蓋プレート１６との間隔を調整して微細流路１２の流路高さを調整する流路高さ調整手段１８と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】可動構造部のスティッキングを抑制するのに適するとともに、歩留りよく製造するのに適するマイクロ可動素子、そのようなマイクロ可動素子を製造するのに用いることのできるウエハ、及び、そのようなウエハを製造するための方法を提供する。
【解決手段】本発明のウエハ製造方法は、例えば、プレ第２層上にポリシリコンまたはアモルファスシリコンを成膜することによって微細凹凸面を形成する工程と、プレ第２層の微細凹凸面上にプレ中間層を形成する工程と、プレ第１層およびプレ第２層を、微細凹凸面上のプレ中間層を介して接合する工程とを含む。本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、例えば前記のウエハに加工を施すことによって得られたものであって、第１層において成形された構造部６２Ａと、構造部６２Ａに空隙を介して対向する部位を有して構造部６２Ａに対して相対変位可能な、第２層において成形された構造部６１とを備える。 （もっと読む）

【課題】小型でありながら混合効率を有利に高めることができるマイクロミキサーを提供する。
【解決手段】複数の流体の供給口を個別に有するベースプレートと、各供給口からの流体が通る各流体宛１本または複数本の分配流路を有する分配プレートと、前記流体毎の分配流路の全てを横切る向きに延び、かつ各分配路との交点から各流体を導く混合流路を少なくとも１本は有する合流プレートと、前記複数の流体が各混合流路にて合流、混合した混合流体の貯留部を有するトッププレートと、を積み重ねて構成する。 （もっと読む）

【課題】微小流路構造体を用いて微粒子を生成するにあたり、安価に大量に作製した微小流路構造体を、立体的に微小流路の集積度を向上させて、すべての微小流路に均一に流体を送液し、生成物を大量に生産することが可能な液滴生成用製造装置を提供する。
【解決の手段】流体を導入する流体導入口と流体により微粒子を生成する微小流路と生成した微粒子を含有する流体を排出する流体排出口とを有する微小流路構造体であって、前記微小流路構造体は、流体を前記微小流路に供給する流体供給用構造体と微小流路を有する微小流路基板とこれらの間に介される板とから構成されており、前記微小流路基板の基材が、ＪＩＳ Ｋ ６２５３準拠のデュロメータ硬さ試験方法でタイプＤにおける硬度７０以上であり、かつＪＩＳ Ｋ ７１５２−４準拠の成形収縮率は３％以下の樹脂である液滴生成用微小流路集合体装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】対流の発生を抑制し、意図しない流体同士の混合や、流体内の粒子の偏在が生じにくいマイクロ流路デバイスを提供すること。さらに、前記マイクロ流路デバイスの好適な製造方法を提供すること。
【解決手段】複数の流体が層流を形成して送流されるマイクロ流路を有し、該マイクロ流路の内壁に、流体の流れと略平行であり、かつ、前記複数の流体が形成する界面に対して略垂直方向に突出する凸部を有することを特徴とするマイクロ流路デバイス。前記マイクロ流路は湾曲部を有し、前記凸部は、マイクロ流路の湾曲部に設けられていることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】連続的に安定な微細エマルションを調製することのできる装置及び方法を提供する。
【解決手段】転相温度乳化装置１は、連続相となる第１の液体を導入するための第１入口ポート２、分散相となる第２の液体を導入するための第２入口ポート３、これら第１及び第２入口ポートに連通し、導入された二液を合流させて第１の液体中に第２の液体が分散したエマルションを調製するマイクロ流路６、及びマイクロ流路６に連通しエマルションを回収するための出口ポート４とを具える合流マイクロリアクタユニット５と、エマルションを転相温度以上に加熱する少なくとも１つの加熱マイクロリアクタユニット９と、加熱されたエマルションを転相温度以下に冷却する少なくとも１つの冷却マイクロリアクタユニット１０とを積層してなる。 （もっと読む）

【課題】絶縁層のエッチング加工をより短時間で行い、かつ絶縁層の断面方向のエッチング量の制御をより容易に行うことにより半導体基板上に形成された可動部を開放することができる半導体装置の製造方法、および当該製造方法で製造された半導体装置を提供すること。
【解決手段】半導体装置１０の製造方法は、半導体基板１２上に設けられた絶縁層１４上に、圧電体層２２と第１の電極２０と第２の電極２４とを含む構造体３０を形成する工程と、半導体装置１０をダイシングして絶縁層１４の断面を露出する工程と、構造体３０の固定部３０ａが絶縁層１４上に固定されたまま構造体３０の可動部３０ｂが開放されるように、前記露出された断面から絶縁層１４を選択的エッチングにより除去する工程と、を含んでいることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板上の空洞内に配置される機能素子と電子回路からなる電子装置の製造工程を効率的に実施し、製造歩留まりを確保するとともに製造コストを低減することの可能な電子装置の構造及び製法を実現する。
【解決手段】本発明の電子装置は、基板１と、基板上に形成された機能素子３Ｘと、機能素子が配置された空洞部Ｓを画成する被覆構造とを具備し、被覆構造は、空洞部の周囲を取り巻くように基板上に形成された層間絶縁膜４．６と配線層５．７の積層構造を含み、被覆構造のうち前記空洞部を上方から覆う上方被覆部の少なくとも厚み方向の一部は、ＴｉＮ、Ｔｉ、Ｗ、Ａｕ、Ｐｔの少なくともいずれか一つ若しくはこれらの合金よりなる耐食性層を含み、上方被覆部は、空洞部に臨む貫通孔７ａを備えた第１被覆層７Ｙと、貫通孔を閉鎖する第２被覆層９とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微細化を図りやすくすることができる圧電装置の製造方法及び圧電装置を提供する。
【解決手段】基板３の一の面に形成された第１電極５と、圧電体材料で構成され、第１電極５に重ねられたＰＺＴ等の圧電体膜７と、圧電体膜７を挟んで第１電極５に対向する第２電極１１と、を有する圧電装置１の製造方法であって、第１電極５が形成された基板３の一の面に第１絶縁膜を形成し、第１電極５の少なくとも一部を露呈させるように第１絶縁膜を除去する工程と、第１絶縁膜が除去された領域内に圧電体材料を充填し、領域内に圧電体膜７を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【解決課題】より低い製造コストを有し、圧力損失が低減した微小チャネル物質交換器を提供する。
【解決手段】畝５０６及びスロット５０８を具備する第１の外側シート５０４と、畝及びスロットを具備する第２の外側シートとを具備し、当該第２の外側シートの畝は当該第１の外側シート５０４の畝５０６に対してずれた位置にある、積層型微小チャネル装置 （もっと読む）

【課題】動作に対する信頼性の高い静電駆動素子を提供する。
【解決手段】基板２の表面には固定導体パターン３ａ，３ｂを形成し、固定導体パターン３ａ，３ｂの上方側には可動部４を配置する。可動部４には可動導体パターン７を形成する。可動部４は、梁６ａ，６ｂによって、基板２に固設されている固定部５に支持固定された状態と成す。梁６ａ，６ｂには当該梁６ａ，６ｂとは異なる膨張係数を持つ材質部１８を形成して基板２に対して上に凸の形状の湾曲部分１７を形成する。湾曲部分１７の頂部は駆動用固定電極８に押圧状態で当接し湾曲部分１７は基板２側に弾性変形した状態となって可動部４を基板２側に押し付ける。可動部４と駆動用固定電極８との間に静電引力が発生すると、湾曲部分１７の頂部を支点として可動部４が駆動用固定電極８側に変位して、固定導体パターン３ａ，３ｂと可動導体パターン７間の間隔が広がる。 （もっと読む）

【課題】反応に悪影響を及ぼす温度変化や添加物等が無くとも簡単な仕組みで流路に気体や液体を脈動無く流すことができる反応装置を提供すること。
【解決手段】少なくとも供給路３または排出路４となる溝２と前記溝２に形成された反応部分５を有する基体１と、前記供給路３または排出路４となる溝２の内壁に形成されており、導体または磁性体と、前記導体または前記磁性体を覆う保護膜とからなる複数の微小突起７と、前記複数の微小突起７を駆動する電磁誘導発生手段とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

本明細書で開示されるのは、微細構造層を基層の上に有する微細構造工具である。微細構造層は、オリゴマーと放射線硬化可能な希釈剤の反応生成物である芳香族アクリレートポリマーで作成され、芳香族アクリレートポリマーが、約１：１未満の芳香族炭素対脂肪族炭素の比を有し、オリゴマーが、多官能性アクリレートモノマー又はアクリレートの官能化オリゴマーを含む。微細構造層は、１つ以上の構造を有する微細構造表面を有する。基層は、金属、ポリマー、セラミック、又はガラスであってもよい。また本明細書で開示されるのは、レーザーアブレーションを用いて微細構造工具を作成する方法である。微細構造工具を用いて、光学用途での使用に好適な物品が作成されてもよい。
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この方法は、構造内に形成された抵抗層を隣接層からの汚染種から保護する構造を形成するための半導体構造および方法を実現する。汚染種の拡散に抵抗する材料中に抵抗層を封入することにより、該構造を製造するのに必要な処理中に抵抗材料を保護することが可能である。
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装置はメカニカルスイッチを含む。メカニカルスイッチは第１及び第２の安定湾曲状態を持つバイレイヤーを含む。第１の状態から第２の状態へのバイレイヤーの変形によってスイッチが閉じる。
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【課題】珪素または金属のパーツの必要性を減少させるかまたはそれらを全く要しない、複合エラストマーのユニークな特徴を利用して適合性を有ししかも堅牢な材料を要する応用を可能にするデバイスの提供。
【解決手段】第１のポリマー材料から形成された基体；該基体と集積化し第２のポリマー材料からパターン化された少なくとも１つの活性域からなり、第２のポリマー材料が改変されて該少なくとも１つの活性域内で少なくとも１つの機能を行うマイクロスケールのポリマーに基づく部材。 （もっと読む）

本発明は、医療、衛生及び健康製品、特にバイオチップ又はバイオシステムにおいて使用する、アクティブマトリクス原理を使用する電気ベースのマイクロ流体装置に関する。医療、衛生及び健康製品、特にバイオチップ又はバイオシステムにおいて使用する、アクティブマトリクス原理を使用する電気ベースのマイクロ流体装置において、ポリＭＥＭＳアクチュエータ（ＰＭＡ）１の２次元マトリクスアレイが２次元システムにおいて構成され、各単一のアクチュエータが、前記マトリクス内の作動のパターンを生成することができるために、互いに独立に電気的に／電子的に操作される。
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