ＭＥＭＳジャイロスコープのレートバイアス誤差及びスケールファクタ誤差を減らすデバイス及び方法を開示する。本発明の例示的実施形態によるＭＥＭＳアクチュエータデバイスには、１つ又は複数の水平駆動電極（９２、９４、９６、９８、１４０）を含む少なくとも１つの基板（６８、７０）と、１つ又は複数の水平駆動電極（９２、９４、９６、９８、１４０）から垂直に間隔をあけられ、これに隣接する可動電極（６４、６６）とを含めることができる。水平駆動電極（９２、９４、９６、９８、１４０）及び／又は可動電極（６４、６６）は、デバイスの感知軸（７２）の方向での可動電極（６４、６６）の変位から生じるレートバイアス誤差及びスケールファクタ誤差をなくすか減らすように構成することができる。
（もっと読む）

弁アセンブリが、主要ハウジングと、第１および第２の静電駆動式弁を備えてもよい。主要ハウジングは、少なくとも３つのチャンバ、すなわち、高圧供給ポートに結合されるように構成された第１のチャンバと、出力ポートに結合されるように構成された第２のチャンバと、低圧排気ポートに結合されるように構成された第３のチャンバとを画定してもよい。第１の静電駆動式弁は、第１および第２のチャンバ間に設けられてもよく、第１の静電駆動式弁は、第１の電気信号に応答して、第１のチャンバと第２のチャンバとの間の流通を許容または実質的に阻止してもよい。第２の静電駆動式弁は、第２および第３のチャンバ間に設けられてもよく、第２の静電駆動式弁は、第２の電気信号に応答して、第２のチャンバおよび第３のチャンバ間の流通を許容または実質的に阻止してもよい。関連する方法についても記述する。
（もっと読む）

本発明は、静電気を用いた従来のマイクロミラーの欠点を克服した、２種類のディスクリート制御マイクロミラー（ＤＣＭ）を提供する。第１の類型のマイクロミラーは、静電気による従来のマイクロミラーよりも変位範囲の大きい可変支持ディスクリート制御マイクロミラー（ＶＳＤＣＭ）である。ＶＳＤＣＭの変位の正確性は、静電気による従来のマイクロミラーよりも好適であり、かつ動作電圧はＩＣ構成部品に適応している。ＤＣＭの第２の類型は、セグメント電極ディスクリート制御マイクロミラー（ＳＥＤＣＭ）であり、静電気による従来のマイクロミラーと同様の欠点を有している。しかし、ＳＥＤＣＭは、公知のマイクロ電子工学技術に適応される。
（もっと読む）

ＭＥＭＳは、基質材を使用しないでファイバーから作られる。装置は、ファイバーが基板のエッジに取り付けられる場所にのみ作ることが出来る（例えば、カンチレバー、ブリッジ）。動きは、弱い結合を有する複数のファイバー間の結合を調整することによって制御可能である（例えば、基礎部、先端、その中間）。駆動機構は、基礎部の加重（磁気、圧電、静電気）または先端の加重（磁気）を含む。光スキャナーを形成するために、ミラーがカンチレバーの自由端に形成される。 （もっと読む）

本発明は、回路のための不揮発性メモリ装置を制御するための装置に関するものである。この装置は、基板に結合された微小機械素子を備えている。この微小機械素子は、基板の上に配置された偏向手段に対応して、１つの安定した状態又は複数の安定した状態の間で微小機械素子の移動を制御する。さらに、本発明は、不揮発性メモリ装置を制御するための方法に関するものでもある。この方法は、１つの安定した状態又は複数の安定した状態の間で微小機械素子を移動させるための偏向手段に対して、１つ又は複数の信号を印加する過程を含んでいる。本発明の有効性を高めるために、さらに不揮発性メモリ装置で用いるための短絡回路が設けられている。
（もっと読む）

電解質の中に少なくとも１つの活性電極及び少なくとも１つの対向電極を有するアクチュエータであって、活性電極は少なくとも２つのウェブ（３）に直交して取り付けられたかつ優先方向に単一方向に配向された多数の幾何学的な異方性ナノ粒子（２）を有する導電性材料から成る少なくとも２つのウェブ（３）を含み、ナノ粒子とウェブとの間には導電性接続が存在し、電極及び対向電極には電圧又は電流源（１２）を介して電位差が印加可能である。本発明の課題は、アクチュエータをより高いアクチュエータ力及び振幅周波数に関して改善することである。上記課題はナノチューブが両側でそれぞれウェブに接続され、この接続が素材結合であることによって解決される。
（もっと読む）

流体輸送／封じ込め装置は、流体保持モジュールおよび操作モジュールを有する。この流体保持モジュールは、サブストレートと、このサブストレートに分散させた流体輸送／封じ込め素子とを有し、この流体輸送／封じ込め素子のうちの１個またはそれ以上の流体輸送／封じ込め素子は、マイクロ流体寸法を有する。操作モジュールは、操作素子が流体輸送／封じ込め素子と接触して作用インタフェース（境界面）を生ずるように、流体保持モジュールに着脱可能に固定する。 （もっと読む）

本発明は、長手方向及び横方向の延長部を有するナノチューブと、ナノチューブの少なくとも第１部分を支持する構造と、その横方向の延長部によって定義されている第１方向においてナノチューブに対して力を作用させる第１手段と、を有するナノチューブ装置（１００）に関するものである。ナノチューブの少なくとも第２部分は、力が一定のレベルを超過した際に、ナノチューブの第２部分がその横方向の延長部の方向において曲がり、これによって第１電気回路を閉じるように、構造の支持部を超えて突出している。好適には、力をナノチューブに対して作用させる第１手段は、電気的な手段であり、この力は、電圧をこの手段に印加することによって生成される。本装置は、ソース及びドレイン電極の両方において量子力学トンネル現象を実現する。
（もっと読む）

【課題】 ＭＥＭＳパッケージ用に低温で形成される、耐熱性を有する気密封止部を提供する。
【解決手段】 マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）のように気密封止されるデバイスの中には、処理温度が高いとそれに影響されてしまうものもある。しかし封止部は、例えばデバイス動作中などに接する可能性がある高温に対して耐性を有していなければならない。気密封止部の形成は、低融点（ＬＭＰ）成分（例えばインジウム（Ｉｎ）やスズ（Ｓｎ）など）と高融点（ＨＭＰ）成分（例えば金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）または銅（Ｃｕ）など）を含有するハンダ混合物に基づいて行う、フラックスを用いないハンダ付けによって行うとしてもよい。ＬＭＰ／ＨＭＰ比は、ＨＭＰ成分が多くなるように設定される。接合処理および熱アニ−ル処理を完了すると、ＬＭＰ成分は基本的になくなって、成分元素であるＨＭＰ／ＬＭＰ成分の処理温度よりも高い融点を持つ金属間化合物（ＩＭＣ）になる。 （もっと読む）

【解決手段】 ここには多くの発明が説明され、図示されている。これらの発明は、パッケージングの前及び／又は後の何れかに関わらず、出力周波数が調整され、整調され、設定され、画定され、及び／又は選択されるマイクロ電気機械共振器を製作する方法に着目している。或る態様では、本発明の方法は、機械的構造の１つ又は複数の要素及び／又は梁（例えば、移動可能又は拡張可能な電極及び／又は周波数調整構造）を（選択又は非選択的方法で）抵抗加熱することによって、共振器の機械的構造の材料を変化させ、及び／又は共振器の機械的構造から材料を除去することにより、マイクロ電気機械共振器の周波数を調整し、整調し、設定し、画定し、及び／又は選択する。 （もっと読む）

静電アクチュエータは第１電極を備えたベースと、お互いに接触する異なる材料から成る少なくとも二つの材料層を備えたフレキシブル膜とを備える。材料層の少なくとも一つは前記第１電極から電気的に絶縁された第２電極を備える。フレキシブル膜は、ベースに接続された固定端部分と、固定端部分の反対にある自由端部分とを有する。フレキシブル膜において、第２電極は、第３部分から区分されており固定端部分周辺に備えられる段差を組み合わさって画定する少なくとも第１及び第２部分を有する。第１部分は、固定端部分に最も近く、第１電極からの距離が第２部分よりも短く区分されている。フレキシブル膜の一部には、自由端部分の向かうフレキシブル膜上に硬化部材を配置可能である。静電アクチュエータは、ベースを貫通して延伸し固定端部分から離れる方向に沿って延伸する細長い開口部を備えることができる。
（もっと読む）

簡単には、本発明の複数の実施形態は、電気機械デバイス、例えば、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイス、例えば、低損失の圧電薄膜共振器（ＦＢＡＲ）フィルタ、およびこれを生産するプロセスを提供する。
（もっと読む）

１つ以上の異なる色のサブピクセルについて異なる材料を利用することにより最適化されたｉＭｏＤディスプレイがここに示される。そのような最適化されたディスプレイは、サブピクセルがすべて同じ材料で構成されるディスプレイに対して全色域を改善した。さらに、そのようなディスプレイを製造する方法、およびｉＭｏＤディスプレイを最適化する方法が示される。 （もっと読む）

【解決手段】 一対のカバープレートの間に感知機構を可撓的に懸架するための装置及び方法であり、本装置は、結晶シリコン基板に形成された感知機構と、結晶シリコン基板に形成された一対のカバープレートと、感知機構とカバープレートの内の第１のカバープレートとの間に固定された関係にある第１の複数の相補形の境界面と、感知機構とカバープレートの内の第２のカバープレートとの間に可撓的に懸架される第２の複数の相補形の境界面であって、可撓的に懸架される境界面の内の１つ又はそれ以上は、相補形の雄型と雌型の境界面である、第２の複数の相補形の境界面と、を含んでいる。 （もっと読む）

２次元運動可能でありアクチュエータ支持体（１２）に接続された駆動エレメント（１４ａｄ）を有する電気機械式アクチュエータ（１０）が開示される。アクチュエータ支持体（１２）はフェロメカニカル的に非能動的である材料で作られる。さらに、駆動エレメント（１４ａ−ｄ）とアクチュエータ支持体（１２）との間のジョイントは堅固であり非常に安定している。これは、たとえば、熱硬化プラスチック接着、拡散ボンディング、又は、共焼結によって作られた不可逆的なジョイントの使用によって実現される。共焼結が好ましい。アクチュエータ支持体（１２）材料は、堅固であるように選択され、好ましくは７０ＧＰａ、より好ましくは１００ＧＰａを超える剛性を有し、好ましくは５Ｗ／ｍＫ、より好ましくは１０Ｗ／ｍＫを超える高い熱伝導率を有する。電極（２２）は、剛性を増大させると同時に熱伝導率を改善するため、好ましくはアクチュエータ支持体に一体化される。駆動エレメント（１４ａ−ｄ）は、好ましくは、少なくとも駆動面において、熱伝導材料によって覆われる（２８、２６）。 （もっと読む）