【課題】液体の前進および停止を任意のタイミングで制御することが可能な、コンパクトな流路チップ１００を提供する。
【解決手段】流路チップ１００は、第１開放路１１２、第２開放路１１３、第１導入路１０２、第１合流路１０３、及び、第１交差位置と第２交差位置との間、あるいは、第２交差位置に配設され、第１導入路１０２および第１合流路１０３から流路１１４へ導入される液体の流れを制御するバルブ１４１を備える。 （もっと読む）

【課題】低減した周波数ドリフトを達成することができる、実質的に安定した周波数で出力信号を発生するためのＭＥＭＳにシステムを提供する。
【解決手段】所定周波数は、温度依存性及び少なくとも一つの所定の特性に基づく。さらに、所定周波数で発振するためにＭＥＭＳ発振器を励振するよう構成された励振機構、及び、抵抗感知を用いてＭＥＭＳ発振器の温度を検出し、周波数ドリフトを最小限にするために温度依存性及び少なくとも一つの特性に基づいて、ＭＥＭＳ発振器の温度が所定温度の所定範囲内にあるか否かを決定し、ＭＥＭＳ発振器の温度を所定範囲内に留めるように適合させるように構成された温度制御ループを含む。さらに、ＭＥＭＳ発振器の所定周波数を出力するように構成された周波数出力を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】基台が有する凹部の表面を被覆することのできるセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るセンサの例によるフローセンサは、一方の面にキャビティ２５を有する基台２０と、基台２０の一方の面の上に設けられるセンサ薄膜３０と、を備える。センサ薄膜３０は、キャビティ２５に通ずるスリット３６を有している。キャビティ２５の断面形状は、例えば舟形凹状であり、キャビティ２５の表面Ａは、原子層堆積法により形成された膜Ｘで被覆されている。 （もっと読む）

【課題】薄膜構造部の膜強度の低下を防止することができると共に、薄膜構造部に覆われた空洞部への汚染物質等の侵入を防止する。
【解決手段】シリコン基板１０は、一面１１側に形成されると共に空洞部１４とシリコン基板１０の外部とを繋ぐための孔部１５を有している。この孔部１５は、一面１１において、薄膜構造部３１の上部を流れるであろう流体の向きに対して直交するように延設されている。これによると、空洞部１４を覆う薄膜構造部３１に開口部を設けていないので、薄膜構造部３１の膜強度の低下を防止することができる。また、孔部１５の開口部がシリコン基板１０の一側面１２に露出し、流体は孔部１５の開口部に直接当たらないので、当該一側面１２の面方向に流れる流体が孔部１５に入りにくくなる。したがって、孔部１５を通じて空洞部１４への汚染物質や水滴の侵入を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】基板のダイシングされる部分にアンダーカットを発生させることなくセンサチップを製造するセンサチップの製造方法を提供する。
【解決手段】センサチップ１００の製造方法は、以下の工程を備えている。第１主表面１ａを有する基板１が準備される。第１主表面１ａ上に第１の膜２ａが形成される。第１の膜２ａ上に第１の膜２ａとは異なる材質からなる絶縁膜３（第１絶縁膜）が形成される。絶縁膜３（第１絶縁膜）上に導電性の抵抗部４が形成される。抵抗部４が形成されていない絶縁膜３（第１絶縁膜）の部分がエッチングされて開口部６が形成され第１の膜２ａが露出される。開口部６から露出された第１の膜２ａがエッチングされて基板１の第１主表面１ａが露出される。開口部６から露出された基板１の部分が切断される。 （もっと読む）

【課題】正確に液体を計量することができるとともに、計量された液体の意図しない流動を防止することができる計量部を有するマイクロチップを提供する。
【解決手段】基板表面に設けられた溝を備える第１の基板と、第２の基板とを貼り合わせてなる、内部に流体回路を有するマイクロチップであって、該流体回路は、液体を計量するための計量部と、該計量部の一端に接続される流路とを少なくとも有し、該流路と該計量部との接続位置における該計量部断面のマイクロチップ厚み方向の長さは、該流路と該計量部との接続位置における該流路断面のマイクロチップ厚み方向の長さより短いマイクロチップである。 （もっと読む）

【課題】２つ以上のマイクロ反応部に均等に流体を送液することにより、各反応で生成される物質の均質化が可能なマイクロ化学装置を提供することを目的とする。
【解決手段】少なくとも一つの流体供給手段から、複数の反応領域に液体を送液する複数の送液流路２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄを備えたマイクロ化学装置１０において、前記複数の送液流路のそれぞれに、前記反応領域の断面積より狭い微小送液流路部３４を複数備えることを特徴とするマイクロ化学装置１０である。微小送液流路３４は１つの送液流路中に１０以上備えることが好ましい。 （もっと読む）

本発明は、医療、衛生及び健康製品、特にバイオチップ又はバイオシステムにおいて使用する、アクティブマトリクス原理を使用する電気ベースのマイクロ流体装置に関する。医療、衛生及び健康製品、特にバイオチップ又はバイオシステムにおいて使用する、アクティブマトリクス原理を使用する電気ベースのマイクロ流体装置において、ポリＭＥＭＳアクチュエータ（ＰＭＡ）１の２次元マトリクスアレイが２次元システムにおいて構成され、各単一のアクチュエータが、前記マトリクス内の作動のパターンを生成することができるために、互いに独立に電気的に／電子的に操作される。
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本発明は、マイクロシステムの製造方法に関し、さらには当該マイクロシステムにも関する。この方法によって、マイクロシステムは、少なくとも1面上に導電性層(11a,11b)を有する前処理がされた処理ホイル(10)を積層することによって製造されて良い。積層後、ホイル(10)は、圧力及び熱を用いることによって密閉される。最終的には、マイクロシステムは積層体(S)から分離される。ホイルの前処理（レーザービームの手段によって行われることが好ましい）は、次の、(A)ホイルをそのままにしておく工程、(B)導電性層を除去する工程、(C) 導電性層を除去し、かつホイル(10)を部分的に蒸発させる工程、及び(D)ホイル(10)だけではなく導電性層をも除去することでホイル(10)内に穴を作る工程、を選択する。前記の積層と併用することによって、空洞、自由に浮くカンチレバー、及び膜を作製することが可能となる。これによって、MEMS素子及びマイクロ流体システムのような様々なマイクロシステムを製造する可能性が開かれる。

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マイクロ流体制御バルブ（１００）は少なくとも１つのキャビティ（２６０）を規定する誘電体構造（１０５）を有する。電気活性ポリマーのような電気活性材料（３０５）がキャビティの一部に備えられている。電気活性材料は、電気活性材料の寸法が第１値を有する第１状態と、その寸法が第２状態を有する第２状態との間で動作可能である。２つの導体（２４０、２５０）は、第１状態と第２状態との間で電気活性材料を変化させるように、電気活性材料に電位を印加するために備えられている。第１流体ポート（３１０）は、電気活性材料が第１状態にあるときに、流体が第１流体ポートを通って流れ、電気活性材料が第２状態にあるときに、電気活性材料は第１流体ポートを少なくとも一部で遮るように、電気活性材料に近接して位置している。

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