本発明は、傾斜構造体を備えたマイクロメカニカル型の構成エレメントおよび相応する製作法を提供する。本発明によるマイクロメカニカル型の構成エレメントは、表面（Ｏ）を備えた基板（１）と、該基板（１）の表面（Ｏ）に設けられかつ該基板（１）から離れる方向に延びる第１のアンカ（３ｅ；３ｅ´）と、該第１のアンカ（３ｅ；３ｅ´）の側面（Ｓ１，Ｓ２；Ｓ１´；Ｓ２´）に設けられた少なくとも１つのアーム（３ｃ，３ｄ；３ｃ´）とを有しており、該アーム（３ｃ，３ｄ；３ｃ´）が、第１のアンカ（３ｅ；３ｅ´）から斜めに離れる方向に向けられている。
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本発明に係るカバーは、マイクロシステムをカプセル化するために役立つ。カバーは、単数若しくは複数のカバーユニットを有するか、又は単数若しくは複数のカバーユニットからなり、少なくとも１つのカバーユニットは、変形によって形成される少なくとも１つの第１の凹部を有しており、第１の凹部は少なくとも部分的に、２５ｎｍ以下の二乗平均平方根粗さを有する少なくとも１つの光学窓により画成されている。さらに本発明の対象は、光学部品を製造する方法である。本発明に係る方法は、特に、ウエハレベルでのカプセル化を可能にする本発明に係るカバーを製造するためにも適している。
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（１）基材上に第一微細構造パターンを形成する工程と、（２）前記第一微細構造パターンを複製して、第二微細構造パターンを可撓性材料内に作製する工程と、（３）前記第二微細構造パターンを複数回複製して、第三微細構造パターンを架橋性材料内に形成して、第一キャリア上に工具を作製する工程と、（４）前記第三微細構造パターンをポリマーに複製して、少なくとも１つの微細構造物品を作製する工程と、を含む、微細構造物品を作製する方法。
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内部を通過するチャネルを有する物品の製造方法は：少なくとも１つのマクロチャネルを画定する延性構造物を提供するステップであって、マクロチャネルが塩を含有するステップと；少なくとも１つのマクロチャネルの軸線方向に延性構造物を延伸してマクロチャネルの直径を減少させるステップと；塩を溶媒と接触させて塩を溶解させ、少なくとも１つのマイクロチャネルを有する物品を作製するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、μTAS（MicroTotal Analysis System）に代表されるマイクロ流体素子における流体混合操作に関して、特別な攪拌子を配置せずとも流路形状のみで効果的な混合が進むスタティックマイクロミキサーの流路構造およびその製造方法を提供する。
【解決手段】合流後の流路（主流流路 1）の左右一方の側を主流流路の底部よりさらに深く掘りこみ、下流にむけて、主流流路の左右別の側まで斜めに掘り込む流路（支流流路 ２）を適切な形状寸法で形成することによって、流路形成領域を流れる流体の流動断面が縦横に伸縮回転し重ね合わさる効果を起こさしめ、混合流路の下流に向けて、この効果を繰り返し起こさせることによって、流体要素の層間距離を縮小し混合を促進する手段をとる。図２ （もっと読む）

本発明は、マイクロ流体デバイスであって、第１の膜および第２の膜の積層物を含み、１つのまたは各々の膜は、膜が合わせてその間の流体封じ込めのための密閉体積（１９）を画定するように一体的に熱成形された構造を含み、各々の膜自体は、比較的高い軟化温度の熱可塑性ポリマー材料（１４，１７）、およびそれに対して、比較的低い溶融温度の熱可塑性ポリマー材料（１５，１６）の積層物を含み、各膜のそれぞれの比較的低い溶融温度の熱可塑性ポリマー材料は、第１の膜と第２の膜とを一緒に貼り付けるために一緒に溶ける、マイクロ流体デバイスに関する。本発明は、マイクロ流体デバイスを製造する方法にさらに関する。 （もっと読む）

本発明は、第１電極、及び懸架構造を利用して第１電極から少し離れて懸架された第２電極を具えたＭＥＭＳデバイスに関するものである。このＭＥＭＳデバイスはさらに、少なくとも１つの変形電極を具えている。第２電極または懸架構造、あるいはその両方は、変形電極を介して静電変形力を加えると塑性変形可能である。このようにして、異なるデバイスの製造中あるいは単一デバイスの動作中の、第２電極のオフ状態位置の変動を解消することができる。
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【課題】先端部の角度を自由に選択可能であり、例えば先端部の角度を小さくし、穿刺抵抗を少なくすることのできる微細な針状体の製造方法を提供すること。
【解決手段】アレイ状に一体成型することの出来る微細な針状体１の製造方法であって、（１）結晶面方位が(１００)、(１１０)および(１１１)のいずれでもないシリコンウエハの表面に対し、複数の針状体を形成すべき箇所を開口部とするようにマスクを施し、エッチングステップとパッシベーションステップを繰り返して、針状体の胴部を形成するドライエッチングを施す工程と、（２）前記のマスクを剥離し、結晶異方性エッチングを施すことによって、針状体の先端部となるシリコン（１１１）面である上部斜面を形成する工程と、を有してなることを特徴とする針状体１の製造方法。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】デバイスを製造する方法は、少なくとも一のウェブベース製造段階中と少なくとも一のシートベース製造段階中に複数の非接合プロセスを実行する段階と含む。これらのプロセスは、複数のモジュールによって実行されてもよい。モジュールは、独立に制御され且つ／又は監視されてもよい。モジュールは、交換可能でもよい。一個以上のモジュールが、材料を受け取り且つ／又はその材料を別のモジュールに渡してもよい。製造されたデバイスは、層状デバイス、スマートカード、センサ、アクチュエータ、生体外診断デバイス、マイクロ流体デバイス、又は層状製品である。デバイスを製造する装置は、少なくとも一のウェブベース製造構成要素と少なくとも一のシートベース製造構成要素を含む。少なくとも一のウェブベース製造構成要素と少なくとも一のシートベース製造構成要素は、複数の非接合プロセスを実行するように構成されている。 （もっと読む）

本発明は、高熱伝導率または高電気伝導率を有する熱制御スイッチである。マイクロシステム技術製造方法は、接合されたウェハ２０１、２０２のスタック内に形成された密封空洞２１３を含むスイッチには欠かせないものであり、上部ウェハ２０２は、受構造２１０に対してギャップ２１１をもって配置されるようになされた膜アセンブリ２０５を含む。熱アクチュエータ材料２１５は、相変化材料、例えば、パラフィンであることが好ましく、温度とともに体積を変化するようになされており、空洞２１３の一部を満たす。導体材料は、下部ウェハ２０１と膜アセンブリ２０５の固定部２０８との間に高伝導性トランスファ構造２１６を付与し、空洞２１３の他の部分を満たす。温度変化に際して、膜アセンブリ２０５は移動され、ギャップ２１１を埋め、低いウェハ２０１から受構造２１０に高伝導性の接触をもたらす。
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特定の塑性度を有する材料でできたシートの表面に密封チャネル（１２５）を形成する本発明による方法において、回転加工面を有するツールの加工面を、リアクタブロックを構成するシートの表面に形成されるチャネル（１２５）の第１のポイントに接触させる。次に、前記加工面は、形成されるチャネル（１２５）の深さを達成するのに必要な圧縮力（Ｆ）でシートの表面に押し付けられ、それによりプラスチック材料が、形成されるくぼみの周辺でシート表面から押し出され隆起する。この後で、圧縮力（Ｆ）を維持しながら、前記加工面をシート表面上のチャネル（１２５）の中心線に沿って移動させることによって、前記加工面が、形成されるチャネル（１２５）の第１のポイントから第２のポイントまで回転され、それによりチャネル（１２５）が、シートの材料内に加工され、チャネル（１２５）の周辺上に、押し出され隆起した材料から密封エッジ（１２７）が作製される。前記密封エッジ（１２７）を作製した後で、密封エッジ（１２７）に載っている閉鎖部材が、チャネル（１２５）と密封エッジ（１２７）を有するシートの表面に配置され、前記閉鎖部材が、前記密封エッジ（１２７）を変形するのに必要な圧縮力でシートに押し付けられ、得られた位置に固定され、それにより第１と第２のポイントの間に延在する密封チャネル（１２５）がリアクタブロック内に形成される。
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本発明は、ＭＥＭＳキャパシタマイクロフォンを製造する方法に関し、さらに、このようなＭＥＭＳキャパシタマイクロフォンに関する。この方法により、ＭＥＭＳキャパシタマイクロフォンを、少なくとも一方の側に導電層（１１ａ，１１ｂ）を有する前処理されたフォイル（１０）を積層することによって、製造することができる。積層の後に、フォイル（１０）は、圧力と熱を用いて密閉される。最後に、ＭＥＭＳキャパシタマイクロフォンは、積層体（Ｓ）から分離される。フォイルの前処理（好ましくはレーザー光線によって行われる）は、（Ａ）フォイルをそのまま残すステップ、（Ｂ）導電層を局部的に除去するステップ、（Ｃ）導電層を除去し、フォイル（１０）を部分的に蒸発させるステップ、および（Ｄ）導電層とフォイル（１０）の両方を除去し、これにより、フォイル（１０）に孔を形成するステップ、から選択したステップを備える。前記積層と組み合わせて、空洞および膜を形成することが可能である。このことは、ＭＥＭＳキャパシタマイクロフォンを製造する可能性をもたらす。
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ナノリットルおよびマイクロリットル範囲で、流体媒体のサンプリング、移送および／または分配用装置は、開放あるいは閉じられた溝あるいは毛細管をそれぞれ持った基板からなり、開放あるいは閉じられた溝あるいは毛細管をそれぞれ持った該基板は、少なくとも１つの位置で曲げられあるいは弓状になっている。該基板は、開放あるいは閉じられた毛細管状溝あるいは経路それぞれ伸びている少なくとも１つの端からなり、該端は、その応用あるいは用途にしたがって、たとえば、針状、直線状カット、チップ状、少なくとも半円形状、円形などとして、形成されている。
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