【課題】簡素な構成のレーザ光線を有する測定装置で、ＮＣ工作機械の３軸方向の位置座標値を同時に検出し、変位値を演算処理して、熱変位等の補正値とする。
【解決手段】回転主軸４とテーブル６との間でＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸方向の相対移動を行いワークを加工する工作機械に適用する。テーブル６上にレーザ光線１１を照射する発光器１２と受光器１３を配置する。回転主軸４に端部を円錐形状部とした測定工具８を装着する。ワークの加工前と加工後に、テーブル６と測定工具８との相対移動でレーザ光線１１を測定工具８の円錐形状部１５に遮断させる。この遮断時にスキップ信号を送出し、位置を検出し演算処理し、Ｘ、Ｙ，Ｚの各軸の加工前と加工後の差を算出し補正値を求める。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い損傷状況の診断を可能とする。
【解決手段】機械診断装置２０は、位置指令値から得られるサーボモータ３へのトルク指令値に基づいて駆動対象駆動力を推定する駆動対象駆動力推定部２１と、駆動対象駆動力からボールネジ４の弾性変形誤差を推定する弾性変形誤差推定部２３と、サーボモータ３の回転位置とテーブル２の位置とから位置偏差を演算する位置偏差演算部２２と、弾性変形誤差と位置偏差とを用いて機械損傷係数を演算し、得られた機械損傷係数を予め設定されている閾値と比較して駆動対象の損傷状況を診断する機械損傷診断部２４とを備えている。 （もっと読む）