【課題】簡単な構成で固定部分の強度低下を抑制できる保持ユニットを提供する。
【解決手段】保持ユニット１００の搬送トレイ２００に、側面部２１３Ｂが上面部２１３Ａに対して鈍角をなす状態に円錐台状に突出する状態で屈曲形成され、上面部２１３Ａにトレイ挿通孔２１３Ａ１を有する補強載置部２１３を設けている。ワッシャ部材３００に、上面部２１３Ａに面接触可能な円板状に形成されワッシャ挿通孔３１１を有するワッシャ基部３１０と、このワッシャ基部３１０の周縁から一面側に向けて突出する状態で設けられ側面部２１３Ｂに面接触される外周面３２１を有するワッシャ側縁部３２０と、を設けている。ねじ部材４００をワッシャ挿通孔３１１およびトレイ挿通孔２１３Ａ１に挿通させてＰＤＰ１０を螺合させることにより、搬送トレイ２００にＰＤＰ１０を位置決め固定している。 （もっと読む）

【課題】弾性保持片の汚染や変形を抑制し、基板を安定した状態で抑えることのできるリテーナ及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】リテーナ１を、長方形を呈した略枠形のベース体２と、このベース体２に設けられて半導体ウェーハの上部周縁を保持する複数の弾性保持片１０と、ベース体２に設けられる一対の脱着用の操作体２０と、他のリテーナ１との接触を制限する複数の接触制限体３０とから形成する。そして、このリテーナ１を複数枚の半導体ウェーハを整列収納する基板収納容器の蓋体内面に着脱自在に装着する。 （もっと読む）

【課題】 板状被収納物が損傷することを防ぐことができる収納箱を提供することである。
【解決手段】 収納箱１は、板状被収納物が挿入方向へ挿入され、収納領域に配置されて収納される箱体２と、可撓性および弾発性を有し、板状被収納物を所定の収納領域に案内するとともに、収納領域で板状被収納物を弾発的に保持する案内保持手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】収容した基板への外部雰囲気からの汚染を効率よく防止するのみでなく、基板自身及び内部構成部材から発生する汚染をも効果的に防止することができるようにしたクリーンボックスを提供する。
【解決手段】基板を収容するための容器本体１２とこれの開口部を密閉可能に覆う蓋体１４とにより構成される保持容器１８と、容器本体１２内において基板に接触する気流の循環流を形成するモータファン３０と、基板に向かって流れる気流の流路に配置された粒子除去フィルタ２６およびガス状不純物捕捉フィルタ２８と、容器本体１２内に配置された除湿剤５４とを備え、保持容器１８は、帯電防止剤を混入した樹脂から構成した。 （もっと読む）

【課題】大型の薄板体を大量に収納する場合であっても軽量化を図ることができる薄板体収納容器を提供する。
【解決手段】内部に半導体ウエハを複数枚収納するとともに、半導体ウエハを出し入れするための開口部２６を有する容器本体２０と、開口部２６を開閉自在に蓋する蓋体と、蓋体で開口部２６を蓋したときに容器本体２０を気密に密閉するシール材と、側面部２３、２４の内面に形成され、半導体ウエハを軸方向に離間し、かつ、平行に配列支持する薄板体支持部３０とを具備し、容器本体２０を構成する部材には、中空部２０ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を並列配置する際の間隔を必要以上に広くする必要がなく、且つ軽量部材を選択して搬送箱を形成したとしても強度が維持された構造を有する搬送箱を提供することを課題とする。
【解決手段】複数枚のフラットパネルディスプレイ用ガラス基板を略直立に並列配置させて収納するガラス基板用搬送箱であり、該搬送箱は、底面を形成する基体、及び側面を形成する外壁板、並びに天面部を形成する蓋体、さらにはガラス基板を保持するための溝が形成された保持パッドを複数個有し、前記保持パッドが底面及びガラス端面部が面する側面に配置され、さらには天面部側には前記外壁板の対向する両側と結合可能な保持パッドがガラス基板端面の中央部に配置されること。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェハを収容する際の工数を少なくすることができるウェハ収容容器を提供する。
【解決手段】本発明に係るウェハ収容容器は、上面が開口しており、底面に対して略垂直な状態で半導体ウェハ１を収容する容器本体１０と、容器本体１０の上面を覆う蓋２０と、蓋２０に設けられた開口部２２と、開口部２２に嵌め込まれ、位置決めされながら上下に移動可能なベース部材３２と、ベース部材３２の下面に設けられ、半導体ウェハ１の上端部が差し込まれる溝を有するガイド溝部材３４とを具備する。オリフラが上を向いていてガイド溝部材３４に差し込まれる場合には、ベース部材３２を下に位置させればよい。また、半導体ウェハ１のオリフラ以外の部分がガイド溝部材３４に差し込まれる場合には、ベース部材３２を上に位置させればよい。従って、蓋２０を乗せかえる必要がなくなり、半導体ウェハ１をウェハ収容容器に収容する際の工数が少なくなる。 （もっと読む）

【課題】外気の進入に伴う化学物質などの異物による汚染を防止でき、清浄な雰囲気を保ったままマスクブランク等を保管でき、しかも外光の進入を防止できるマスクブランク収納容器を提供する。
【解決手段】上方が開口した容器本体と、該容器本体に被せる蓋とを備えて、内部に、レジスト膜を有するマスクブランクを収納する。蓋のコーナーに外気との通気孔を形成し、この通気孔の容器内側にフィルター部材６を設ける。通気孔から外気が進入しても、外気に含まれる化学物質等の異物はフィルター部材６によって除去され、また通気孔から外光が進入しても、フィルター部材６内での光路を直線状とならないようにずらせたことにより収納容器の内部に入ることを防止する。 （もっと読む）

【課題】ケース内部が確認できる視認性と、特にレジスト膜を形成したマスクブランクに好適な遮光性とを兼ね備え、所望のマスクパターンを形成するための安定したレジスト性能を維持できるマスクブランク収納ケースを提供する。
【解決手段】基板上に転写パターンを形成する薄膜を少なくとも有するマスクブランクを収納するためのマスクブランク収納ケースであって、その少なくとも一部が、収納物をケース外部から視認可能である程度の光透過性を有し、尚且つ波長が５５０ｎｍ以下の光を実質的に遮蔽する。また、上記収納ケースは、波長が６００ｎｍ以上の光を実質的に透過する。 （もっと読む）

【課題】作業員の作業負担を軽減する外装箱を提供することを目的とする。
【解決手段】トレイ２６の中に受け台１４を入れる。内装箱１２の長辺１２ａの中央部と受け台１４の中央部とがほぼ一致するように、内装箱１２の長辺１２ａを受け台１４の溝１４ａに差し込む。溝１４ａの口部となる角部３４ａ〜３６ａがテーパー状にされているから、内装箱１２は引っかかることなく、スムーズに溝１４ａに差し込むことができる。サイドパッド１６を内装箱１２の短辺１２ｃ，１２ｄに装着した後、スリーブ１８を内装箱１２の上方から被せる。スリーブ１８の開口部１８ｂは、ガイド板２２ａにより受け台１４に引っかかることなく、受け台１４とトレイ２６の周壁部との隙間に挿入される。スリーブ１８の内壁面がサイドパッド１６の側部に密接される。天面シート２０を内装箱１２の上部に載置し、キャップ２４を被せて外装箱１０が完成する。 （もっと読む）

【課題】環境に配慮してガラス基板間での紙の使用を廃止しかつ効率良くガラス基板を搬送できるガラス基板搬送用梱包構造を提供する。
【解決手段】ガラス基板搬送用梱包構造１は、ベース部材１０と、ベース部材１０上に立設された支持部材２０と、支持部材２０に支持されるガラス基板積層体３０と、ガラス基板積層体３０を支持部材２０に対して固定する固定部材５０とを備えている。ガラス基板積層体３０では、隣接するガラス基板３１同士間に水溶性のパウダー３２を介在させている。これにより、従来のような合紙や保護紙の使用を廃止することができ、環境悪化を防ぐと共にガラス基板３１の搬送コストを低減できる。また、各ガラス基板３１同士間の間隔を小さくできるので、ベース部材１０にガラス基板３１を載置できる枚数が増えて搬送効率を向上できる。 （もっと読む）

【課題】 自動化対応することができるより工業生産性の高い光学デバイス用梱包ケースを提供する。
【解決手段】 上面が開口した収容部が形成されてなる下ケースと、当該下ケースの開口部と下ケースに収納された光学デバイスを被覆する上ケースとからなる光学デバイス用梱包ケースであって、上記下ケースの側端部分には、当該下ケースよりも曲げ強度が高く、当該下ケースの対向する側端部の変形を抑制するチャッキングホルダが設けられてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 経年劣化を防止して、シール性を維持、向上及び安定させる。
【解決手段】
容器本体２３と蓋体２４の間に介在してこれらの間をシールするシール部材である。蓋体２４に設けられた嵌合溝２９に嵌合するエンドレス部３１と、このエンドレス部３１から延ばして形成されてその先端部が当接することでその当接部分をシールする突片３２とを備えた。上記突片３２は、上記容器本体２３と蓋体２４の当接面２３Ａ，２４Ａにそれぞれ当接してそれらの間をシールする当接片３３を備えた。この当接片３３は、断面二股形状の２枚のリップ部３３Ａ，３３Ｂによって構成した。 （もっと読む）

【課題】
容器本体内などに乾燥剤を収納した場合でも、乾燥剤の落下に起因した基板の損傷が生じない基板搬送用容器を提供する。
【解決手段】
略矩形平板状のガラス基板が、少なくとも前記容器本体内の底壁および一対の側壁からなる３辺に所定間隔離間して形成された基板係止溝に係止された状態で搬送される基板搬送用容器であって、
容器本体４の底面に配置される内側断熱板２０には、厚さ方向に凹所２０ｄが形成され、かつ前記内側断熱板２０の上部に着脱自在に配置されるシート部材１８に、前記凹所２０ｄに連通するスリット２３が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
主要部分が発泡合成樹脂から形成された基板搬送用容器の内壁構造であって、容器本体に対するガラス基板の装着および取出しが容易であるとともに、搬送中の基板の不用意な上下方向への移動を防止し、かつ、基板の欠けや割れなどを生じさせる虞の少ない基板搬送用容器を提供する。
【解決手段】
基板搬送用容器の前記容器本体が、断熱材による二重壁を構成するように、予め別体で形成された発泡合成樹脂製の内側断熱板１２，１２が発泡合成樹脂からなる外容器本体５０の内側に着脱自在に配置されているとともに、これら内側断熱板１２，１２のさらに内方に、予め別体で形成された樹脂製のシート部材１６，１６が着脱自在に装着され、内側断熱材１６は、容器本体４の開口部に臨む位置から内方に向かう程、肉の厚さが漸次薄くなるように勾配が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板において保証面となり得る側の面が変更された場合であっても、かかるガラス基板の梱包作業及び開梱作業を容易且つ適正に行うことができるガラス基板梱包装置を提供する。
【解決手段】 ガラス基板梱包装置１の基台部２上に、相対向する一対の支持部３を着脱自在に立設すると共に、基台部２上に縦姿勢で積層される複数枚のガラス基板Ｇを、一対の支持部３でガラス基板積層方向の両側から挟持して基台部２上に保持する。 （もっと読む）

【課題】 スペーサが不要で且つ大きさが異なる収容物にも対応できる収容箱を提供する。
【解決手段】 収容箱１０は、上面側が開口する略箱型をなすとともにその開口部１２から液晶パネルＰを収容可能な収容箱本体１１を備える。収容箱本体１１は、互いの壁面同士が重なった状態でスライド可能に組み付けられる一対の分割体１４，１５により構成される。両分割体１４，１５は、保持手段によって互いに壁面の重なる量が異なる複数の位置にてスライド不能に保持されるようになっている。 （もっと読む）

例示の実施の形態によれば、物品を輸送するための方法および装置は、少なくとも１つの支持部材および少なくとも１つの安定化部材を有する容器を含む。安定化部材は、物品に係合し、物品を支持部材に固定し、取外し中に物品から外れるように適応される。
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【課題】 複数のガラス板が搬送パレットに縦置きで積層された場合でも、これらガラス板の中央近傍に撓みを生じさせることなく、移動においてもガラス板同士の滑動を生じさせることのない操作性に優れたガラス板搬送パレットを提供すること。
【解決手段】 センターバー１０を縦置きに積層したガラス板１７を覆ったカバー体７の中央部１７ａの近傍に当接させたことにより、積層支持された各ガラス板１７の中央部１７ａ近傍における撓みをセンターバー１０で抑えることができるので、搬送パレット１の移送中であっても積層支持したガラス板１７の移動を確実に阻止して、ガラス板１７の破損を未然に防止することができる。また、積層支持したガラス板１７のセンターバー１０による固定と解放は支持アーム９の揺動運動で行えるので操作が楽であり、更にガラス板１７の積層枚数が増減しても、センターバー１０の揺動半径を変えることで容易に対応できる。 （もっと読む）

【課題】 基板のエッチング工程、特に住宅用量産型太陽電池セルのシリコン基板のエッチングに関し、一面にテクスチャ形状、他面に平坦形状を形成するエッチング工程の簡略化を図る。
【解決手段】 一般に基板の表面処理は、基板の表・裏均等に行われるが、太陽電池セルの特性面からは、表面がテクスチャ形状、裏面が平坦な形状が望ましい。半導体基板を表面処理する際には発熱反応が起き、また表面処理時の反応速度が温度上昇により速くなり、反応の進捗により表面形状が変化する。本発明のキャリアホルダーによれば、表面処理時に半導体基板の片面に近接物を設けることにより、近接物がある面では反応熱が滞留し、他面では反応熱がエッチング液の対流により奪われるため、半導体基板の一面と他面の間に温度差が発生し、一面がテクスチャ形状で、他面が比較的平坦な形状の半導体基板を１回の処理で容易に形成でき、エッチングプロセスの簡略化が可能となる。
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