【課題】 ケース内に収容させた全ての光学素子を極めて安定した状態で固定的に保持でき、ケースが他の物体と衝突しても、光学素子に欠け等の損傷を来たさない。
【解決手段】 各素子収容部１１にワーク１を収容させたトレー１０を真空パック１４の内部に挿入して内部を真空状態にするが、素子収容部１１におけるワーク保持部１１ａの溝幅ｘは、ワーク１の厚み寸法Ｘより僅かに大きくなし、ワーク保持部１１ａの長さ寸法を構成する溝の長さｙをワーク１の長さ寸法Ｙより僅かに長くして、ワーク１を素子収容部１１内でほぼ鉛直状態に立てて収容し、素子収容部１１の深さｚはワーク１の高さ寸法Ｚとほぼ同じとする。素子収容部１１の上部側は開口部１１ｂとなって、ピンセット２０が作動可能な空間を持たせて、ワーク１の左右の両端部をピンセット２０の挟持部２０ａ，２０ａで挟持できるようにする。 （もっと読む）

【課題】蓋体を被着状態に保持するためのベルト掛け作業を容易にして簡単に行え、蓋体を容器本体に確実に締結固定できる板状体の搬送容器を提供する。
【解決手段】一方の相対向する側壁１１ｂ，１１ｄの内面に板状体Ｂを挿入し支持するための複数の縦溝を有する支持部が設けられてなる容器本体１と、これに被着される蓋体２と、伸縮性を有しかつ両端にフック４を有する締め付けベルト３ａ，３ｂとよりなり、蓋体２の上面に、前後及び左右方向にそれぞれベルト掛け用溝２４，２５が前後及び左右側面にまで連続して形成し、容器本体１の前後及び左右の各側壁１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄの外面の上部における蓋体２のベルト掛け用溝２４，２５との対応位置に、締め付けベルト３ａ，３ｂのフック４を係止できる係止部１６を設ける。 （もっと読む）

【課題】ガラス薄板やフィルム基板の製造工程において、基板の洗浄・乾燥などの処理や収納・搬送などの際に、カセット内の基板同士が接触することがなく、基板へのダメージ等が生ずるおそれがなく、基板の姿勢を安定化させ、処理性能の効率アップに有効な基板保持構造を提供する。
【解決手段】カセット内に基板２０，２１を収納するための基板保持構造において、前記基板２０，２１は矩形板状体の形状を成し、前記基板２０，２１は撓ませられた曲面状態にして、前記カセット内に保持される基板保持構造とし、また、この基板保持構造において、前記カセットは、外枠構造部材と、その内部に前記基板２０，２１を収納するための略直方体形状の収納部と、を備え、前記基板２０，２１は、前記収納部内に複数枚数が所定間隔で並列的に配置される。 （もっと読む）

【課題】 光学情報のノイズとなり、画像悪化の原因となる異物が光学デバイスの主面や側端部に付着するのを抑制できるより信頼性の高い梱包ケースを提供する。
【解決手段】 上面が開口した収容部が形成されてなる下ケースと、当該下ケースの開口部と下ケースに収納された光学デバイス４を被覆する上ケース３とからなる光学デバイス用梱包ケースであって、上記下ケースの収容部の底面に上記光学デバイスの一側面を固着する接着部材Ｔが設けられ、当該接着部材の端部Ｔ１が上記光学デバイスの一側面に接触しない位置に配置している。 （もっと読む）

【課題】 割れやすく反りやすい精密基板を適切に輸送することのできる精密基板用の固定治具及びその使用方法を提供する。
【解決手段】 フロントオープンボックスタイプの基板収納容器に収納される基板２０と、基板２０に積層され、バックグラインドされた３００ｍｍタイプの半導体ウェーハ３０を着脱自在に密着保持する密着層２５とを備える。そして、基板２０の表面から密着層２５に被覆される複数の突起２１を突出させてこれら密着層２５と複数の突起２１との間には区画空間２２を形成し、基板２０には、区画空間２２に連通する半導体ウェーハ３０用の取り外し孔２３を穿孔する。割れやすく、反りやすい半導体ウェーハ３０を容器本体に直接収納するのではなく、固定治具に密着保持させて収納するので、他の工場に安全、かつ適切に輸送できる。 （もっと読む）

【課題】
４辺を構成する互いに独立な４枚の側板と底板部とを組合わせて成るパネル搬送ボックスにおいて、とくに蓋体の閉じた状態での保持の構造を改善し、梱包作業の簡便化を図る。
【解決手段】
２枚の長辺側側板２０と２枚の短辺側側板３０と底板部４０とを組合わせて上部が開口された直方体状をなす箱体を形成し、短辺側側板３０の案内溝３６によって両側端を案内された状態でガラス基板１０を内部に収納し、蓋体５０を上部から装着する。そして上からバンド１００を取付け、このバンド１００の両端のハンドル１０２の爪１０７を長辺側側板２０の段部から成る係止部２７に係止 し、ゴムベルト１０１の弾性復元力によって爪１０７を係止部２７に弾性的に係止する。
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【課題】
不使用時に偏平に折畳んで搬送することが可能であって、しかも組立てた場合には、複数枚のガラス基板を互いに所定の間隔を隔てて配列して収納するようにした省スペース型のパネル搬送ボックスにおいて、ガラス基板の上縁を安定的に正しく位置決めして保持する。
【解決手段】
下面に案内溝６２が形成された受けパッド１６の上面に案内溝６２と平行な方向に延びる断面が２等辺３角形状の突条６３を形成し、この突条６３を利用して蓋体５０の内側に組込むようにし、上記突条６３を蓋体５０の下面の凹部５１の断面が２等辺３角形の条溝５９に係合させて位置決めする。
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【課題】 保管、搬送等に好適であり、大容量化にも対応することができるような収容物
保管搬送装置を実現する。
【解決手段】 例えば電動ファン２２のような送風手段と、送風手段から送られる気体の
パーティクルを除去する高密度フィルタ２３Ａ等の脱塵手段とを有する送風ユニット２と
、例えば基板１００のような収容物を収容するための空間を形成する筐体１１及び上蓋１
２の箱体に、送風ユニット２との接合する部分となり、送風ユニット２から送られる気体
が流入する給気口部１３を少なくとも設けた清浄空間ユニット１とを備え、送風ユニット
２に対して清浄空間ユニット１を脱着可能にするものである。 （もっと読む）

【課題】 搬送中に衝撃が加わっても、収納したガラス基板に損傷を与えることのないガラス基板収納装置を提供する。
【解決手段】 ガラス基板収納装置１０は、底部１３と側部１２とを有し内部にガラス基板３０を垂直方向に配置して収納する収納ボックス１１と、収納ボックス１１の開口１１ａを覆う蓋体２０と、蓋体２０の裏面に設けられ収納ボックス１１内のガラス基板３０を上方から押える押え板２５とを備えている。押え板２５は蓋体２０の凹部２２内に嵌合して固定され、凹部２２内で動くことはない。押え板２５にはガラス基板３０の上縁３０ａ全長に延びる保持溝２７が形成されている。 （もっと読む）

【課題】組立式コンテナの組立及び分解を容易にし、且つ回収時の容積を低減する。
【解決手段】パレット（１０）に設けた保持部材（４０）により、取り付け作業は、斜めの角度から、４面の側壁パネル（１４）をパレット（１０）に挿入し、直立させる。又、隣り合う側壁パネル（１４）の嵌め合い形状（１４−１，１４−２）により、強固な箱体を、パレット上に直接形成する。このため、取り付け作業、取り外し作業を、容易とし、作業スペースも減少できる。 （もっと読む）

【課題】 板状物を確実に保持することができ、尚且つ互いが接触することなく、汚染防止を図りつつ効率的に収容することのできる板状物収納容器を提供する。
【解決手段】 互いに突き合わせ係合される上ケースと下ケース３とを有し、下ケース３の底部５に、内側に突出する支持凸部１７を複数並設することで支持凸部１７同士の間に基板２を保持する板状物収納容器において、下ケース３の開口側を覆うようにしてフィルム５１を設け、フィルム５１に基板２を挿入可能なスリット５２を複数並設する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄、乾燥時の作業性を向上させる。
【解決手段】 容器本体内に半導体ウエハを収納する収納容器である。容器本体に、ハンドル２１及びトップフランジが設けられると共に、これらが上記容器本体に対して着脱可能に装着される着脱機構部２３を備え、当該着脱機構部２３を、上記容器本体側の被嵌合部に直接嵌合される嵌合板と、当該嵌合板が上記被嵌合部に嵌合された状態でこれらを固定するロック部２８とから構成した。当該ロック部２８は、上記容器本体側に設けられた嵌合穴３４と、上記嵌合板側に揺動可能に設けられると共に一端部に上記嵌合穴３４に嵌合する嵌合爪３５を有する揺動片３６と、当該揺動片３６が一方へ揺動して上記嵌合爪３５が嵌合穴３４に嵌合した状態と他方へ揺動して上記嵌合爪が嵌合穴から外れた状態とでそれぞれ固定するストッパとから構成した。 （もっと読む）

本発明のねらいは、支持流体の圧力に依存する支持力が、維持し及び／又は輸送すべき物品（９）、特に（平らな）板ガラスの縁の区域においても、物品（９）の中央区域における支持力と本質的に同等であることを確保することである。本発明により、本発明の装置（１）は、少なくも１個の支持壁（３及び／又は５）上に、それぞれが排出流開口（２３）と直接組み合わせられ流れを案内する複数の開口（２１）を備える。
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【課題】 各ガラス板と各梱包スペーサとの配列作業を容易にして作業能率の改善ひいては生産性の向上を図ると共に、これらのガラス板と梱包スペーサとの間に設けられる隙間を全体に亘って適切且つ均一にして各ガラス板の保護の確実化を図る。
【解決手段】 額縁状の基枠部２と、この基枠部２の表面側の外周側領域に突設された突枠部３とを有し、基枠部２の内周側領域の表面２ａにガラス板６の外周縁部の面が沿い且つ突枠部３の内面３ｃがガラス板６の外周端を取り囲むように構成すると共に、基枠部２の内周側領域の表面２ａから突枠部３の表面３ａまでの突出寸法ｆをガラス板６の肉厚よりも大きく設定し、且つ基枠部２の裏面２ｂを平坦面としてなる梱包スペーサ１を、複数枚のガラス板を縦置きで配列する際に使用する。 （もっと読む）

【課題】薄板の端部を薄板に撓みを生じさせることがない態様で収納枠に支持させることができるようにする。
【解決手段】ラッチ手段は、ボタン体を停止位置に位置づけると共に、この停止位置からのボタン体の第一押し込み操作によってこの停止を解いて付勢手段４の付勢によるボタン体の後退移動を生じさせ、かつ、後退移動され切ったボタン体の第二押し込み操作によって再びこのボタン体を停止位置に位置づけるよう構成されている。ボタン体が後退移動され切った位置において、一対の挟持片３、３が挟持位置に位置づけられ、かつ、このボタン体の停止位置において、ボタン体の前端部に形成された接触部２６が挟持片３に突き当てられて一対の挟持片３、３が離隔位置に位置づけられるようにしてある。 （もっと読む）

【課題】パーティクルなどによる発塵を十分抑制することが出来る薄膜付基板の支持部材を提供する。また、このような支持部材を備え、薄膜付基板を高い清浄度に保ちながら保管できる薄膜付基板の収納に好適な収納容器を提供する。
【解決手段】マスクブランク等の薄膜付基板１を支持するための支持手段を備える支持部材２，５であって、支持手段の少なくとも薄膜付基板１と接触する部位の表面を、算術平均表面粗さ（Ｒａ）で０．１μｍ以下である平滑面とした。支持手段の少なくとも薄膜付基板１と接触する部位の表面は例えば樹脂材料で構成する。薄膜付基板１を固定状態に支持する支持部材を備える収納容器において、上記支持部材２、５を用いて薄膜付基板１を支持する。 （もっと読む）

【課題】 複数のガラス板が搬送パレットに縦置きで積層された場合でも、これらガラス板の中央近傍に撓みを生じさせることなく、移動においてもガラス板同士の滑動を生じさせることのないガラス板搬送パレットを提供すること。
【解決手段】 パレット本体２は、ガラス板１７の底部を支持する載置部２ａと、ガラス板１７の背面を支持する傾斜部５と、この傾斜部５の両側方に設けたの一対の摺動溝３ａを有する支柱３，３とから成り、摺動溝３ａはセンターバー１０を備えた摺動側枠部材１１をそれぞれ上下方向に摺動自在に支持し、センターバー１０はガラス板１７の左右の長さ方向に延びてガラス板１７の前面中央部近傍で密接している。 （もっと読む）

【課題】 立った状態に並べて載置された各ガラス基板の引き剥がしを容易にしようとするガラス基板搬送部材及びガラス基板の搬送方法を提供する。
【解決手段】 ガラス基板２を立った状態に並べて載置する載置面３を上面に有するベース部材８と、該ベース部材８上に立設され前記載置面３に並べて載置されたガラス基板２を立てかける傾斜面５を有する支持部材９とを備えたガラス基板搬送部材であって、前記傾斜面５に立てかけて前記載置面３に並べて載置された各ガラス基板２の上端部２ｄが前記傾斜面５から遠ざかるにつれ上方に突出して階段状となるように、前記載置面３を形成したものである。 （もっと読む）

【課題】 柔軟な回路基板を安定した状態で収納できるとともに、擦り傷の発生を防止できる基板収納マガジンを提供する。
【解決手段】 枠体１０の内側に、回路基板１１の左右の側縁部を支持するガイドレール部を設け、このガイドレール部に隣接して挟持機構１５〜１８を設け、この挟持機構１５〜１８に棒状部材２１により回路基板１１の面と交差する方向に移動可能な板ばね部材１９と固定支持板２０とを備え、板ばね部材１９と固定支持板２０との間に回路基板１１の左右の側縁部を挟持する。 （もっと読む）

【課題】光学デバイスの厚さに関係なく収容でき、再利用が容易な光学デバイス用ケースを得る。
【解決手段】光学デバイス１を間隔を隔して並列に収容し、且つ光学デバイス１の幅方向の両端部のみが接する枠部材２と、上面に貼り付けた粘着シート５に光学デバイス１の長手方向の一端を接着する底部材４と、内側の上面に貼り付けた粘着シート５に光学デバイス１の長手方向の他端を接着し、枠部材２及び前記底部材４と一体的に組み合わされる凹型ケース６とで光学デバイス用ケースを構成する。 （もっと読む）