【課題】 ウェハ収納部におけるウェハの有無を容易且つ確実に確認できるウェハ収納容器を提供する。
【解決手段】 本体部１０の側板１０ｂ、１０ｃ内に、各ウェハ収納部１毎に対応した一対の標識部材３を収納する標識部材収納部２をそれぞれ設ける。そして、ウェハＷをウェハ収納部１に収納した後に、標識部材３をなす棒材３１を標識部材収納部２の収納口から離れる方向である上方に突出させる。 （もっと読む）

【課題】液晶基盤のような基盤材料を安全に搬送する容器の提供および容器内部に用いる底上げ装置の提供。
【解決手段】本発明の基板搬送用容器は、発泡樹脂製の有底角筒状体であり、該有底角筒状体の対峙する内周壁に基板支持溝１６が形成された容器本体部１２と、容器本体部の開口を覆うように着脱自在に装着される発泡樹脂製の蓋体部４５と、容器本体部１２の少なくとも該基板支持溝１６が形成された対峙する内周壁面に、該内周壁面に僅かな空隙を形成して配置された、該内周壁面と略同一の表面形状に賦形された壁面基板支持用樹脂シート２２ａ、２２ｂと、好適には、表面に基板支持溝３６が形成された発泡樹脂製の板状体であり前記容器本体部１２に収容本体部の底部に収納されて、容器本体の配収壁に形成された基板支持溝と共同して基板を保持すると共に、上記壁面基板支持用樹脂シート２２ａ、２２ｂの倒れ込みを防止する底上げ部材３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】ウェハを差し込もうとする一対の相対向する溝を容易に識別でき、ウェハの差込みミスを防止できるようにする。
【解決手段】相対向する一対の側壁部材（１、２）の対向面に、ウェハ（Ｗ）の縁辺を案内する対向溝（３）が所定ピッチで互いに平行に複数設けられてなるウェハ用キャリアにおいて、上記各対向溝（３）を、上記一対の側壁部材（１、２）の内面に交互に配置されたウェハ差込側端部のテーパー角度（α、β）が異なる第一の凸部（５）と第二の凸部（６）とにより形成するようにする。その場合、上記一対の側壁部材（１、２）のうちの一方の側壁部材（１）の第一の凸部（５）と他方の側壁部材（２）の第一の凸部（５）とを互いに対向する同一位置に設け、同様に、一方の側壁部材（１）の第二の凸部（６）と他方の側壁部材（２）の第二の凸部（６）を互いに対向する同一位置に設けるようにする。 （もっと読む）

【課題】スロットに収納されたウェハ同士の間隔を一定に保つことにより、ウェハ同士の接触を防止すると共に、ハンドリング作業を容易にする。
【解決手段】少なくとも一面（１ａ）が開口した箱型構造の容器（１）であって、互いに相向かい合う一対の内壁にウェハ状の物体を一枚毎に収納するための保持溝（３）から成るスロット（４）を有し、横置きしたとき、ウェハ状の物体（Ｗ）が容器内で斜めになるようにし、スロットに収納されたウェハ状の物体間に一定した間隔が得られることを特徴とする。保持溝（３）が形成されていない側壁（１ｅ）の外面を接地させる状態で縦置きしたとき、収納されたウェハ（Ｗ）が略水平となるように、当該側壁（１ｅ）の外面が上記保持溝（３）と略平行となるよう構成することが推奨される。 （もっと読む）

【課題】容器本体２と蓋体３との隙間へのパーティクルの付着を低減して容器本体２内へのパーティクルの浸入を防止する。
【解決手段】内部を清浄に保ってその内部に半導体ウエハ等を収納する薄板支持容器である。上記半導体ウエハが収納される容器本体２と、容器本体２を塞ぐ蓋体３とを備え、当該蓋体３と容器本体２との隙間を覆って保護フィルム１１を設けた。保護フィルム１１は粘着性を持たせて、容易に着脱できるようにする。保護フィルム１１は、蓋体３が取り付けられた容器本体２の当該蓋体３側面全面を覆う大きさに形成した。保護フィルム１１を貼ることで、容器本体２と蓋体３との隙間にパーティクルが浸入するのを防止して、蓋体３を容器本体２から取り外すときに、内部に巻き込む空気と共にパーティクルが内部に浸入するのを防止する。 （もっと読む）

【課題】容器内に選択的に固定され、半導体ウエハなどのディスクを梱包するクッション装置を提供する。
【解決手段】クッション４０は多数のクッション部材を備え、それぞれ基台に支持される２つの端部を有している。クッション部材は２つの端部間に階段状の構成を有し、階段構成の隣接するほぼ直線の部分間の角度は、容器内の半導体ウエハとのかみ合いに応答して撓んで変化する。また、クッション部材の２つの隣接する直線部分の間の頂点近くに、約６５度および約１８０度の間の角度離れた、位置調整された接触部分９０を備える。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板搬送用ボックスの転倒時においても、収容されるガラス基板への衝撃を低減させ、また、複数個のガラス基板搬送用ボックスを搬送用の箱に収容する場合に、隣り合うボックスの間に均一に空間を設け、搬送作業の効率を向上させることが可能な構造を有するガラス基板搬送用ボックスを提供する。
【解決手段】 本体容器側リブ１１５および蓋部材側リブ１２５が、ガラス基板１０１の平面が対向する側壁１１２，１１４の外壁面において、外方に向かって突出し、底側から開口領域側にかけて線状に延びるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】収納の利便性を向上させると共に物流コストを低減させることを可能とする基板収納容器等を提供する。
【解決手段】２枚の基板３１の上端部分をテープ３３により連結して基板対３０を構成し、基板収納容器１の対向する側部７及び側部９間に架設される梁部材２１にテープ３３部分を跨がせて基板対３０を懸架することにより、基板３１を基板収納容器１に収納する。基板対３０を懸架させる際、基板３１の下端部分あるいは側端部分は、案内部２３により所定の位置に誘導される。 （もっと読む）

【課題】この発明はサイズの異なる薄板状機材間の整列と包装のサイズ共用化を図り、装填・取り出し作業性に優れかつ輸送時の落下衝撃による損傷を防止できる包装のための事前準備。
【解決手段】数種の溝幅・溝深さ・溝間隔の直列溝を持つ直列で直角な保持整列Ｌ溝板１をＶ字状または水平に載せる方形枠２に掛け軸状のエラスティック膜の片側を装着して扱い、これにワークを整列搭載後にエラスティック膜を張り被せワークと保持整列Ｌ溝板１と方形枠２とを一体化したものをラップ済みＬ溝板方形枠８として、これの上下に、エラスティックフイルムを交差直交しかつ弛やかな凹面を為すように枠に貼った沈座式緩衝枠４を配置し、これのフイルム面がラップ済みＬ溝板方形枠を包むようにした収納直前荷姿９を形成させる包装のための準備をおこなうシステム。 （もっと読む）

【課題】 保管後の化合物半導体基板を用いて製造された半導体デバイスの電気特性の悪化を抑制することができる容器、包装体、これらの製造方法、およびこれらの容器、包装体によって収納された化合物半導体基板を提供する。
【解決手段】 化合物半導体基板を収納するために用いられる容器であって、容器中の錫の含有量が１ｐｐｍ以下である容器である。また、化合物半導体基板を収納するために用いられる容器であって、容器中のシリコンの含有量が１ｐｐｍ以下である容器である。また、化合物半導体基板を収納するために用いられる包装体であって、包装体中の錫の含有量が１ｐｐｍ以下である包装体である。また、上記の容器および包装体の製造方法、ならびに上記の容器、包装体によって収納された化合物半導体基板である。 （もっと読む）

基板コンテナは、エンクロージャとドアシャーシとを有する。エンクロージャはエンクロージャの内部に対して基板を挿入したり取り出したりするためのアクセス開口部を備えている。ドアシャーシは開口部を選択的に閉じるように形成されている。ドアシャーシは第１の壁を有し、そこから周辺壁が延びている。基板コンテナはシャーシに対して動作可能に連結されたラッチ機構を有する。ラッチ機構はシャーシを開口部へ動作可能に固定するように形成されている。基板コンテナのドアは凹凸加工された粒子捕捉領域を有しており、ラッチ機構やその他のところで発生した粒子が粒子捕捉領域によって捕捉される。
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内側ドア部と外側ドア部を有するウエハーキャリアドア。内側ドア部はほぼ連続する内面を有している。外側ドア部は内側ドア部の少なくとも一部分の上に延びている。外側ドア部はその中に形成された複数の開口部を有する。外側ドア部は内側ドア部に取り付けられる。
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メモリディスクの輸送容器はカセットを含み、カセットは開放上端と及び開放底と、開放上端を覆う上カバーと、底を覆う底カバーとを有する、本体部は対向側壁及び対向端壁を有する。２個の側壁は各々、垂直な上部と、内方に収束する底部とを備える。この側壁は、基板を垂直方向に位置決めし且つ間隔をあけた配列で保持するために切欠を画定する、内方に対向する長手状歯即ちスペーサを有する。各歯は開放上端から開放底まで連続すると共に、各歯は側壁の垂直上部に上垂直部を、また側壁底部に収束下部を有する。
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