【課題】 タッチダウン軸受の作動時にロータ停止を短時間で確実に行ない、タッチダウン軸受が作動している時間を短くすることにより、タッチダウン軸受の寿命を長くできるターボ分子ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】 緊急停止信号入力端子２２から緊急停止信号が入力されるか、または、タッチダウン軸受１７が作動してタッチダウンセンサ２から信号が出力されると、緊急停止信号またはタッチダウンセンサ２からの信号が、ＤＳＰ制御装置３に出力されると共に、ＯＲ回路１８を介して停止信号発生回路４に出力される。すると、ＤＳＰ制御装置３による制御が停止すると共に、停止信号発生回路４が、ＤＳＰ制御装置３がロータ１２を停止させる時間よりも短い時間でロータ１２を停止させる緊急停止の減速特性パターンの信号をモータドライバー制御回路５に出力する。 （もっと読む）