【課題】真空引きを行なう装置のプロセス時と非プロセス時の夫々の状態に適した軸シール部への不活性ガスの供給流量を制御することにより、前記不活性ガスの余分な消費をなくし、且つ、軸受側への反応生成ガスの侵入を確実に防止する。
【解決手段】軸シールと軸受の間に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段を備え、前記不活性ガス供給手段は、真空引きを行なう装置のプロセス時に前記軸シールと軸受の間に供給する不活性ガスの流量調整を行なう第１のガス流量調整手段５２と、前記装置の非プロセス時に前記軸シールと軸受の間に流す不活性ガスの流量調整を行なう第２のガス流量調整手段５３と、前記プロセス時には前記第１のガス流量調整手段５２により流量調整された不活性ガスを出力し、前記非プロセス時には前記第２のガス流量調整手段５３により流量調整された不活性ガスを出力するよう切り替え制御を行なう制御手段６０とを有する。 （もっと読む）

【課題】種々の作動条件下において特に高い効率で第１の流体に関する膨張及び熱伝達を行うことができるエキスパンダ型熱交換器ユニットを提供する。
【解決手段】第１の流体、特に空調システムの冷却剤を状態調整するエキスパンダ型熱交換器ユニットは熱交換器を有し、熱交換器は第１及び第２の管要素ユニット（3a，3b）を備え、第１流体の移送は中間出口（10）を介して熱交換器（３）から圧縮機段（14）まで、また中間入口（11）を介して圧縮機段（14）から熱交換器（３）まで達成でき、第１流体を第２の管要素ユニットから取り出す出口連結分配器（13）が設けられ、これを介して第１流体を膨張段に移送でき、圧縮機段（14）及び膨張段（15）は円筒形空間容積部内に配置され、この直径はその軸方向長さの１０％〜９０％、特に２０％〜７０％である。 （もっと読む）

【課題】圧縮機本体の無負荷運転への移行に伴い，冷却ファンの消費電力等を含めた圧縮機全体の動力を軽減する。
【解決手段】消費側に供給される圧縮気体の圧力を検知する圧力センサ５１と，前記圧力センサ５１が検知した圧力を所定の基準圧力と比較して，圧縮機本体１０の吸気口１１を開閉する吸気制御弁４０を開閉制御する制御信号を出力する制御装置５０を設け，制御装置５０が出力した前記吸気制御弁４０を閉じる制御信号により，前記冷却ファン３０を所定の低回転数で運転すると共に，前記制御装置５０の前記吸気制御弁４０を開く制御信号により，前記冷却ファン３０を所定の高回転数で運転する，例えばインバータ３５等の前記冷却ファンの回転数変換手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造を有し低コストで内部圧縮比を変更可能なスクリュー圧縮機システムを提供する。
【解決手段】本発明に係るスクリュー圧縮機システム１は、スクリュー圧縮機２の吐出室９と連通する吐出ポート１０と、吐出ポート１０と連通する高圧室１２と、高圧室１２よりも低圧の気体を収容する低圧室１３と、高圧室１２と低圧室１３を仕切るピストン１４と、ピストン１４と結合され、その一部が吐出室９に露出するスライドバルブ１７と、ピストン１４およびスライドバルブ１７を収容するハウジング１１と、ピストン１４およびスライドバルブ１７のうち少なくとも一つとハウジング１１１を連結する弾性体（バネ）１８と、を備え、ピストン１４およびスライドバルブ１７が高圧室１２内部の圧力変化によって移動することにより、スライドバルブ１７が吐出室９に露出した露出部１６が、吐出室９の容積を変化させることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】吸込み絞り弁等の部品の消耗を抑制し、その長寿命化を図ることができるスクリュー圧縮機の容量制御装置を提供する。
【解決手段】負荷運転状態から低圧力運転に切替る制御圧力と、低圧力運転から負荷運転に切替る復帰圧力とにより、吸込み絞り弁を制御するスクリュー圧縮機の容量制御装置において、前記圧縮機１の吐出圧力を検出する圧力検出器１５と、前記圧力検出器１５で検出した測定圧力に基づいて、前記負荷運転と前記低圧力運転とのサイクルタイムを演算し、このサイクルタイムが、予め設定した各部品の寿命に基づき規定した最短周期以下となった場合に、前記制御圧力を高圧側に変更させる制御手段１６とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 排気速度が適切に制御され、パーティクルの発生が抑制されるとともに高効率で減圧空間が排気される減圧装置を提供する。
【解決手段】 被処理基板を保持する減圧容器の内部空間を、異なる排気速度で排気可能に構成された減圧処理装置であって、前記内部空間を排気する高速排気ラインと、前記内部空間を排気する低速排気ラインと、前記内部空間の圧力を測定する第１の圧力測定手段と、前記低速排気ラインの圧力を測定する第２の圧力測定手段と、を有し、前記内部空間と前記低速排気ラインの圧力差に対応して、前記低速排気ラインに圧力調整ガスを供給する、圧力調整手段を備えたことを特徴とする減圧処理圧装置。 （もっと読む）

【課題】 ローラとシリンダとの間のシール性を向上させ、以って、冷却効率の向上を図る。
【解決手段】 密閉容器１内に電動要素２と、前記電動要素２により駆動され冷媒を圧縮する回転圧縮要素４とを収容した密閉型ロータリ圧縮機１００において、前記回転圧縮要素４を構成するシリンダ４１とローラ４５との間の圧縮室４３にオイルを吸入工程中に導く油路６０を設けるとともに、前記油路６０にオイルを供給するオイル供給管７２を接続し、前記オイル供給管７２に電磁弁８０を設けて、前記回転圧縮要素４の駆動周波数に応じて前記電磁弁８０を開閉する構成とした。 （もっと読む）

ロータリースクリュー空気圧縮機又は遠心空気圧縮機で使用される潤滑剤流体をその場で精製し、且つその状態を監視するシステムを記載する。本システムは、ロータリースクリュー空気圧縮機又は遠心空気圧縮機に機能的に組込むものであり、潤滑剤流体から酸を除去することができる少なくとも１つのフィルター装置、潤滑剤流体の状態を電子的に監視して、電気信号を処理する手段に電気信号を伝達する電気的プローブ及び電気的プローブからの電気信号を処理して、フィルター装置又は潤滑剤流体の交換の必要性を警告する電気信号処理手段から構成される。
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【課題】設備機器の自己診断について、メンテナンス時期の長期予測を可能とし、長期間にわたる継続運転を必要とする設備機器についても適切なメンテナンス対応をできるようにする。
【解決手段】設備機器やその部品について適宜に監視項目を設定し、その監視項目の監視に基づいてメンテナンス時期を求めるようにされている設備機器の自己診断方法について、監視項目として、備機器やその部品の劣化程度に関するデータの経時的な変化割合を用いるようにしている。 （もっと読む）

【課題】 抽気装置を備え、連続して長時間不凝縮ガスの抽気を行うことができ、運転効率を向上させることができる蒸留水製造装置を提供すること。
【解決手段】
不凝縮ガスの抽気を行なう抽気装置５０を備え、原料水を蒸留して蒸留水を作る蒸留水製造装置であって、その油槽に混入した水分を分離して除去する水分分離機構を備えた複数台の真空ポンプ５１と、該複数の真空ポンプ５１の運転／停止を制御する運転制御装置５４とを具備し、運転制御手段５４は、蒸留水製造装置から不凝縮ガスの抽気を行う際に、所定の優先条件に従って複数の真空ポンプ５１うちのいずれかの真空ポンプ５１を選択して運転することで、その時点でメンテナンス状態が最も良い真空ポンプ５１が選択され運転されるように構成した。 （もっと読む）

【課題】 膨張機によるポンプの作動を可能としつつ、圧縮機単独で作動させる場合のポンプの影響を無くし、また、圧縮機の作動不要時にも廃熱の有効活用を可能とする複合流体機械およびそれを用いた冷凍装置を提供する。
【解決手段】 流体を圧縮して吐出する圧縮機（１１０）と、ポンプ１３０によって循環される作動流体の膨張によって駆動力を発生する膨張機（１１０）と、発電機および電動機の両機能を併せ持つ回転電機１２０とを有し、圧縮機（１１０）、膨張機（１１０）、回転電機１２０、ポンプ１３０を直列に接続し、圧縮機（１１０）が回転電機１２０によって駆動される時に、回転電機１２０とポンプ１３０との接続状態を切断状態に切替え可能とする断続切替え手段（１４０）を設ける。 （もっと読む）

【課題】 ヒートポンプサイクルを用いた冷媒循環装置に高圧シェル方式の密閉形圧縮機を使用した場合でも、加熱流体に対する加熱能力を低下させることなく、吐出冷媒ガス温度を電動機や潤滑油に不具合の発生しない程度の温度に低減させる冷媒循環装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 ヒートポンプサイクルと、高温冷媒との熱交換により加熱流体を加熱する放熱器と、高圧シェル方式の密閉形圧縮機と、密閉容器内部に形成された潤滑油を貯める油溜めと、この油溜めから放熱器を通過し、その後絞り機構を経て密閉形圧縮機の入口となる吸入側へ戻る潤滑油循環回路とを備え、潤滑油循環回路に油溜めの潤滑油を高低圧の圧力差によって循環させ、潤滑油を放熱器へ導き、冷媒と共に加熱流体と熱交換させて潤滑油を冷却した後絞り機構により減圧させ、密閉形圧縮機の入口となる吸入側に潤滑油を供給することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 第１のベーンのみをバネ部材により第１のローラに付勢する多気筒回転圧縮機を備えた圧縮システムにおいて、起動時における第２のベーンの衝突音の発生を回避する。
【解決手段】 ロータリコンプレッサ（多気筒回転圧縮機）１０を起動する際、第２のベーン５２の背圧として両回転圧縮要素３２、３４の吸込側圧力を印加する状態で起動すると共に、起動した後に第２のベーン５２の背圧として両回転圧縮要素３２、３４の吐出側圧力を印加し、その後、第２のベーン５２の背圧を両回転圧縮要素３２、３４の吸込側圧力と吐出側圧力との間の中間圧力とする。 （もっと読む）