【課題】 半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、配管接続による圧力損失を低減し、各モジュールの配置変更を容易に行なえるもので、また流体に腐食性流体を使用しても腐食が起こることなく、配管後の流量の設定変更や、流路の遮断が可能であり、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、超音波を流体中に発信する超音波振動子１２と超音波振動子１２から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部８２に出力する超音波振動子１３とを有する流量計センサ部４と、操作圧により流体の圧力を制御する定流量弁５とを具備し、流量計センサ部４と定流量弁５とが、流体流入口３と流体流出口６を有する１つのケーシング２内に接続されて設置されてなる。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、水路の開閉のみならず流量調節も可能であり、小さな操作力で操作を行うことができる流量制御弁を提供する。
【解決手段】流量制御弁１０を、水路１４上に設けられた主弁１６と、密閉容器状の押圧室２４と、押圧室２４から延び出したパイロット操作用の小室２６と、それらに充填された非圧縮性の流体Ｌと、小室２６の末端を閉鎖した状態で進退運動し、前進により小室２６の流体Ｌを押圧室２４に押し込んで主弁１６を閉弁方向に移動させる、小室２６に対する受圧面積が水路１４に対する主弁１６の受圧面積よりも小さいピストン２８とを含んで構成する。 （もっと読む）

【課題】 自動弁において、小型な構成により、弁体の実際の開度を目視で確認できるよ
うにすること。
【解決手段】 弁体１４に一体化したインジケータ２１を、バルブヘッド１３に取付けた
筒状体２２の中空部に通し、筒状体２２の外側からインジケータ２１を視認可能にした自
動弁１０の開度調整構造において、筒状体２２の頂部に設けた孔２２Ｂにストッパ２５を
設け、筒状体２２の中空部への該ストッパ２５の突出長さを調整可能にし、インジケータ
２１の先端をストッパ２５の突出端に衝合させて弁体１４の開き側開度を設定可能にする
もの。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】 コンテナ（１２）内の流体の圧力を制御する多段比例バルブ（１０）が、排出開口（２４）を有する流体流出通路（２２）と、取り入れ開口（４６）を有するアクチュエート可能な流体流入通路（３８）と、前記排出開口（２４）を選択的に閉じるためのアクチュエート可能な排出カバー（３０）と、を具える。流体流出通路（２２）と、アクチュエート可能な流体流入通路（３８）と、アクチュエート可能な排出カバー（３０）は相互連結されており、第１のあらかじめ決められたスレッシュホールドに届く始動力に応じて、前記バルブ（１０）が前記排出カバー（３０）を変位させて、コンテナ（１２）内の流体を前記流体流出通路（２２）を通って排出するように構成されている。第２のあらかじめ決められたスレッシュホールドに届く始動力に応じて、前記バルブ（１０）が前記流体流入通路（３８）を変位させて、加圧流体を前記コンテナ（１２）内を通って、そこへ流す。 （もっと読む）

フェイルセイフ高速空気弁の装置および方法が開示される。フェイルセイフの信頼性は、スプリング式の常閉空気圧式アクチュエータにより実現される。スプリング式アクチュエータが加圧されると、常閉メカニズムが作動され、弁活性位置に来る。それと同時に、圧力が直接加えられ、ダイアフラムまたはベローズアセンブリをたわませて密封位置に戻す。標準ドーム型ダイアフラムを備える超高純度実施形態が開示されている。追加の高伝導性ダイアフラムおよびベローズ実施形態は、より高い伝導性の弁に使用される。新規性のある流路レイアウトが開示されている。弁は、ガスおよび流体の高速切り換えに応用することが可能であり、高生産性原子層蒸着（ＡＬＤ）アプリケーションに特に好適である。追加の実施形態は、ダイアフラムの改善、シール信頼性の向上、外部調整可能弁伝導性、弁安全性の向上、および高温弁シールを対象とする。
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【課題】設置環境に応じてパイロットポートの位置を変位自在に設けることにより、配管作業を簡便に行うことができるとともに、配管の取り出し方向に自由度を与え、使い勝手を良好にすることにある。
【解決手段】パイロットポート７６から供給されるパイロット圧の作用下に、流体通路２２を開閉するダイヤフラム４６を含む変位機構４０が設けられた弁機構部１６を有し、前記パイロットポート７６は、ボデイ２４とボンネット３２との間に介装された環状部材７４を介して周方向に沿って回動自在に設けられる。 （もっと読む）