【課題】 簡単、且つコンパクトな構成で、密閉容器内からの液体の供給を行うことが可能な使い捨て液体供給用ポンプを提供すること。
【解決手段】 ケースと、上記ケース内であって上記液体送出部に連通する位置に設けられ液体が充填されたシリンダ部と、上記ケース内に設けられ先端側に設けられたピストン部を上記シリンダ部内に位置させ基端側に鋸状突起を備えた押し棒と、上記ケース内に設けられ上記押し棒の鋸状突起の部分に当接されたコンタクトと、上記ケースに対して着脱可能に取り付けられ上記コンタクトを押圧することにより鋸状突起を介して押し棒を前進させ、それによって、ピストン部を介してシリンダ部内に充填されている液体を送出する駆動手段と、
を具備したもの。 （もっと読む）

【課題】共通液室基板の剛性が高く、割れの発生が低減され、生産性が高く、かつ高い歩留まりで製作することができる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】複数のノズル孔３０が形成されたノズル基板３と、
ノズル孔３０に対応する複数の圧力室２１、及び振動板２０を壁面の一部とする流路の水平面上に形成された共通電極２３と、圧電素子２５と、個別電極２４とからなるアクチュエータ２６が積層された個別液室基板２と、
ドライバＩＣ４を設置保護する空間、アクチュエータ２６の動作領域を確保する振動個室８、及び圧力室２１に液滴を供給する共通液室１０が形成された共通液室基板１とを備え、共通液室基板１は、共通液室１０の上部にノズル配列方向と直交する方向に梁状部７を有するとともに、両側から異なるパターンでエッチングされたときのパターン重複部分を開口させてなる液滴供給貫通孔６を複数有する液滴吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】 本願発明は、インダクタプレートがインキ、グリス等の高粘度流体を収容する収容缶の底についた状態でも、最後まで高粘度流体を吸い上げることのできるインダクタプレートを提供することにある。
【解決手段】 この発明は、高粘度流体が収容される収容缶に装着され、高粘度流体の吸引／送出に伴って降下する液面に対応して移動するインダクタプレートを具備するプランジャポンプにおいて、前記インダクタプレートは、前記プランジャポンプの吸入口と連通する略円錐状に形成された円錐状空間部と、該円錐状空間部の外周縁から前記インダクタプレートの外周縁にわたって形成されるフランジ部とによって構成され、前記フランジ部には、前記円錐状空間部と前記収容缶の底部との間に所定の隙間を形成する隙間形成構造を設けたことにある。 （もっと読む）

【課題】接続流路管を長く、または剛性が低い材料にしても強いパルス流を噴射できる流体噴射方法を実現する。
【解決手段】流体噴射装置１の流体噴射方法は、第１脈流発生部２０と第２脈流発生部３０と、第１脈流発生部２０に流体を供給するポンプ１０と、第１脈流発生部２０と第２脈流発生部３０とを接続する接続流路管４とが備えられ、第１脈流発生部２０と第２脈流発生部３０それぞれに備えられる圧電素子２１，３１に入力される駆動信号の周期が同じであって、第２脈流発生部３０の駆動信号を第１脈流発生部２０の駆動信号よりも、第１脈流発生部２０と第２脈流発生部３０との間の距離を圧力波が伝播するのに要する時間だけ位相を遅延させるよう制御する。このことにより、接続流路管を長く、または剛性が低い材料にしても強いパルス流を噴射できる。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電素子を振動板の位置に精度良くかつ十分に密着して接着するための接着剤塗布方法を提供する。
【解決手段】変形することにより接している物質に機械エネルギーを伝える、平面上の複数の位置に配設された弾性部材に、前記弾性部材の配設位置に対応する位置関係を維持して固定板に剥離可能に仮固定されている圧電素子を接着する接着剤を、該圧電素子の前記固定板に対向する面である転写面に転写により塗布する転写シートであって、前記圧電素子の前記転写面に沿う柔軟な基材からなり、転写する接着剤が塗布される面に、高さが概同じ突起を複数個備えている。 （もっと読む）

【課題】振動板の剛性を高め、破壊を防ぎつつ、振動板の軽量化を実現し、製造歩留まりを向上し、併せて圧電素子の駆動効率を上げ、圧電素子の消費電力を低下させる。
【解決手段】内部に中空の圧力発生室２０２を有する単結晶シリコンからなる流路形成基板２０１に、圧力発生室２０２の一面側を構成する振動板２１４を介して圧電素子１０３を配置した流体移送装置において、振動板２１４が、圧力発生室２０２の内面から順に低密度構造体２１４ｂと高密度構造体２１４ａの層を有する。振動板２１４は、平面方向全体に低密度構造体２１４ｂと高密度構造体２１４ａを有するか、流路形成基板２０１の本体に対して支持される端部の圧力発生室２０２の内側に低密度構造体２１４ｂを欠いた厚さが薄い溝部分を有するとしてもよい。 （もっと読む）

【課題】空隙内圧と大気圧の差圧解消や信頼性向上を目的とする空隙内へのガス導入を効率的に行うことができない。
【解決手段】アクチュエータ基板１上に構成された振動板２０及びこの振動板２０に空隙１４を介して対向する個別電極１２を備え、複数の空隙１４、１４間の隔壁部１５の下側に、隔壁部１５の長手方向に沿って個別連通路１６を設けるとともに、個別連通路１６と空隙１４とを連通する個別連通路孔１７を設け、更に各個別連通路１６が連通する共通連通路１８を設けた。 （もっと読む）

【課題】液体を効率よく移送することができ、さらに、構造が簡単で製造も容易な液体移送装置を提供すること。
【解決手段】ポンプ５は、圧力室２３、インク供給流路２４、及び、インク排出流路２５が形成された基材２０と、圧力室２３内のインクに圧力を付与する圧力付与部３０と流路２４，２５を開閉する開閉部３１，３２とを有する圧電アクチュエータ２１を備えている。圧電アクチュエータ２１は、振動板３５、圧電材料層３６、圧電材料層３６の一方の面に配置された駆動電極３７及び流路開閉用電極３８，３９を含む積層体３３を有する。そして、圧力付与部３０が積層体３３の圧力室２３と対向する部分から構成されるとともに、開閉部３１，３２が積層体３３の流路２４，２５と対向する部分から構成され、圧力付与部３０と開閉部３１，３２が、基材２０の一表面に沿って配置されている。 （もっと読む）

【課題】低電圧駆動が可能で大きな振動板戻り力を得ることが困難である。
【解決手段】振動板１１は、振動板１１の短辺方向でおいて、相対的に剛性が異なる少なくとも第１、第２、第３の領域１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃを有し、第１の領域１１Ａよりも第２の領域１１Ｂの剛性が低く、第１の領域１１Ａよりも第３の領域１１Ｃの剛性が高い関係にあり、第２の領域１１Ｂ、１１Ｂは振動板１１の短辺方向の固定端側（隔壁部９側）に設けられ、第３の領域１１Ｃは振動板１１の中央部側に設けられ、更に第３の領域１１Ｃの一部には相対的に剛性の低い低剛性領域１１Ｄが設けられている構成となる。 （もっと読む）

【課題】容器から微量の液体を排出するポンプ装置
【解決手段】液体(11)が充填されると共に、液体の排出口(23)が形成された容器本体(20)を備えている。容器本体(20)内に一端から導入されて連続する押出し部材(31)を有する排出機構(30)を備えている。排出機構(30)は、押出し部材(31)を容器本体(21)に導入することにより液体(11)を排出口(23)より排出する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ヤング率の変動にほとんど影響を与えず応力緩和できるため、構成膜の膜厚比を変えることなく内部応力のバランスを変更でき、高精度、高密度、高い信頼性、かつ高い量産性を持った静電型アクチュエータを得ることができ、比較的容易に低電圧でインク吐出効率が高く、高画質印字が可能となる。
【解決手段】 本発明の静電型アクチュエータは、静電力で変位する振動板と、該振動板に犠牲層除去孔を用いて犠牲層プロセスで形成された空隙を介して対向する下部電極とを有している。そして、本発明の静電型アクチュエータにおける振動板は、構成元素以外の元素をイオン注入され、残留応力が緩和されている応力調整膜を、少なくとも１層含む積層膜で構成されていることに特徴がある。 （もっと読む）

【課題】圧縮空気や油圧等を使用せず、正逆回転可能なモーターの駆動力によって、ポンプ装置のピストンを往復動作させることにより、脈動が発生するのを防止し、もって、装置の配管等に発生する振動を低減させるポンプ用リニアアクチュエータを得る。
【解決手段】正逆回転可能なモーター２と、ピストンポンプ３０を往復運動させる駆動手段３と、モーター２の回転力を駆動手段３に伝達する伝達手段４と、モーター２の正逆回転を制御する制御手段とを備え、駆動手段３は、シリンダーケース５と、回転筒部６と、螺子付シャフト７と、案内溝部８と、案内部９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】大気開放孔を封止剤によって封止するとき、大気開放孔を空隙に連通させる連通路は極めて細く、毛細管現象によって、封止剤が連通路を通じて空隙内にまで達し、正常な動作ができなくなることを防止する。
【解決手段】振動板と電極との間の空隙に個別連通路を介して連通する共通連通路１５を大気に開放するための大気開放孔４２との間の大気開放空隙４１には、大気開放孔４２を封止する封止剤の共通連通路１５内への流入に対して抵抗となる蛇行通路４５を形成し、封止剤が共通連通路１５を経由して空隙内に浸入することを防止する。 （もっと読む）

【課題】駆動力伝達時に生じる摺動摩擦抵抗によって不必要に駆動負荷が増大することを極力低減して耐久寿命を向上することができる駆動力伝達装置、加圧ポンプ装置、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】所定の軸線ａ上に駆動力に基づき回転可能に配置された第３歯車６３（駆動要素）と、該第３歯車６３と同一の軸線ａ上に回転可能に配置された従動部品６４（従動要素）と、第３歯車６３及び従動部品６４のうち一方の要素と一体的に回転しながら、他方の要素に設けられた軸線ａを中心とする円筒状又は円柱状の摺動部６６の周面に対して軸線ａと直交する方向から所定の弾性力を付与する板ばね６５（弾性要素）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 フォロープレート周囲のシール部材のシール力を簡単に調整可能なアジャスタブルフォロープレートを提供することを目的としている。
【解決手段】 ポンプ１２下端の吸込口１２ａに装着され、ドラム缶やペール缶などの容器Ｐ内の貯留液をポンプ１２で汲み上げて排出する、周囲に装着されるシール部材７の容器Ｐの内周壁に対する接触シール力を調整可能なアジャスタブルフォロープレート１で、中空環状のシール部材７と、このシール部材７をフォロープレート本体１ａの外周縁部との間で挟持して押圧する押圧リング３と、この押圧リング３上の周囲に間隔をあけて配置されフォロープレート本体１ａ上に立設された支柱４に対し支軸６を介して偏心カム部５ａを上下方向に旋回可能な複数の偏心レバー５とを備え、これらの偏心レバー５の旋回角度によりシール部材７の半径方向外方への拡径状態を調整可能にした。 （もっと読む）

【課題】 良好な信頼性を有する圧電素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電素子１０は，
基板１と、
基板１の上方に形成された第１電極４と、
第１電極４の上方に形成された圧電体層５と、
圧電体層５の上方に形成された第２電極６と、を含み、
第１電極４は、ＩｒおよびＰｔのうちの少なくとも一方を含む合金膜４０を有し、
合金膜４０は、さらに，ＩｒおよびＰｔのうちの少なくとも一方よりも融点が低い添加金属を含む。 （もっと読む）

【課題】 犠牲層エッチングで振動板と電極との間の空隙及び各空隙を連通する連通路を形成すると、連通路が犠牲層の高さによる制約を受けることになって、断面積の大きな連通路を形成することが困難である。
【解決手段】 個別電極１４を形成するための電極形成層２４をパターニングするときに共通連通路１５を形成するための部分を形成し、電極形成層２４上に絶縁膜２５を成膜したときに絶縁膜２５に共通連通路１５を形成するための部分に開口２６を形成することで下層の電極形成層２４を露出させた状態にし、絶縁膜２５上に空隙１３を形成する犠牲層２７を形成して共通連通路１５を形成するための部分４８を形成し、電極形成層２４で形成される共通連通路１５を形成するための部分４２と犠牲層２７で形成される共通連通路１５を形成するための部分４２と一体化させた後、犠牲層エッチングで除去して空隙１３よりも高さの高い共通連通路１５を形成する。 （もっと読む）

【課題】 良好な圧電特性を有する圧電体膜を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電体膜は，
ペロブスカイト型の圧電体膜であって、
擬立方晶（１００）に優先配向しており、
モノクリニック構造（図のＭで示される領域）を有し、
分極軸方向は、擬立方晶＜１１１＞方向と，擬立方晶＜１００＞方向との間である。 （もっと読む）

【課題】 良好な圧電特性を有する圧電素子を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電素子１は，基板２と、基板２の上方に形成されたバッファ層５と、バッファ層５の上方に形成された、ペロブスカイト型構造を有する圧電体層６と、を含み、バッファ層５は、ｃ軸（００１）に優先配向しているＹＢａ_２Ｃｕ_３Ｏ_７−δからなり、δは，０≦δ≦０．６の範囲である。 （もっと読む）

【課題】安定した流体噴射特性を確実に得られるようにすべく、壁体形成の際の形状ばらつきを小さく抑えることのできる機能素子を提供する。
【解決手段】中空構造部分１５を形成するための開口１８と、その開口１８を封止する封止膜１９と、その封止膜１２上に形成される壁体２３とを具備し、前記封止膜１９が上面部１９ａと傾斜を有した側壁部１９ｂとを備えてなる機能素子において、前記壁体２３の両側面の間の幅が、前記上面部１９ａの形成幅よりも狭く、または前記上面部１９ａと前記側壁部１９ｂとを含む前記封止膜１９の最大形成幅よりも所定値以上広くなるように、当該壁体２３を形成する。 （もっと読む）