【課題】構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口３が穿設されたノズルプレート１７と、上記ノズル開口３に連通する圧力発生室２ならびに上記圧力発生室２に連通する圧力発生室２以外の流路空間としてインク貯留室４が形成された流路形成板１３と、上記流路形成板１３に積層されて開口を封止する振動板１１と、上記振動板１１を振動させて圧力発生室２に圧力を発生させる撓み振動モードの圧電振動子６とを含むことにより、１枚の流路形成板１３に、圧力発生室２とインク貯留室４とが形成されていることから、記録ヘッドを構成するパーツが少なくなり、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる。 （もっと読む）

【課題】容積変更手段が停止しているときに流体が流体噴射開口部から流出しない脈流発生装置を実現する。
【解決手段】脈流発生装置２０は、流体室８０の容積を変化させて流体噴射開口部９６から流体をパルス状に噴射する脈流発生装置であって、ポンプ１０から流体室８０に流体を供給する入口流路８１と、流体室８０の容積を変化させる容積変更としての圧電素子３０及びダイアフラム４０と、流体室８０から流体噴射開口部９６まで流体を送出する出口流路８２と、流体室８０から流体を排出する排出流路８３と、排出流路８３を開閉する開閉バルブ１００と、が備えられ、排出流路８３の合成イナータンスＬ３が出口流路８２の合成イナータンスＬ２よりも小さく設定されている。開閉バルブ１００を開放するとともに圧電素子３０の駆動を停止して排出流路８３から液体を外部に排出する。 （もっと読む）

【課題】容積変更手段が停止しているときに流体が流体噴射開口部から流出しない脈流発生装置を実現する。
【解決手段】脈流発生装置２０は、流体室８０の容積を変化させて流体噴射開口部９６から流体をパルス状に噴射する脈流発生装置であって、ポンプ１０から流体室８０に流体を供給する入口流路８１と、流体室８０の容積を変化させる容積変更としての圧電素子３０及びダイアフラム４０と、流体室８０から流体噴射開口部９６まで流体を送出する出口流路８２と、流体室８０から流体を排出する排出流路８３と、排出流路８３を開閉する開閉バルブ１００と、が備えられ、排出流路８３の合成イナータンスＬ３が出口流路８２の合成イナータンスＬ２よりも小さく設定されている。開閉バルブ１００を開放するとともに圧電素子３０の駆動を停止して排出流路８３から液体を外部に排出する。 （もっと読む）

実質的に円筒状の形状を有すると共に、端壁により両端部が閉じられた側壁により形成されたキャビティを画定するポンプであって、該キャビティが流体を含むようなポンプが開示されている。該ポンプは、更に、上記端壁の少なくとも一方に動作的に関連されて、駆動される端壁の振動運動を生じさせ、これにより上記キャビティ内で該駆動される端壁の変位振動を発生させるアクチュエータを有する。該ポンプは、更に、上記駆動される端壁の周縁部に動作的に関連されて、上記変位振動の減衰を減少させるアイソレータを有する。 （もっと読む）

実質的に円筒状の形状を有すると共に、端壁により両端部が閉じられた側壁により形成されたキャビティを画定するポンプであって、該キャビティが流体を含むようなポンプが開示されている。該ポンプは、更に、上記端壁の少なくとも一方に動作的に関連されて、駆動される端壁の振動運動を生じさせ、これにより上記キャビティ内で該駆動される端壁の変位振動を発生させるアクチュエータを有する。該ポンプは、更に、上記駆動される端壁の周縁部に動作的に関連されて、上記変位振動の減衰を減少させるアイソレータを有する。該ポンプは、更に、上記バルブを経る流体の流れを制御するためのバルブを有する。該バルブは、オフセットする開口を備えた第１及び第２プレートと、これらプレートの周に沿って該プレートの間に配置されて、上記開口と流体的に連通するキャビティを形成する側壁とを有する。該バルブは、更に、上記第１及び第２プレートの間に配置されると共に、これらプレートの間で移動可能であり、且つ、一方のプレートの開口からは実質的にオフセットされると共に他方のプレートの開口とは実質的に整列された開口を備えるフラップを有する。該フラップは、当該バルブの両端間の流体の差圧の方向の変化に応答して、上記２つのプレートの間で移動される。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を密閉空間に収納し、水分吸収に起因する圧電素子の破壊を防止する。
【解決手段】流体噴射装置１００は、流体室の容積をダイアフラムによって縮小し、液体をパルス状に噴射する流体噴射装置であって、第１ユニット１１と第２ユニット１２と、第１ユニット１１と第２ユニット１２との間にスペーサー６０が介在されて、これらが重ねて一体化され、流体室６５と流体室６５に連通する入口流路３１と出口流路３２が画成される。このようにして構成される流体噴射部１０は、チューブ２０に連通されている。圧電素子５１，５２は、それぞれダイアフラム４１，４２に接合され密閉空間７２，８２に収納されている。圧電素子５１，５２には接続線１６，１７が接続されており、接続線１６，１７は、密閉空間７２，８２から延在されてチューブ２０に挿通される。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の疲労破壊による変位量の低下を抑制する。
【解決手段】圧電装置１は、圧電体１１と、圧電体主面上に形成される表面電極１２と、を有する圧電素子１０と、圧電素子１０の一方の主面上に形成され、圧電素子１０と電気的に接続されるように接合されている振動板２１と、圧電素子の他方の主面上に、圧電素子１０と電気的に接続されるように形成されている外部電極２２と、振動板２１及び外部電極２２を通じて圧電素子１０と電気的に接続されている外部接続端子３２と、を備える。そして、外部電極２２は、圧電素子１０の他方の主面上の少なくとも中心部上に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】騒音の発生が抑制された圧電ポンプ装置および圧電ポンプ装置の駆動方法を提供する。
【解決手段】圧電素子を有するダイアフラムＤｐを備えた圧電ポンプＰ１と、圧電ポンプＰ１を駆動する駆動手段と、２つの矩形波駆動信号Ｖ１、Ｖ２を前記駆動手段に供給して駆動手段の動作を制御する制御手段ＣＴＲと、を備えた圧電ポンプ装置であって、駆動手段は、圧電素子の駆動開始時に正方向または負方向に一定の傾きで駆動電流Ipを増加させるとともに、圧電素子の電圧が所定の電圧に近づいたとき、圧電素子の充放電電流を緩やかに減少させ、次の駆動開始タイミングまで圧電素子の電圧を一定に保つように構成された駆動制御手段を備える圧電ポンプ装置。 （もっと読む）

【課題】圧電ブロアを共振周波数の駆動信号でもって駆動し、温度等による共振周波数の変動に対応して駆動信号の周波数を調整する。
【解決手段】圧電ブロアの圧電アクチュエータ３が振動制御電圧Ｖａによって駆動される。圧電アクチュエータ３が変位することによって発生した検出電圧Ｖｄが演算増幅器５６を介してコンパレータ５７に供給され、振動制御電圧Ｖａと比較される。コンパレータ５７の出力に取り出される検出電圧ＳＶｄがデジタルの検出データＤｄに変換され、ＣＰＵ５１に供給される。ＣＰＵ５１は、振動制御電圧Ｖａの周波数を変化させて検出電圧Ｖｄが最大となる周波数と等しい周波数の振動制御電圧を生成する。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子によって形成される液体ポンプ室の一部と、圧電振動子の制御基板とを平面的に見て重畳させて、同一のハウジング内に収納するとき、液体ポンプ室の圧力によるハウジングの変形を防止するドライバ内蔵圧電ポンプを得る。
【解決手段】ハウジングの基板収納溝内に、液体ポンプ室と基板収納溝との重畳部分に部分的に位置させて、基板収納溝の対向する壁面を接続する補強支柱を形成し、制御基板に、この補強支柱を避ける逃げ部を形成したドライバ内蔵圧電ポンプ。 （もっと読む）

【課題】双方向への送液や、送端部での液滴制御を容易に行うことができる送液装置を提供する。
【解決手段】液体の送液路に配設され且つ管壁が変形可能な管路１と、管路１の周面全周又は周面の一部を覆うように取付けられ且つ少なくとも管路１の管壁を収縮するように作動する圧電素子２と、圧電素子２の作動状態を制御する制御装置３とを備え、管路１に沿って圧電素子２を複数取付け、これを送液方向手前側から順次管路の管壁１を収縮するように作動させれば、管路１のどちらの方向にも送液することができるし、送端部から絞り出される液体の量を調整して液滴とすることもできる。また、圧電素子２への印加電圧を変更することにより管路１内の液体の送液速度を制御することにより、管路１内の液体の送液速度を容易に制御することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ポンプ室内部に気泡が滞留しても、その気泡を排出し、吐出性能を維持することができるポンプを提供する。
【解決手段】ポンプ１０は、ダイアフラム６０を駆動することによって容積が変更可能な主ポンプ室２７と、主ポンプ室２７に作動流体を流入する入口流路と、主ポンプ室２７から作動流体を流出する出口流路と、少なくとも前記入口流路を開閉する逆止弁４１，４２と、が備えられ、入口流路側の合成イナータンス値は、前記出口流路側のイナータンス値よりも小さく設定され、主ポンプ室２７の内部に滞留する気泡を排除する気泡排出手段が、さらに備えられている。このことにより、主ポンプ室２７内部に気泡が滞留しても、気泡排出手段によって、その気泡を排出し、吐出性能を維持することができるポンプを提供できる。 （もっと読む）

【課題】周縁を液密に保持した圧電振動子の表裏に、ポンプ室と大気室を形成し、該圧電振動子を振動させてポンプ作用を得る圧電ポンプにおいて、圧電振動子の圧電体層にクラックが生じにくい圧電ポンプを得る。
【解決手段】導電性金属薄板からなる少なくとも一枚のシムと少なくとも一層の圧電体層との交互積層構造を有する圧電振動子を、最も空気室側にはシムが位置するように配置した圧電ポンプ。 （もっと読む）

【課題】圧電ポンプに安定した送液動作を得られるとともに、小型で、価格的にも安価な燃料電池システム及び圧電ポンプ装置を提供する。
【解決手段】電力を発電する燃料電池発電部（セル）１０１の燃料供給に圧電素子の湾曲動作により燃料の吸引、排出動作を繰り返しポンプ動作を行う圧電ポンプ１０４を用い、かかる圧電ポンプ１０４の圧電素子１０４５を矩形波状の駆動波形の駆動電圧を発生する駆動回路５により駆動するとともに、駆動回路５と圧電素子１０４５の間に抵抗素子８を接続して圧電素子固有の静電容量とともにＲＣ積分回路を構成し、圧電素子１０４５に対し駆動波形を、立ち上がりを緩やかにした波形に変形して供給する。 （もっと読む）

【課題】 非圧縮性流体のみならず、気体等の圧縮性流体も確実に吸入・吐出することができるポンプ装置を提供すること。
【解決手段】 ポンプ装置１は、ハウジング１０を備える。ハウジング１０の内側には、相対向する凹面１１ｅ，１２ｅが形成され、凹面１１ｅ，１２ｅ間に内部空間が形成されている。凹面１１ｅ，１２ｅ間にダイヤフラムアクチュエータ２０が配置されている。ダイヤフラムアクチュエータ２０は互いに接合されたシム板２２と圧電シート２１から構成され、その接合面に空間としての凹部２２ａが形成されている。圧電シート２１には、凹部２２ａに通じる第一絞り穴２１ａが形成され、シム板２２には、凹部２２ａに通じる第二絞り穴２２ｂが形成されている。凹部２２ａには、フロート弁２４が収納されている。 （もっと読む）

【課題】流体の送液状態に規定外の変化が生じても逆止弁に不具合が生じ難い構成の、逆止弁、流体装置、および、ポンプの提供を図る。
【解決手段】逆止弁５５は弁室Ｈ１に納められる。逆止弁５５は支持部５５Ａと可撓部５５Ｂとを備える。支持部５５Ａは主軸に沿って延設される。可撓部５５Ｂは、主軸から張り出した状態で支持部５５Ａに支持される。ダイヤフラム６４は弁室Ｈ１の下壁面を構成し、可撓部の変位により可撓部５５Ｂに覆われる位置に流体の流入口６４Ａを有する。底板６７は弁室Ｈ１の上壁面を構成し、可撓部５５Ｂを介在する状態でダイヤフラム６４に対向する。可撓部５５Ｂの両主面のうち底板６７に対向する上主面と底板６７の下主面との対向する領域の少なくとも一方に、部分的に起伏する起伏形状部５５Ｃを備える （もっと読む）

【課題】送気用の流路が細くても電子回路に所望の流量の流体を送ることができる冷却機構を有する電子機器を提供する。
【解決手段】第１軸に沿って往復運動する圧電素子を備え、流体を供給する供給手段１６と、供給手段に接続され、流体を熱源１４に導く導入手段１８である管状部材とを有し、流体の供給手段は送出し口径と管状部材の受口径とは略同径であり、流体の流量がゼロとなる圧力を２０Ｐａ以上とする。また、供給手段はポンプまたはブロアとする。 （もっと読む）

【課題】流体を十分安定的に移送することができる圧電ポンプを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、圧電素子とその圧電素子を支持する支持部材とを備える構造体と、構造体を挟む第１及び第２の基板とを含有し、第２の基板と構造体とによって囲まれたポンプ室と、ポンプ室と連通する第１及び第２の開口部とを有する圧電ポンプであって、圧電素子は、電圧を印加することによって変位する変位部と、第１及び第２の基板に直接的又は間接的に狭持されることにより固定された被固定部とを含み、第１の基板は、構造体に接合された状態から、変位部と支持部材における変位部の外周を包囲する包囲部とを露出させるように、上記変位部と包囲部とに対向する部分が除去されたものである圧電ポンプを提供する。 （もっと読む）

【課題】ポンプ室内部に気泡が滞留しても、その気泡を排出し、吐出性能を維持することができるポンプを提供する。
【解決手段】ポンプ１０は、ダイアフラム６０を駆動することによって容積が変更可能な主ポンプ室２７と、主ポンプ室２７に作動流体を流入する入口流路と、主ポンプ室２７から作動流体を流出する出口流路と、少なくとも前記入口流路を開閉する逆止弁４１，４２と、が備えられ、入口流路側の合成イナータンス値は、前記出口流路側のイナータンス値よりも小さく設定され、主ポンプ室２７の内部に滞留する気泡を排除する気泡排出手段が、さらに備えられている。このことにより、主ポンプ室２７内部に気泡が滞留しても、気泡排出手段によって、その気泡を排出し、吐出性能を維持することができるポンプを提供できる。 （もっと読む）

【課題】高圧力での送液及び高流量での送液を可能とするマイクロポンプユニットを得る。
【解決手段】順方向及び逆方向に送液可能な複数のマイクロポンプ10a,10b,10cを積み重ねたマイクロポンプユニット。積み重ねたマイクロポンプの流路をマイクロバルブを介して開閉可能に連結し、マイクロバルブの開閉状態の組合せに応じて並列流量モードと直列圧力モードとを切り替える。並列流量モードでは、各段のマイクロポンプが順方向又は逆方向に送液駆動されるとともに、各段のマイクロポンプの上流側に駆動液が供給されて最下段のマイクロポンプの下流側から出力される。直列圧力モードでは、奇数段のマイクロポンプが順方向又は逆方向に送液駆動されかつ偶数段のマイクロポンプが奇数段のマイクロポンプとは逆の方向で送液駆動されるとともに、最上段のマイクロポンプの上流側に駆動液が供給されて最下段のマイクロポンプの下流側から出力される。 （もっと読む）