【課題】振動板の振動が外部に漏洩しにくくし、エネルギー損失を低減できる圧電マイクロブロアを提供する。
【解決手段】圧電素子２０を有する振動板２の周囲を固定し、振動板との間でブロア室３を形成するケース１と、ケース１の外周部に設けられ、ケース１から外部への振動伝搬を実質的に抑制する複数の連結部４と、を有する。振動板２の中央部と対向するケース１の天板部１０に第１開口部１１が形成され、振動板２をベンディングモードで駆動させることにより、空気を第１開口部１１から排出する。振動板２の振動がケース１から外部へ漏洩するのを連結部４が抑制し、エネルギー損失を低減する。 （もっと読む）

【課題】パルス流噴射と連続流噴射とを切替え可能な流体噴射装置の制御方法を実現する。
【解決手段】流体噴射装置の制御方法は、流体室と前記流体室の容積を変更する容積変更手段とを有し、流体噴射開口部から流体をパルス流または連続流として噴射させる脈流発生部と、前記脈流発生部に所定の圧力で流体を供給する流体供給手段と、パルス流噴射と連続流噴射とを選択的に切り替える噴射指令切替え手段と、が備えられる流体噴射装置の制御方法であって、前記容積変更手段を駆動し流体を脈流に変換してパルス状に噴射させるパルス流噴射と、前記容積変更手段を停止し、パルス流噴射の場合よりも前記流体供給手段からの流体供給圧力を高めて流体を連続流として噴射させる連続流噴射と、に前記噴射指令切替え手段により選択的に切替える。 （もっと読む）

【課題】冷却媒体の送液ポンプの大型化や高速化をすることなく冷却能力を向上させる。
【解決手段】送液ポンプの出口流路に出口側バッファ室を設け、少なくとも送液ポンプから出口側バッファ室までは液体で満たしておく。こうすれば、送液ポンプと出口側バッファ室とによって共振系が構成されるので、共振周波数に相当する周期（あるいは整数倍の周期）で送液ポンプを駆動することで、共振を利用して高い圧力を発生させて、その圧力を用いて液体を圧送することができる。このため、出口流路側に出口側バッファ室を設けるだけで、送液ポンプの大型化や高速化を行うことなく、液体の流量を増加させて、冷却能力を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】特性が安定したＵＳエレメント２０を提供する。
【解決手段】ＵＳエレメント２０は、シリコン基板１１と、複数の下部電極部１２Ａと複数の下部配線部１２Ｂとを有し駆動信号およびバイアス信号が印加される下部電極端子５２と接続された下部電極層１２と、下部絶縁層１３と、複数のキャビティ１４が形成された上部絶縁層１５と、複数の上部電極部１６Ａと複数の上部配線部１６Ｂとを有し容量信号を検出するためのグランド電位の上部電極端子５１と接続された上部電極層１６と、保護層１７と、がシリコン基板１１の上に順に積層されており、少なくとも前記下部配線部１２Ｂの上側に形成された、グランド電位の遮蔽電極端子５３と接続された遮蔽電極部７１を更に具備する。 （もっと読む）

【課題】高性能なマイクロ流体装置および外付けの圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】流体ポンピング装置100、200は、マイクロ流体装置130、230に外付けに連結された圧電アクチュエータ110を含んでいる。圧電アクチュエータは、バイアス電圧の印加に応じた長軸に沿った軸方向変位を有している。圧電アクチュエータの軸方向変位は、マイクロ流体装置の内部のバルブ245および内部のポンプチャンバ140の一方を作動させる。 （もっと読む）

【課題】ポンプユニットにおいて、能力を向上させながらも、大幅な小型化を達成する。
【解決手段】マイクロポンプ５００を行と列の関係となる格子状に配置し、少なくとも最下流行のマイクロポンプ５００の吐出口を統合吐出口に接続する。更に、中間行の複数のマイクロポンプのそれぞれの吐出口を統合吐出口に直結させる吐出直結機構と、同マイクロポンプのそれぞれの吸入口を、最初に供給される前記流体に直結させる吸入直結機構と、上流行のマイクロポンプの吐出口を、下流行の前記マイクロポンプの吸入口に直結させる直列結合機構と、これらを制御する制御装置を備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を用いて安定な流体噴射を行うこと。
【解決手段】流体噴射装置は、筺体１０の内部に配置される主圧電素子Ｐ₀及び主制御部７０と、主圧電素子Ｐ₀に密着固定されるダイアフラム２０と、ダイアフラム２０と筺体１０とによって構成される圧力室３０と、圧力室３０内に液体を供給する流体供給管６０と、圧力室３０に連通し各頂点が鈍角である多角形の断面形状を有する流路管４０と、流路管４０の終端に連結する噴射口５０と、流路管４０に接し、噴射口５０方向に対し螺旋状に複数並び、噴射口５０方向と交差する方向に伸長する圧電素子Ｐ₁〜Ｐ₃₀と、複数の圧電素子Ｐ₁〜Ｐ₃₀に電圧を印加して圧電素子Ｐ₁〜Ｐ₃₀のそれぞれの伸長を制御し、噴射口５０から離れたものから噴射口５０の方向に向かって螺旋方向順に圧電素子Ｐ₁〜Ｐ₃₀を順次伸長させ、流路管４０内で噴射口５０方向に進行する旋回流を生成させる制御部８０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 冷却対象物に近接して配置しても冷却効果が高い冷却装置およびそれを実現する送流装置を提供する。
【解決手段】 ダイアフラムによって少なくとも一部が構成された壁部１１およびそれと対向する壁部１２を含む壁で囲まれた空間１４を有する筐体１０と、壁部１２を貫通する貫通穴１５を含んで構成された、空間１４と外部とを接続し、内部を通過して空間１４から流出する流体が、壁部１２の外側の壁面に平行な第１方向側へ向かって流れるように形成された第１流路３１と、内部を通過した流体が、第１流路３１の貫通穴１５に対して空間１４と反対側に供給される第２流路３２と、第１方向側へ向かって流れる流体と接触する位置に、壁部１２と間隔を開けて配置された可動部材２８とを備える送流装置およびそれを用いた冷却装置とする。冷却対象物に近接して配置しても冷却効果が高い冷却装置およびそれを実現する送流装置が得られる。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の反りをなくし、振動によって圧電体層に引っ張り応力が作用しても圧電体層が破壊する危険性を低減する。
【解決手段】圧電ポンプ１００は、圧電体素子５４と中間板５３と振動板５１とを備える。圧電体素子５４は、平板状である。中間板５３は、圧電体素子５４の主面に接合され、圧電体素子５４に圧縮方向の残留応力を付与する。振動板５１は、圧電体素子５４の主面に対向するように中間板５３に接合されて中間板５３から圧縮方向の残留応力が付与され、且つ、開口穴３１を有する。ポンプ室４１は開口穴３１を介して外部に連通する。中間板５３は引っ張り方向の残留応力を有する。 （もっと読む）

【課題】空気貯蔵部に圧縮空気を充填し、空気貯蔵部から空気を排気できる小型低背な構造をダストフィルタを用いずに構成し、吸引性能の低下を防いだ流体制御装置を提供する。
【解決手段】流体制御装置１００は、圧電ポンプ１０１、２０１と逆止弁１０２と排気弁１０３とを備え、カフ１０９に接続される。圧電ポンプ１０１、２０１がポンピング動作を行うと、外気が吸排気口９７Ａから通気溝９７へ吸引され、空気が流入口９７Ｂから圧電ポンプ１０１、圧電ポンプ２０１へと流入する。圧電ポンプ２０１の吐出孔５５から吐出された空気は、逆止弁１０２を介してカフ１０９へ送出され、カフ１０９内の空気圧を高める。その後、圧電ポンプ１０１、２０１がポンピング動作を停止すると、カフ１０９の空気は、第３連通孔３２及び第５連通孔３４を経由して流出口９７Ｃから通気溝９７へ流出し、吸排気口９７Ａから装置本体外部へ急速に排気される。 （もっと読む）

【課題】パルス流噴射の停止時における流体の流出を、簡単な構成で防止する。
【解決手段】噴射対象に向けて流体噴射開口部９３から流体を噴射する流体噴射装置１であって、流体噴射開口部９３と連通する出口流路８２を有する流体室８０と、流体室８０に供給された流体を加減圧して、出口流路８２への脈動流を発生する脈動発生部２０とを備え、流体噴射開口部９３は、出口流路８２側の入口開口端９３ａと、入口開口端９３ａとは噴射対象側の出口開口端９３ｂとを備え、入口開口端９３ａの開口面積より出口開口端９３ｂの開口面積が大きく、前記吸引管の内側に前記出口流路を形成する、流体噴射装置１。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を用いてより強い流体噴射を行うこと。
【解決手段】伸長方向と交差する交差方向に並ぶ複数の圧電素子と、前記交差方向に噴射
口を有するノズルと前記交差方向を長手方向とし前記ノズルと連通する圧力室であって、
前記複数の圧電素子の端部と対向する圧力室と、前記ノズルから離れた圧電素子から前記
ノズルに近い圧電素子へ向かって前記複数の圧電素子に電圧を印加して順次伸長させる制
御部と、を備える流体噴射装置。 （もっと読む）

【課題】効率的に流体を流動可能なポンプを実現する。
【解決手段】ポンプ１０は、圧電素子４０及びダイアフラム５０からなる容積変更手段の駆動により容積が変更可能な流体室６０と、流体室６０に流体を流入させる入口流路３２と、流体室６０から流体を流出させる出口流路３４と、流体室６０と入口流路３２との間に設けられる逆止弁７０と、入口流路３２に設けられる弾性壁３５と、を有し、容積変更手段の駆動周波数ｆａと、弾性壁３５の振動周波数ｆｂとが、ｆａ＝ｆｂである。このような構成のポンプ１０は、流体を効率に流動させることができる。 （もっと読む）

【課題】強いパルス流が噴射できる流体噴射装置を提供する。
【解決手段】流体噴射装置は、容積が変更可能な流体室２４と、流体室２４に連通する入口流路５６及び出口流路２６と、出口流路２６に連通された流体噴射開口部５２と、入口流路５６に連通され、入口流路５６に流体を供給する流体供給部１２と、入口流路５６に配置され、入口流路５６内の流体を沸騰させる流体沸騰部５８と、を有する。 （もっと読む）

【課題】噴射する流体に触れる部品を減らし、再利用する場合の洗浄の煩雑さを解消し、廃却する場合は廃却する部品コストを削減する構造の流体噴射装置を提供する。
【解決手段】流体噴射装置は、圧力を発生させる圧力発生部２０と、圧力伝播媒体２０８を介して圧力を伝播させる圧力伝播管２０３と、圧力伝播管２０３で伝播された圧力によって容積が変更可能な流体室２０４と、流体室２０４に流体を供給する流体供給部２０５と、流体室２０４に連通し、流体を噴射する噴射管２０６と、圧力伝播管２０３と流体室２０４との間を区画し、圧力伝播管２０３で伝播された圧力に応じて流体室２０４の容積を変更させる隔壁２１０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】薄型の圧電マイクロブロアの特徴を利用し、薄型の筐体を持つ電子機器に適用しやすい放熱装置を提案する。
【解決手段】電子機器の筐体の一側面に空気流入口を形成し、この空気流入口に一端が接続されたダクトを、筐体の中間部で終点となるように筐体の主面方向に延びるように設け、ダクトの壁面に発熱素子を熱的に接続する。ダクトの終点近傍に圧電マイクロブロアをその主面が筐体の主面と実質的に平行になるように固定し、マイクロブロアの吸込み口をダクト内部と接続し、吐出口をダクト外部に開放する。ダクトは筐体に比べて熱伝導性のよい材料で形成され、ダクトに伝導された発熱素子の熱を、ダクトの中を流れる空気流によって冷却する。 （もっと読む）

【課題】効率よくスムーズに流体を排出することができる流体噴射装置を実現する。
【解決手段】流体噴射装置１は、圧力室４０と、周方向に分割され、回転方向に配列される内部電極１１ａ〜１１fを有する円柱形状の積層型圧電素子１０と、積層型圧電素子１０の圧力室４０側の端面に密着固定されるダイアフラム３０と、内部電極１１ａの一つを始点内部電極とし、始点内部電極の回転方向の一つ前に配設される内部電極１１ｆを終点内部電極としたとき、終点内部電極と対向する位置で圧力室４０を開口する出口孔６０と、を有し、積層型圧電素子１０を、始点内部電極から終点内部電極に向かって内部電極の形成領域の一つ一つを独立して時間差を有して順々に変位させ、圧力室４０の容積をダイアフラム３０により始点内部電極の形成領域から終点内部電極の形成領域に向かって順々に縮小していき、圧力室４０内の圧力を高め、出口孔６０から流体を送出する。 （もっと読む）

【課題】逆止弁を使用せずに流体を輸送でき、構造が簡単で、所望の流量を得ることが可能な圧電マイクロポンプを提供する。
【解決手段】ダイヤフラム２０を間にしてポンプ室１５の外周部と対向するポンプ本体１０の部位に、ダイヤフラムと接する第１壁部１３ｂが形成され、この壁部と接するダイヤフラムの部位に第１開口部２１ａが設けられ、ポンプ本体の側壁であって、ダイヤフラムのポンプ室側の側面と接する第２壁部１２ｂに第２開口部１２ｃが設けられる。圧電素子の振動に伴うダイヤフラムの屈曲変位によって、第１開口部及び第２開口部を交互に開き、一方の開口部から流体を吸い込み、他方の開口部から流体を排出する。特に、ダイヤフラムを３次共振モードで駆動すると、最大流量が得られる。 （もっと読む）

【課題】効率よくスムーズに流体を排出することができる流体噴射装置を実現する。
【解決手段】流体噴射装置１は、圧力室４０と、径方向に二以上の任意の整数に分割された内部電極を有する円柱形状の積層型圧電素子１０と、積層型圧電素子１０の圧力室４０側に密着固定されるダイアフラム３０と、最も内側にある内部電極１１ｃと対向する位置に前記圧力室４０を開口する出口孔６０と、を有し、積層型圧電素子１０を、内部電極の形成領域の一つ一つを独立して外側から内側方向に向かって時間差を有して順々に変位させ、圧力室４０の容積をダイアフラム３０により外側から内側に向かって順々に縮小していき、出口孔６０から流体を送出し、流体噴射開口部からパルス状に高速噴射する。 （もっと読む）

【課題】水の供給が困難な状況下でも切除に用いる液体噴射装置を適切に用いることがで
きるようにすること。
【解決手段】液体を貯留する貯留部と、前記液体を噴射する液体噴射装置と、前記液体噴
射装置に電力を供給する燃料電池であって、前記電力を発生させる際に生ずる水を前記貯
留部に供給する燃料電池と、を備える液体噴射システム。 （もっと読む）