【課題】本発明は、陽極接合時に可動部がガラス基板へ張り付くことを防止し、製造コストを抑制し、且つ接合不良を防止するＭＥＭＳデバイスの製造方法及びＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】本発明の一実施の形態に係るＭＥＭＳデバイスの製造方法は、半導体基板に固定部と前記固定部の内側あるいは外側に位置する可動部を形成し、ガラス基板の一方の面上に前記半導体基板と対向させたときに前記可動部の周囲に位置する領域に導電部材を配置し、前記ガラス基板の他方の面を前記可動部と対向させた状態で前記半導体基板と前記導電部材の間に電圧を印加して前記半導体基板と前記ガラス基板の陽極接合を行う、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電部の組成がより安定した圧電素子およびその製造方法ならびに前記圧電素子を用いたポンプを提供する。
【解決手段】本発明の圧電素子は、圧電材料を備える圧電部６と、圧電部６の主面上に形成された下部電極５と、下部電極５上に形成されたバリア層４と、バリア層４上に形成された酸化層３とを備え、バリア層４は、鉛系ペロブスカイト型化合物に含まれる元素のうち、チタンと酸素を除く元素の少なくとも１つがドープされた酸化チタンからなる。 （もっと読む）

連続して、可撓性ダイヤフラム（２）、ポンプ室（４）及び遮蔽板（３）を含んでなるスタックの形のマイクロポンプであって、該ポンプ室（４）は、例えば可撓性ダイヤフラム（２）を介して外部と連通し；該ダイヤフラム（２）は、マイクロポンプの外側に配置されるアクチュエータ（５）に更に固定されており、上記ダイアフラム（２）は、その主軸に沿って剛性で、そしてその主軸に対して垂直方向には可撓性であるストリップ（６）の形の少なくとも１つのエレメントによって、アクチュエータ（５）に固定されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】家庭電化製品の圧電ポンプが、自動呼び水作用及び気泡の排除の問題に遭遇することなく、ポンプによって通常もたらされる流量に対して低減された流量で作動できるようにする。
【解決手段】圧電アクチュエーター(１１１Ａ)の作動の下に変位可能な可動壁(１１１)が装備されたポンプ室(１１０)を備える家庭電化製品の圧電ポンプ(１００)の制御方法は、ポンプ(１００)の起動段階の間には、複数回の交番の間に、可動壁(１１１)によるポンプ室(１１０)の最大の掃出容積のための、圧電アクチュエーター(１１１Ａ)の実質的な変形をもたらす電圧Ｕの交流供給信号が、圧電アクチュエーター(１１１Ａ)に供給され、さらに、ポンプの起動段階は、ポンプ(１００)によって提供される平均流量が起動段階において提供された流量よりも低下されるように供給信号が変調される通常作動段階に引き継がれる。 （もっと読む）

本発明は、互いに取り付けられる第１の基板（１０）及び第２の基板（２０）を備えている少なくとも一つの変形可能な膜マイクロポンプの製造方法に関連しており、前記第１の基板（１０）は少なくとも一つのキャビティ（１２−２）を備えており、及び前記第２の基板（２０）は前記キャビティ（１２−２）に面して配置された少なくとも一つの変形可能な膜（２２−２）を備えている。前記方法は、前記第１の基板（１０）内に前記キャビティ（１２−２）を作るステップと、前記第１の基板（１０）と前記第２の基板（２０）とを取り付けるステップと、前記第２の基板（２０）内に前記変形可能な膜（２２−２）を作るステップと、を備えている。
（もっと読む）

【課題】ポンプを駆動するために供給する電圧を流体の移送量に高い効率で変換できる圧電ポンプを提供する。
【解決手段】流体の流通方向に沿って配設された２つ以上の圧電素子とその圧電素子を支持する支持部材とを備える構造体と、上記構造体を挟む第１及び第２の基板とを含有し、第２の基板と上記構造体とによって囲まれたポンプ室と、そのポンプ室と連通する第１及び第２の開口部とを有し、かつ、各々の圧電素子の間で流体の流路が絞られている圧電ポンプ。 （もっと読む）

【課題】パルス流噴射と連続流噴射とを切替え可能な流体噴射装置の制御方法を実現する。
【解決手段】流体噴射装置の制御方法は、流体室と前記流体室の容積を変更する容積変更手段とを有し、流体噴射開口部から流体をパルス流または連続流として噴射させる脈流発生部と、前記脈流発生部に所定の圧力で流体を供給する流体供給手段と、パルス流噴射と連続流噴射とを選択的に切り替える噴射指令切替え手段と、が備えられる流体噴射装置の制御方法であって、前記容積変更手段を駆動し流体を脈流に変換してパルス状に噴射させるパルス流噴射と、前記容積変更手段を停止し、パルス流噴射の場合よりも前記流体供給手段からの流体供給圧力を高めて流体を連続流として噴射させる連続流噴射と、に前記噴射指令切替え手段により選択的に切替える。 （もっと読む）

【課題】流体の移送効率が高く、しかも流体の漏出を防止できる圧電ポンプを歩留まりよく作製できる圧電ポンプの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、圧電素子を含む構造体とその構造体に積層した第１の基板とを備える複合体と、第２の基板とを準備する第１の工程と、構造体が第２の基板に対向するように複合体と第２の基板とを接合してポンプ室を設ける第２の工程とを含有し、第２の工程において、ポンプ室の外周に沿って複合体及び／又は第２の基板に設けた溝内に充填した接着性樹脂により、複合体と第２の基板とを接合する圧電ポンプの製造方法。 （もっと読む）

【課題】高負荷圧力に対応し吐出流量が多い、入口流路の合成イナータンス値が出口流路の合成イナータンス値よりも小さい液体用ポンプにおける、ポンプ室内部に気泡が入った場合にポンプ性能の劣化や動作が不可能になるという課題を解決する。
【解決手段】ポンプ室１２５を略回転体形状とするとともに旋回流発生構造を備え、前記ポンプ室１２５の略回転体形状の回転軸に出口流路を配した。 （もっと読む）

【課題】高負荷圧力に対応し吐出流量が多い、入口流路の合成イナータンス値が出口流路の合成イナータンス値よりも小さい液体用ポンプにおける、ポンプ室内部に気泡が入った場合にポンプ性能の劣化や動作が不可能になるという課題を解決する。
【解決手段】ポンプ室１２５を略回転体形状とするとともに旋回流発生構造を備え、前記ポンプ室１２５の略回転体形状の回転軸に出口流路を配した。 （もっと読む）

【課題】高負荷圧力に対応し吐出流量が多い、入口流路の合成イナータンス値が出口流路の合成イナータンス値よりも小さい液体用ポンプにおける、ポンプ室内部に気泡が入った場合にポンプ性能の劣化や動作が不可能になるという課題を解決する。
【解決手段】ポンプ室１２５を略回転体形状とするとともに旋回流発生構造を備え、前記ポンプ室１２５の略回転体形状の回転軸に出口流路を配した。 （もっと読む）

【課題】接続流路管を長く、または剛性が低い材料にしても強いパルス流を噴射できる流体噴射方法を実現する。
【解決手段】流体噴射装置１の流体噴射方法は、第１脈流発生部２０と第２脈流発生部３０と、第１脈流発生部２０に流体を供給するポンプ１０と、第１脈流発生部２０と第２脈流発生部３０とを接続する接続流路管４とが備えられ、第１脈流発生部２０と第２脈流発生部３０それぞれに備えられる圧電素子２１，３１に入力される駆動信号の周期が同じであって、第２脈流発生部３０の駆動信号を第１脈流発生部２０の駆動信号よりも、第１脈流発生部２０と第２脈流発生部３０との間の距離を圧力波が伝播するのに要する時間だけ位相を遅延させるよう制御する。このことにより、接続流路管を長く、または剛性が低い材料にしても強いパルス流を噴射できる。 （もっと読む）

【課題】高負荷圧力に対応し吐出流量が多い、入口流路の合成イナータンス値が出口流路の合成イナータンス値よりも小さい液体用ポンプにおける、ポンプ室内部に気泡が入った場合にポンプ性能の劣化や動作が不可能になるという課題を解決する。
【解決手段】ポンプ室１２５を略回転体形状とするとともに旋回流発生構造を備え、前記ポンプ室１２５の略回転体形状の回転軸に出口流路を配した。 （もっと読む）

【課題】 電流増幅回路のトランジスタにおいて消費される電力を抑え、発熱を低減する。
【解決手段】 充電、または、放電することにより動作して、液体を噴出する圧電素子と、前記圧電素子に電流を供給するインダクタと、を備え、前記圧電素子を充電する前に、あらかじめインダクタに電流を流すことでエネルギーを蓄えておき、前記圧電素子を充電する際に、エネルギーを蓄えたインダクタから電流を供給する。 （もっと読む）

【課題】 インダクタから圧電素子に充放電する際に、インダクタ電流が所要の電流値よりも大きくなりすぎたり、小さくなりすぎたりするのを防止する。
【解決手段】 充電、または、放電することで動作して、液体を噴出する圧電素子と、エネルギーを蓄えることで、前記圧電素子に充電、または、放電を行うインダクタと、前記インダクタの一端と第１の電源との間、及び、前記インダクタの一端と前記第１の電源よりも低い電位を有する第２の電源との間にそれぞれ設けられたスイッチと、前記インダクタの他端と前記第１の電源との間、及び、前記インダクタの他端と前記第２の電源との間にそれぞれ設けられたスイッチと、前記各スイッチのＯＮ／ＯＦＦを制御する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】起動直後から安定した流体噴射ができる流体噴射装置を提供する。
【解決手段】流体噴射装置１は、流体室８０の容積を圧電素子３０及びダイアフラム４０により変化させて流体噴射開口部９６から液体をパルス状に噴射する脈流発生部２０と、脈流発生部２０に液体を供給するポンプ１０と、脈流発生部２０と前記ポンプ１０とを連通する柔軟性を有するチューブ４と、脈流発生部２０と前記ポンプ１０の駆動制御を行う駆動制御部１５と、が備えられ、脈流発生部２０を起動させるとほぼ同時にポンプ１０から定常流量に対して増加流量を増加流量指定時間の範囲内に供給し、増加流量指定時間経過後、定常流量に復帰させる。このことにより、脈流発生部２０内の流路抵抗の上昇に起因するチューブ４の膨張がある場合においても、脈流発生部２０への流体供給量の減少を抑制し、脈流発生部２０の起動直後から液体を安定してパルス状に高速噴射させることができる。 （もっと読む）

【課題】起動直後から安定した流体噴射ができる流体噴射装置を提供する。
【解決手段】流体噴射装置１は、流体室８０の容積を圧電素子３０及びダイアフラム４０により変化させて流体噴射開口部９６から液体をパルス状に噴射する脈流発生部２０と、脈流発生部２０に液体を供給するポンプ１０と、脈流発生部２０と前記ポンプ１０とを連通する柔軟性を有するチューブ４と、脈流発生部２０と前記ポンプ１０の駆動制御を行う駆動制御部１５と、が備えられ、脈流発生部２０を起動させるとほぼ同時にポンプ１０から定常流量に対して増加流量を増加流量指定時間の範囲内に供給し、増加流量指定時間経過後、定常流量に復帰させる。このことにより、脈流発生部２０内の流路抵抗の上昇に起因するチューブ４の膨張がある場合においても、脈流発生部２０への流体供給量の減少を抑制し、脈流発生部２０の起動直後から液体を安定してパルス状に高速噴射させることができる。 （もっと読む）

【課題】切除力と切除速度を独立して調整可能な流体噴射方法を実現する。
【解決手段】流体噴射装置１に係る流体噴射方法は、圧力室８０の容積を圧電素子３０及びダイアフラム４０により変化させて流体噴射開口部９６から流体をパルス状に噴射する脈流発生部２０と、脈流発生部２０に流体を供給するポンプ１０と、が備えられ、ポンプ１０から供給される流体供給流量と、圧力室８０の容積変化の周波数（圧電素子３０の駆動周波数に相当）と、を比例の関係で変化させる。圧力室８０の容積変化量（排除体積）は切除力を変化させ、排除体積と駆動周波数の積は切除速度を変化させることから、切除力と切除速度を独立して調整できる。 （もっと読む）

【課題】ブロア室や流路の設計を変更することなく、流量及び／又は圧力特性を変更することが可能なマイクロブロアを提供する。
【解決手段】ブロア本体１に第１壁部２ａと第２壁部３ｂとを設け、振動板５と対向する壁部の位置に第１，第２開口部２ｂ，３ｃを形成する。両壁部の間に、外部から流体を導入するための流入通路７、７ａを形成する。振動板を振動させると、第１ブロア室６から連続的に吐出される流体によって流入空間７ａ内の流体が一緒に第２開口部３ｃから吐出される。振動板５を間にして第１ブロア室６と逆側に第２ブロア室８を形成する第３壁部９を設け、第３壁部に第３開口部９ａを形成する。振動板の振動エネルギーにより第３開口部９ａから流体を吸い込み、流入通路７へ供給することで、流量及び／又は圧力特性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】薄く小型であっても流体の移送量を大きくすることが可能な圧電ポンプ及びその駆動方法を提供する。
【解決手段】圧電素子と前記圧電素子を支持する支持部材とを備える構造体と、前記構造体に積層した基板とを含有し、前記基板と前記構造体とによって囲まれたポンプ室を有する圧電ポンプであって、前記圧電素子は、前記圧電ポンプの作動時にバイアス電圧が常時印加される第１の電極と駆動電圧が間歇的に印加される第２の電極とからなる電極対と、その電極対に挟まれた圧電体とを含む圧電ポンプ。 （もっと読む）