【課題】改善された真空データを有するホルベック・ポンプ段を提供することである。
【解決手段】転がり軸受４により回転可能に支持され、且つハブ８およびハブに固定されたスリーブ１０を有する、ロータ２であって、スリーブ１０が第１の端部１２およびハブとは反対側のフリーな第２の端部１４をもつ、該ロータ２と、およびスリーブに対して同心に、隙間幅１００を有する隙間３０を形成して、スリーブを包囲するように配置されているステータ２０と、を備えた真空ポンプに関するものである。真空データを改善するために、隙間幅が転がり軸受に向かって低減することが提案される。 （もっと読む）

【課題】構造が複雑になるのを抑えつつ制震性能の向上を図ることができる真空ポンプの提供。
【解決手段】本発明は、排気機能部が形成されたロータをボールベアリング８と永久磁石式磁気軸受とで支持し、ロータをモータにより高速回転させて真空排気する真空ポンプに適用される。そして、ボールベアリング８の外輪８１を軸方向から挟持し、該外輪８１を径方向に移動可能に保持する保持機構４２，４４，４５と、外輪８１の外周側に設けられた弾性部材４６と、を備えている。弾性部材４６は外輪８１の外周に接触または近接するように設けられ、近接して設けた場合には、弾性部材４６と外輪８１との隙間４７にオイルやグリスが注入される。弾性部材４６に外輪８１が当接して変形することにより振動が抑制され、さらに隙間４７にオイルやグリスが注入することで制震効果の更なる向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】不釣合い変化をコスト的に有利に修正可能な真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、釣合い手段を含むロータ２０と、ロータを回転させる駆動装置３８、４０と、ロータを支持するための軸受４４、５０と、ロータの釣合い状態を測定し、且つ、適合されている評価ユニット１３４と協働して釣合い状態の変化を検出するためのセンサ手段とを備え、ロータ位置を決定するために、ロータ位置検出ユニット１３２と協働する釣合い状態の変化に対処するために釣合い手段の調整が可能なように、ロータ位置に釣合い状態を割り当てるための割当て手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ロータ軸の長さが長い真空ポンプ、特にはターボ分子ポンプ又は複数入口式ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプ、特にはターボ分子ポンプ又は複数入口式ポンプが、少なくとも１つのロータ手段14を支持するロータ軸12を備えている。ロータ軸12は、吐出側軸受組立体56により吐出側で支持されて、吸込み側軸受組立体30により吸込み側で支持されている。吸込み側軸受組立体30は、電磁軸受36を含んでいる。吐出側軸受組立体56は、ロータ軸12の長さを長くできるように玉軸受58を含んでいる。玉軸受58は、好ましくは電磁軸受36によって付勢されている。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプに関しており、真空ポンプは軸(12)に支持されたポンプ要素(14)を備えている。軸(12)は、第１の軸受組立体(24)と第２の軸受組立体(26)とによりポンプハウジング(10)内に支持されている。動作中に生じる軸(12)とポンプハウジング(10)との熱膨張の差を補償するために、第１の軸受組立体(24)は、軸方向の移動を少なくとも部分的に補償するための補償要素(32)を有する。
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【課題】簡単かつ安価な構成により磁気軸受システムを構成し、水蒸気排気速度の増大に対応可能なターボ分子ポンプを提供する。
【解決手段】高温超伝導磁気軸受をポンプロータの軸端に設け、クライオトラップを用いた冷凍機で高温超伝導磁気軸受を冷却するよう構成したので、被支持体のパラメータの変化（例えば、回転翼の重量増大）に応じて、排気速度、支持能力、および減衰能を増大させ、高温超伝導磁気軸受部の付加コストも極小にすることができる。 （もっと読む）

【課題】ロータ中心の軸孔に回転軸を挿通させ、該回転軸を玉軸受で軸支すると共に前記ロータと回転軸とをボルト又はナット等を用いて締め付けて固定するようにした分子ポンプのロータ取付け構造において、前記ナットを強く締め付けることによって前記玉軸受の内輪が変形するのを防止する。
【解決手段】小径の孔３ａ１と大径の孔３ａ２とからなる段付きの中心透孔３ａを有するブッシュ３をロータ１の段付き孔１ｃの大径の孔１ｃ２に緊合させ、回転軸２の先端部に雄ねじ部２ａを形成し、該雄ねじ分２ａに続いて前記小径の孔３ａ１に嵌合する第１軸部２ｂ、前記大径の孔３ａ２に嵌合する第２軸部２ｃ及び該第２軸部２ｃよりも大径の第３軸部２ｄを順次前記回転軸２に連設して、前記第１軸部２ｂと第２軸部２ｃとの段差部２ｂｃに、ブッシュ３の小径の孔３ａ１と大径の孔３ａ２との段差部を当接させてナット４によりロータ１と回転軸２とを締め付けて固定した。 （もっと読む）

【課題】大気圧から１０−４ｍｂａｒ以下の高真空に至るまでの全ての圧力範囲をカバーするコンパクト且つ簡単な構造を有している真空ポンプを提供する。
【解決手段】軸と、第１および第２のラジアル軸受と、およびポンプ装置とを備えた真空ポンプであって、前記ラジアル軸受が動的ガス軸受を含む。前記ポンプ装置が前記ガス軸受間に配置され、且つ２つのポンプ・セクションを有し、前記２つのポンプ・セクションはそれぞれ、前記ガス軸受のいずれかの方向にガスを供給するように形成されている。 （もっと読む）

【解決手段】真空ポンプ、特にはターボ分子ポンプ又は複数入口式ポンプが、少なくとも１つのロータ手段(14)を支持するロータ軸(12)を備えている。ロータ軸(12)は、軸受手段(56)により圧力側に取り付けられて、軸受手段(30)により吸込み側に取り付けられている。本発明によれば、吸込み側の軸受手段(30)は、高真空領域(22)に配置されて、電磁軸受を有している。好ましくは、電磁軸受のコイル(32)がハウジング要素(40)の凹部(38)に配置されている。凹部(38)は、特には管状の閉鎖要素(42)により圧力封止されている。
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【解決手段】特にはターボ分子ポンプのためのロータ軸として使用されるような高速回転軸のための軸配置が、互いに接続された２つの個別の軸ジャーナル(10)を備えている。転がり軸受(12)が、２つの軸ジャーナル(10)に夫々配置されている。軸を、少なくとも２つの部分、すなわち２つの軸ジャーナル(10)に分離することにより、軸ジャーナル(10)の表面(20)に、転がり軸受(12)の転動体(18)のための軸受面(22)を直接設けることが可能になる。
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【解決手段】本発明は、複数のポンプ段(18,24,26)を構成すべくポンプハウジング(10)内の共通の軸(12)に配置された複数のロータ要素(14,16) を備えた多段真空ポンプに関する。軸は電動機(40)によって駆動される。機械的に好ましい軸受配置が、軸受要素(42,44) の簡易な構成を用いて転がり軸受として実施されるように、内側軸受要素(42)が２つのロータ要素(14,16) 間に配置されている。これは特に、２つのロータ要素(14,16) への分割により可能になる。
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【課題】タッチダウン時の回転軸の撓みを低減することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】磁気軸受３１〜３３により支持される回転体を有する真空ポンプにおいて、ロータ２０の回転軸方向に沿った３箇所にタッチダウン軸受２６〜２８を設けた。磁気軸受３１〜３３による支持が停止された時や磁気軸受３１〜３３による正常な支持が不能な時などのタッチダウン時には、シャフト７はタッチダウン軸受２６〜２８により３箇所で支持されるため、タッチダウン時のシャフト７の撓みが従来よりも低く抑えられる。 （もっと読む）

【課題】寿命が長くて、回転速度が高い軸であっても、軸を所定回数確実に支持することができるタッチダウン軸受装置およびタッチダウン軸受装置の寿命が長いターボ分子ポンプを提供することにある。
【解決手段】タッチダウン軸受装置１０を、ハウジング２に固定された外輪３１と、外輪３１に径方向に対向する内輪３３と、径方向において外輪３１と内輪３３との間に配置された中間輪３２と、外輪３１と中間輪３２との間に配置された第１の玉３４と、中間輪３２と内輪３３との間に配置された第２の玉３５とで構成する。タッチダウン軸受装置１０は、磁気軸受が正常に動作しているときには、回転軸３と内輪３３とが非接触な状態である一方、磁気軸受が正常に動作していないときには、回転軸３を、内輪３３で支持することによって、回転軸３をハウジング２に対して支持するようになっている。 （もっと読む）

【課題】寿命が長くて、回転速度が高い軸であっても、軸を所定回数確実に支持することができるタッチダウン軸受装置およびタッチダウン軸受装置の寿命が長いターボ分子ポンプを提供することにある。
【解決手段】
タッチダウン軸受装置１０を、回転軸３に外嵌されて固定された第１内輪３１と、第１内輪３１に径方向に対向する第１外輪３２と、第１内輪３１と第１外輪３２との間に配置された第１の玉３３と、第１外輪３２に径方向に対向する第２内輪５１と、ハウジング２の内周面に内嵌されて固定された第２外輪５２と、第２内輪５１と第２外輪５２との間に配置された第２の玉５３とで構成する。磁気軸受が正常に動作しているときには、第１外輪３２と第２内輪５１とが非接触な状態である一方、磁気軸受が正常に動作していないときには、第１外輪３２を第２内輪５１で支持することによって、回転軸３をハウジング２に対して支持するようになっている。 （もっと読む）

【課題】非磁性体からなる転動体を備えた保護ベアリングにおいて、磁化された内輪の連れ回りを抑制すること。
【解決手段】内輪41及び外輪42は、磁性体の部材により形成され、転動体43は、非磁性体により形成されている。磁気誘導体44は、磁性材により形成された部材であり、磁化された内輪の磁気を、内輪と外輪を通る閉磁路へ誘導する磁気誘導機能を備える。磁気誘導部44bは、軸受固定部44aの内周縁部から、軸受固定部の延長方向及び軸方向に張り出した部位から構成され、より磁気抵抗が小さくなるように外輪と接触されている。保護ベアリングの内輪と磁気誘導部との隙間の間隔βは、内輪の内周面とシャフト7の外周壁面との隙間の間隔αと比較して十分に小さくなるように構成されている。このように、間隔β＜間隔αとなるように磁気誘導体を設けることにより、より多くの磁束を拾い、内輪と外輪を通る閉磁路へ誘導することができる。 （もっと読む）

真空ポンプ（５０）が、ポンプ排出装置と、ポンプ排出装置を駆動するシャフト（１０）と、シャフト（１０）を回転させるモータ（６０）と、シャフト（１０）を回転可能に支持する支承装置とを有し、支承装置は、シャフト（１０）の第１の部分を支持する転がり軸受（１２）と、スラスト軸受（３０）とを有する。スラスト軸受（３０）は、複数の転がり要素（３６）が転がり軸受（１２）の外レース（１８）及びスラスト軸受（３０）のレース（３４）と支承接触状態に維持されるようこれら転がり要素（３６）を収容する。このようにして、転がり軸受（１２）の半径方向運動を許容しながら転がり軸受（１２）の軸方向運動に抵抗することができる。
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【課題】 ポンプ組み立て時にベアリングの内輪が磁化されることがなく、ポンプ運転時における内輪の連れ回りを防止することができる磁気軸受式回転真空ポンプの提供。
【解決手段】 回転翼２１が形成されたロータ４は、ＤＣブラシレスモータのモータロータ３が組み込まれたシャフト２に取り付けられている。ロータ４およびシャフト２から成る回転体は、磁気軸受を構成する電磁石５１，５２，５３により非接触支持される。シャフト２は、ステータ５に設けられた非常用メカニカルベアリング２７，２８に貫挿されるように装着される。メカニカルベアリング２７の内輪２７ｂおよび転動体２７ａは非磁性材料または軟磁性材料で形成されている。その結果、ポンプ組み立て時にモータロータ３の磁力の影響で内輪２７ｂが磁化されることがなく、ポンプ運転時にメカニカルベアリング２７の内輪２７ｂに連れ回りが発生するのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 危急軸受によるローターの良好な支持を可能にする真空ポンプの軸受構造及びこれを用いた真空ポンプを提供する。
【解決手段】 ターボ分子ポンプ（真空ポンプ）を、ローターと、ローターを収納するハウジング３と、ローターをハウジング３に対して回転可能に支持する磁気軸受と、ハウジング３に保持されて磁気軸受の機能停止時にローターをハウジング３に対して回転可能に支持する危急軸受５と、ローターを軸線回りに回転駆動する電動モータ等の駆動装置とを有する構成とする。ハウジング３において危急軸受５を受ける部位の内周面３ｂに、危急軸受５の外輪１２を収納する凹部３ｃを設け、凹部３ｃ内面と外輪１２の外周面との間に耐熱性断熱材１６を設ける。耐熱性断熱材１６を、外輪１２の下面と凹部３ｃ内面との間に配置されるＳＵＳ製のシートによって構成する。 （もっと読む）

【課題】 従来のステンレス鋼や軸受鋼製の玉を用いる場合に比して耐久性に優れ、しかもセラミックス製の玉を用いる場合のような非タッチダウン時の連れ回りや、下地処理の困難性に伴う固体潤滑剤の密着性の悪さ等を克服することのできるタッチダウン軸受を提供する。
【解決手段】 玉３を高速度工具鋼製とすることにより、内輪１や外輪２用いられるステンレス鋼や軸受鋼に比してタッチダウン時に予想される温度（２００〜３００℃）下における硬さを高くし、玉３の発熱による早期損傷を防止し、ひいては軸受の耐久性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 大気圧から排気する真空ポンプにおいて、構成を複雑化することなく軸受に加わるスラスト荷重を軽減させること。
【解決手段】 作用する圧力の差によりロータ軸４に加わるスラスト荷重を補助するための荷重補助構成１２を設ける。荷重補助構成１２は、ロータ軸４に対して、このロータ軸４と同心的に固着された板状部材１３と、ヨーク１６に固着された環状永久磁石１４、１５を備え、これら２つの環状永久磁石１４、１５によって、磁界が形成されている。そして、環状永久磁石１４、１５によって形成された磁界に作用する磁力によって板状部材１３が環状永久磁石１４、１５の方向へ吸引されるように構成されている。このように、荷重補助構成１２による吸引力をスラスト荷重を打ち消す向きにさせることにより、スラスト軸受１１に加わる荷重を低減させることができる。
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