【課題】長いストーク、高荷重に耐えられ精度保証期間が半永久的に確保できる非接触式シリンダ装置を提供。
【解決手段】ベース１１の略中央部には貫通孔１５ａを設けたシリンダロッド１５の一端部が該ベース１１に装着されたラジアルエア軸受１６により支持されている。シリンダロッド１５の他端部はシリンダチューブ２０に嵌挿される大径部１７の外周面にラジアルエア軸受１８が装着され、該ラジアルエア軸受１８はシリンダチューブ２０の内周面に係合する。シリンダロッド１５の貫通孔１５ａにはワイヤ２３が挿通され、一端部が大径部１７、他端部が該シリンダロッド１５の他端部に係合する継手部材２８に係着され、該継手部材２８が上下移動テーブル４３に固着されている。 （もっと読む）

エレベータシステムにおいて使用されるガイド装置（２６）が、回転速度に依存して硬度が変化するエレベータガイドローラ（３０）を備える。開示例においては、回転速度に応答してガイドローラ（３０）内の磁性流体の粘性を変化させる。一例の方法は、磁性流体に及ぼす第１の磁界の影響を変え、延いてはその粘性を変化させることを含む。
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【課題】 圧縮空気の流れをスムーズにし、エネルギ損失の低減を図ることで、タービン効率の向上を図る。
【解決手段】 主軸３は軸受部、例えばジャーナル軸受すきまに導入した圧縮空気の静圧により主軸をラジアル方向で非接触支持するジャーナル軸受部４と、スラスト軸受すきまに導入した圧縮空気の静圧により主軸をスラスト方向で非接触支持するスラスト軸受部5a、5bとで回転自在に支持される。主軸３の外周部に設けられた複数の凹部11にタービンノズル12から圧縮空気を吹き付け、主軸に回転動力を与える。ここで、凹部11およびタービンノズル12を複列に配置し、複列の凹部11の中心線を平行とし、各タービンノズル12を、軸方向のノズル間隔が内径側で縮小する方向に凹部の中心線に対して傾斜させて配置しておけば、凹部11内での圧縮空気の流れが単一流れとなり、エネルギ損失を少なくすることができる。 （もっと読む）

鉄含有の母材から成る少なくとも１つの支持部材（２５）、軸受ブシュ（２４）を備えた滑り軸受であって、コーティング材料からなるコーティング（８．２６）がその受け面上に施されており、このコーティングは、融着された層として形成されそしてＦｅＳｎ₂を含む接合領域（９）によって母材と冶金的に接合されおり、そして前記のＦｅＳｎ₂含有接合領域（９）の厚さが最大でも１０μｍであることによって長い耐用年数を達成することができる、滑り軸受け。
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【課題】この種の静圧軸受において、高い支持精度を確保しつつも軸受剛性および負荷容量の向上を低コストに図る。
【解決手段】軸部材３の外周面３ａとの間にラジアル軸受隙間４を形成する軸受部材２のラジアル軸受面７を、非電解めっき加工でマスター１４の外周面１４ａに析出して得られた第一の金属めっき層８の析出開始側の面（内周面）で形成した。 （もっと読む）

【課題】ミル又は分級機のような方法技術的な機械から成る装置であって、クリーンルーム運転、グローブボックス運転、ＳＩＰ運転又はＣＩＰ運転及びこれらの組合せにおけるすべての要求に対応し、製品室と周囲との間に回転貫通部を有していない装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１つのミル又は分級機から成る装置であって、作業室内において回転する作業部分と、軸受装置と、駆動装置と、すべての装置構成部材に共通な外部に向かってシール作用を有するカプセル体とが設けられている形式のものにおいて、すべての装置構成部材に共通の外部に向かってシール作用を有するカプセル体が、回転貫通部を有しておらず、回転する作業部分が磁気軸受スピンドル駆動装置によって支承されかつ駆動される。 （もっと読む）

【課題】被加工物の検出感度を向上することのできる空気軸受スピンドルおよび空気軸受スピンドルの制御方法を提供する。
【解決手段】空気軸受スピンドル１は、中空部分６および１１を有するハウジング９と、中空部分６および１１に回転可能に配置される主軸５と、主軸５に固定され、軸方向の法線を有する主面を有するスラスト板７と、スラスト板７の軸方向の変位に関する情報を検知するセンサ４とを備えている。スラスト板７はハウジング９に対してスラスト空気軸受２１ａおよび２１ｂによって支持されており、かつ主軸５はハウジング９に対してラジアル空気軸受２２によって支持されている。スラスト空気軸受２１ａおよび２１ｂに導入する気体Ａ１の圧力と、ラジアル空気軸受２２に導入する気体Ａ２の圧力とを独立して制御可能であるようにハウジング９が構成されている。 （もっと読む）

【課題】 保護軸受の交換時期を正確に判断できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 磁気軸受装置は、電動モータ9により回転させられる回転体4を電磁石の磁気吸引力によりアキシアル方向およびラジアル方向に非接触支持する制御型磁気軸受5,6,7と、ダッチダウン用の保護軸受と、磁気軸受5,6,7の電磁石および電動モータ9を制御する制御手段2とを備え、制御手段2が、回転体4のタッチダウン回数をカウントして記憶するカウント手段と、記憶されたタッチダウン回数カウント値に基づいて保護軸受が交換時期に達したかどうかを判定する交換時期判定手段とを備えている。カウント手段が、回転体4の回転数が所定回転数以上であって、所定時間内において回転体4の変位が所定の異常検出値以上である割合が所定割合以上であるときに、回転体4がタッチダウンしたと判断する。 （もっと読む）

【課題】 高速回転での使用に有利でしかも耐久性に優れている燃料電池用圧縮機を提供する。
【解決手段】 燃料電池用圧縮機1の回転軸13を支持する軸受装置14は、回転軸13に同心状に設けられて回転軸13を径方向から支持する１対のラジアルフォイル軸受21,22と、回転軸13にアキシアル方向から対向させられて回転軸13をアキシアル方向から支持するアキシアル磁気軸受23とを備えている。制御装置61は、回転軸13の回転速度が所定値以下であった時間を積算して接触累計時間を求め、これにより軸受寿命の判定を行う軸受寿命診断手段80を有している。 （もっと読む）

【課題】ラジアル軸受と回転軸の隙間（軸受隙間）に加圧空気を導入してなるエアーベアリング機構において、ロータシャフト２の高速回転（毎分１６〜３５万回転）時の膨張の影響を軽減し、かつ低速回転（毎分３〜１０万回転）時のエアーベアリング剛性の低下を防止する。
【解決手段】ラジアル軸受３１，４１を円弧状に分割して弾性体をその分割した周方向にできた隙間に挟み込み、ラジアル軸受の外側に配した圧電素子５１，５２，５３，５４に電圧を印加して、前記軸受隙間寸法を電気的に制御する。 （もっと読む）

【課題】 回転体の剛体モードの共振点通過時の触れ回りを低減して、それによる不具合の発生を防止できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 磁気軸受装置は、電動モータ9により回転させられる回転体4を電磁石の磁気吸引力によりラジアル方向に非接触支持する制御型ラジアル磁気軸受6,7と、回転体4のラジアル方向の変位を検出するラジアル変位検出装置と、ラジアル磁気軸受6,7の電磁石および電動モータ9を制御する制御装置2とを備えている。制御装置2は、回転体4の加減速中、回転体4の剛体モード共振点を含む所定の回転数領域において、電動モータ9の電流を減少させる。 （もっと読む）

【課題】超伝導体の位置を、冷却位置から動作位置へ変更することのできる磁気ベアリングを提供する。
【解決手段】本発明は磁気ベアリングに関し、この磁気ベアリングでは、回転シャフト（３）が固定子（１）内に浮遊状態にて磁気的に保持されており、固定子は超伝導体（５）を備え、シャフトは、セグメント化された永久磁石の励磁システム１０に取り付けられており、１または複数のセグメントは相互に対して移動可能である。 （もっと読む）

【課題】プロセスガスと接触し、かつ耐漏洩性の密閉体内に位置されたロータ（１２０）を有する回転マシンに与えられるジャケット付き駆動磁気ベアリング
【解決手段】磁気ステータが、ベアリングのこのステータに取着され、かつ耐漏洩性の密閉体の一部分を構成している耐腐食性の磁性体の第１のジャケット（１５１）により保護されている。また、検出器のステータは、この検出器のステータに取着され、かつ耐漏洩性の密閉体の一部分を構成している耐腐食性の非磁性体の第２のジャケット（１５２）により保護されている。ベアリングのアーマチュア（１２１）と検出器のアーマチュア（１２２）とは、第１のジャケット（１５１）のものと同一の磁性のラミネートで形成されることができる。 （もっと読む）

【課題】油分を許容しない真空環境下で使用される軸受において、高回転数で使用できかつ長寿命な軸受の提供を目的とする。
【解決手段】内輪２および外輪３と、この内輪２および外輪３間に介在する複数の転動体４と、該複数の転動体４と摺接し保持する保持器５とを備えた転がり軸受１であって、上記保持器５表面の少なくとも一箇所以上の面に、二硫化タングステン粉末を含有する被膜を形成してなり、該被膜中に占める二硫化タングステン粉末の配合割合が 70 体積％〜98 体積％である。この転がり軸受は、特にターボ分子ポンプのタッチダウン軸受として用いられる。 （もっと読む）

【課題】回転軸の振れ回り振動を効率的に減衰させることが可能で、かつ製造が容易な気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】気体軸受スピンドル１は、回転軸１０と、回転軸１０の外周面１１Ａの一部を取り囲む円筒状スリーブ貫通穴３３を有するスリーブ３０と、スリーブ３０を取り囲み、ゴム製のＯリング４１、４２を介してスリーブ３０を保持するハウジング２０とを備えている。スリーブ３０は、スリーブ貫通穴３３を有し、外周面の一部がスリーブ３０の外周面を成し、スリーブ貫通穴３３の内周面が回転軸１０の外周面に対向するように構成された非金属焼結体からなる軸受部３１と、スリーブ貫通穴３３の延びる方向における軸受部３１の両側の端部のそれぞれに嵌め込まれ、Ｏリング４１、４２を介してスリーブ３０をハウジング２０に対して保持する金属製の保持リング３２とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 転がり軸受と磁気軸受を併用した磁気軸受装置において、最大荷重が作用した場合でも、安定な制御が可能でコントローラの構成も簡略化でき、電磁石での発熱も小さく抑えることができるものを提供する。
【解決手段】 この磁気軸受装置は転がり軸受１５，１６と磁気軸受（１７）を併用し、転がり軸受１５，１６がラジアル負荷を支持し、磁気軸受（１７）がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持するようにしたものである。磁気軸受を構成する電磁石１７は、主軸１３に垂直かつ同軸に設けられた強磁性体からなるフランジ状のスラスト板１３ａに非接触で対向するように、スピンドルハウジング１４に取付けられる。転がり軸受１５，１６と転がり軸受１５，１６の支持系とで形成される合成バネの剛性値は、電磁石１７の負の剛性値よりも大である関係を有するように設定される。また、電磁石１７ヨーク１７ａ内には永久磁石２０が配置される。 （もっと読む）

【課題】 転がり軸受と磁気軸受を併用した構成で、安定な制御が可能でコントローラの構成も簡略化できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 この磁気軸受装置は、転がり軸受１５，１６と磁気軸受１７を併用し、転がり軸受１５，１６がラジアル負荷を支持し、磁気軸受１７がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持するようにしたものである。磁気軸受１７を構成する電磁石は、主軸１３に垂直かつ同軸に設けられた強磁性体からなるフランジ状のスラスト板１３ａに非接触で対向するように、スピンドルハウジング１４に取付けられる。主軸１３に働くアキシアル方向の力を検出するセンサ１８が設けられ、このセンサ１８の出力に応じて電磁石１７を制御するコントローラ１９が設けられる。転がり軸受１５，１６と転がり軸受１５，１６の支持系とで形成される合成バネの剛性値は、電磁石１７の負の剛性値よりも大である関係を有するように設定される。 （もっと読む）

【課題】 モータが高負荷動作し過大なアキシアル荷重が作用した状態においても、安定な制御が可能でコントローラの構成を簡略化でき、かつ主軸を高速回転させることが可能なモータ一体型の磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 このモータ一体型の磁気軸受装置は、転がり軸受１５，１６と磁気軸受を併用し、転がり軸受１５，１６がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持する。スラスト板１３ａ，１３ｂは軸方向に離れて２つ設けられ、これら２つのスラスト板１３ａ，１３ｂは、片面に電磁石ターゲットが形成され、もう一方の面にはモータロータ２８ａ用の永久磁石２８ａａが配置される。転がり軸受１５，１６に作用するアキシアル方向の力を検出するセンサ１８が設けられ、その出力に応じて、電磁石１７を制御するコントローラ１９が設けられる。 （もっと読む）

【課題】転がり軸受と磁気軸受を併用した構成で、最大荷重が作用した場合でも、安定な制御が可能でコントローラの構成も簡略化できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】この磁気軸受装置は、転がり軸受１５，１６と磁気軸受を併用し、転がり軸受がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持するようにしたものである。転がり軸受と、その支持系とで形成される合成バネの剛性値は、電磁石１７の負の剛性値よりも大である関係を有するように設定される。また、転がり軸受と転がり軸受の支持系とで形成される合成バネの剛性値をＫｂｒｇ、最大負荷をＦｍａｘ、電磁石ギャップをｄ、比例定数をｋとした場合に、電磁石ギャップｄは、ｄ＞ｋ＊Ｆｍａｘ／Ｋｂｒｇで示される条件式を満足するように設定される。 （もっと読む）

【課題】 本発明はモータのシャフトとスリーブとの間に羽根車収納室内の空気を導き、静圧軸受として常時高速回転が可能で、小型でも大風量で高圧の送風ができ、経済的で長寿命である送風機を得るにある。
【解決手段】 空気導入口と排出口が形成された羽根車収納室を有するケース体内に回転可能に取付けられた羽根車を、前記ケース体に固定されたシャフト、このシャフトに回転可能に取付けられ、前記羽根車が固定されたスリーブを備えるモータとからなる送風機において、前記モータのシャフト内に軸心方向に形成された密封の空気通路と、この空気通路と連通してシャフトの外周部へ空気を排出することができる多数個の排出通路と、前記空気通路内へ前記羽根車収納室内の空気を導く空気導入通路とからなる静圧軸受とで送風機を構成している。 （もっと読む）