【課題】エアの圧縮性に起因するエアハンマーの発生を確実に抑制すること。
【解決手段】ハウジング１２に、スピンドル１４が多孔質空気軸受２６〜２９を介して回転自在に支持され、スピンドル１４が電動モータ３８のモータ回転軸４４に連結され、ハウジング１２には、給気口３４から導入したエアを多孔質空気軸受２６〜２９を介して排気口３６から排出するエア通路３０〜３３が形成され、多孔質空気軸受２６、２７は、ラジアル軸受として構成され、多孔質空気軸受２８、２９は、スラスト軸受として構成され、スピンドル１２のフランジ１６、には、軸受隙間を流れるエアや多孔質空気軸受２８、２９を通過したエアを導入して貯留するポケット５０、５１と、ポケット５０、５１に貯留したエアを軸受外部に導くエア排出路５２と、エア排出路５２を通過するエアの流量を調整する絞り５４、５５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】フィードバックゲイン切換時のロータの過大振幅を防止することができる磁気軸受装置の提供。
【解決手段】磁気軸受式ターボ分子ポンプでは、ロータ回転開始から定常回転に達するまでに危険速度（回転数ｎ２）を通過させなければならない。ロータ回転開始から回転数ｎ３までは、回転数ｎ１が危険速度である制御ゲインＧ１で磁気軸受を制御し、回転数がｎ４を越えたならば本来の制御ゲインＧ２で制御する。そして、ゲイン切換区間であるｎ３≦ｎ≦ｎ４の回転数範囲では、回転数の上昇に伴って制御ゲインＧをＧ１からＧ２へと連続的に変化させる。その結果、ゲイン切換時のロータの過大振幅を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】エアの圧縮性に起因するエアハンマーの発生を確実に抑制すること。
【解決手段】ハウジング１２、１３に、スピンドル１４が多孔質空気軸受２６〜２９を介して回転自在に支持され、スピンドル１４が電動モータ３８のモータ回転軸４４に連結され、ハウジング１２、１３には、給気口３４から導入したエアを多孔質空気軸受２６〜２９を介して排気口３６から排出するエア通路３０〜３３が形成され、多孔質空気軸受２６、２７は、ラジアル軸受として構成され、多孔質空気軸受２８、２９は、スラスト軸受として構成され、多孔質空気軸受２８、２９とハウジング１３には、軸受隙間を流れるエアや多孔質空気軸受２８、２９を通過したエアを導入して貯留するポケット５０、５１と、ポケット５０、５１に貯留したエアを軸受外部に導くエア排出路５２、５３と、エア排出路５２、５３を通過するエアの流量を調整する絞り５４、５５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】スラスト荷重に対する転がり軸受の長期耐久性を向上させることができ、コンパクト化，高速回転化に対応でき、かつアキシアル磁気軸受の負荷容量を軽減し、電流あるいは容積を小さくできるモータ一体型の磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】このモータ一体型の磁気軸受装置は、転がり軸受１５，１６と磁気軸受を併用し、転がり軸受１５，１６がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持する。同一の主軸１３に対してモータ２８を配し、前記主軸１３の両端にコンプレッサ６およびタービン７の各翼車６ａ，７ａを取付ける。前記コンプレッサ６およびタービン７の翼車６ａ，７ａの前面と背面の圧力差の差分を補償する手段として、前記いずれかの翼車６の背面に、この翼車の背面よりも大径の円盤状の板を設けて背圧の作用する面積を大きくする。 （もっと読む）

【課題】回転体の磁気軸受の制御システムにおいて、不平衡剛性の予想値が変化しても制御回路の対応が容易であり、又、該不平衡剛性の補償回路の影響を受けずに当該制御系の周波数特性の計測を行なうことができるような磁気軸受システムを提供する。
【解決手段】回転体の磁気軸受システムの制御系において、回転体が磁気軸受部において安定浮上するように制御する第１制御回路の出力と該磁気軸受部における不平衡剛性を打ち消すための第２制御回路の出力を加え合わせて前記磁気軸受部を制御するように形成した。 （もっと読む）

【課題】回転体の磁気軸受装置において、その各電磁石の容量を自由に設計でき、負荷容量を過不足なく設定できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】回転体の磁気軸受において、回転体の並進運動を制御する並進運動制御回路２３と、該回転体の傾斜運動を制御する傾斜運動制御回路２４を具備する磁気軸受制御装置において、ラジアル電位センサ部の信号を入力として、ラジアル電磁石のｘ、ｙ方向の力に作用する不平衡消去回路３６を並列接続した。 （もっと読む）

本発明は、磁気軸受（２）に支承されたシャフト（１）のためのセンサ構造に関するものであり、磁気的にシールドされた領域を形成しながら磁気軸受（２）をシールドする磁気シールドと、磁気シールドされた領域でシャフト（１）に配置された磁気コーディング（１０）と、磁気コーディング（１０）の磁界の少なくとも１つの変化を検出する少なくとも１つの受信器（１１）とを含んでいる。上述したセンサ構造は、本発明によると、シャフト（１）の磁気コーディング（１０）を用いてシャフト（１）の位置をできるだけ磁気軸受（２）の近傍で検出することを可能にする、磁気軸受（２）に支承されたシャフト（１）のためにセンサ構造を提供するという課題を解決する。
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電磁軸受を利用するターボ機械内にて軸及び関係したシールを位置決めする方法である。該方法は、電磁軸受の巻線に電力を印加して、軸の中心が第一の位置にあり、軸は、関係したシールと接触している。電磁軸受に対する電力を調節することにより、ターボ機械の通常の作動中に、軸がその中心合わせした位置にて回転するとき、シールが軸と非接触状態となる位置まで減少する振幅の一連の動きにて軸を動かすことにより、シールは、軸により操作することができる。軸の軸線が電磁軸受の軸線と実質的に同軸状となるとき、通常の作動中に、軸はその中心決めした位置にある。減少する振幅の一連の動きは、１つの以上の軸線の回りにて減少する振幅の揺動を含むことができ、又は軸を当初の位置すら最終位置まで動きさせる減少する振幅の半径を有するスパイラル状の回転を含むことができる。軸の動きは、電磁軸受の巻線に対する電力を調節することにより、実現される。 （もっと読む）

【課題】回転体をコンパクト化し、回転体の軽量化、慣性の低下などを可能とする、回転装置を提供する。
【解決手段】この回転装置は、中空円筒形状の突き出し部を含む回転ガントリ２を備える。また、圧縮気体の静圧によって回転ガントリ２を軸方向に支持する、複数のアキシアルパッド６を備える。また、突き出し部において、圧縮気体の静圧によって回転ガントリ２を半径方向に支持する、複数のラジアルパッド３を備える。 （もっと読む）

【課題】攪拌機の軸受として磁気軸受を適用することにより、軸受の無摺動化を図り、その結果として、軸受部における異物の発生を防止した、無摺動攪拌槽を提供する。
【解決手段】タンク１の上面壁を貫通して下方に延びる攪拌軸２ｂの上端に接続された受動軸２ａはタンク１の上壁に軸受部を介して回転自在に支持される。軸受部は、環状、円筒状の永久磁石３１，３２，４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂにより一体的に構成された、ラジアル磁気軸受３０およびスラスト磁気軸受４１を含む。これらの永久磁石は、回転翼に働く水平反力に抗して、相互に非接触を維持するように、その磁気特性、着磁状態、配置構成が定められている。 （もっと読む）

【課題】耐焼きつき性及び耐磨耗性の向上が可能なタッチダウン軸受を提供する。
【解決手段】ロータ翼と一体に回転するロータ軸を、非接触状態で回転自在に支持するアキシャル磁気軸受及びラジアル磁気軸受を有する磁気浮上式ターボ分子ポンプに備えられ、アキシャル磁気軸受及びラジアル磁気軸受が制御不能となった時には、ロータ軸と内輪７１の内径面７１ａ及び端面７１ｂが接触することにより機能するタッチダウン軸受（アンギュラ玉軸受７）であって、内輪７１の内径面７１ａ及び端面７１ｂは、球状または略球状の金属粒子を衝突させることにより形成され、表面硬さがビッカース硬さでＨｖ７００以上、表面粗さが０．３〜１．２Ｒａμｍの範囲内、厚さが１０μｍ〜１００μｍの範囲内となっている硬化層Ｓを有し、硬化層Ｓの表面に、固体潤滑剤によって形成された潤滑被膜Ｆを形成する。 （もっと読む）

【課題】アキシャル方向に小型化するとともに、主軸の回転と主軸のアキシャル位置をそれぞれ容易に個別制御できる電動モータを提供する。
【解決手段】本発明にかかる電動モータは、主軸１５と、主軸１５に固定されるとともに磁性体で形成されたアキシャル磁気ディスク１７と、磁力を発生させるとともに当該磁力により前記アキシャル磁気ディスク１７をアキシャル方向に吸引することにより、主軸１５をアキシャル方向に非接触支承するアキシャル磁気軸受６と、前記主軸の位置を制御する主軸位置制御部と、前記主軸に固定されるとともに前記主軸を回転させるロータ１６と、駆動力によりロータを回転させるステータと、駆動力を制御することにより、主軸の回転を制御する回転制御部６０とを備え、アキシャル磁気ディスク１７がロータ１６を兼用する。 （もっと読む）

【課題】ロータの安定性を改善することができるロータ駆動装置を提供する。
【解決手段】ロータ駆動装置は、ロータとステータとを含む。ステータはロータのスピン軸に配置されている気体噴出オリフィスを有する。気体噴出オリフィスは、ロータのテーパ面と、軸方向に間隔を隔てたステータのテーパ面との間に形成されている軸受隙間に連通している。気体は、気体噴出オリフィスから軸受隙間に流れ、それによって回転中にロータを支持する、中央に供給され径方向外側へと流れる気体軸受を確立する。ある実施態様では、駆動用気体の個別の流れを、ロータの駆動溝に送って回転を駆動する。別の実施態様では、駆動溝に当てて回転を起こすために、中央に供給され径方向外側へと流れる気体の流れを追加で利用する。 （もっと読む）

【課題】大幅なコストアップを招かずに、主軸のアキシャル方向の伸びを正確に測定することができ、主軸のアキシャル方向の位置を正確に補正できるよう改良された磁気軸受装置を供給する。
【解決手段】アキシャル変位センサ１４によって測定されたアキシャル位置ターゲットの変位のデータは第１の主軸伸び演算部６４に送信され、一対のアキシャル位置ターゲット間の主軸の伸びが演算される。演算結果は第２の主軸伸び演算部６５に送信され、一対のアキシャル位置ターゲットのうち工具側の一対のアキシャル位置ターゲットと工具側と間の主軸の伸びが演算される。演算結果はアキシャル位置制御部６６に送信される。アキシャル位置制御部６６はアキシャル磁気軸受部６に供給する電力を変化させることにより、工具のアキシャル方向の位置が一定となるように主軸のアキシャル位置を制御する。 （もっと読む）

【課題】酸性ガスなどの腐食環境に適合可能である、動作中のロータシャフト支持用に磁気軸受を配したロータアセンブリおよびステータアセンブリの提供。なお、前記ロータアセンブリおよびステータアセンブリには、ＮＡＣＥ防食規格準拠の磁気軸受を含む。
【解決手段】ロータアセンブリ１００および／またはステータアセンブリの露出表面の特定領域に施されるバリヤ層１０６を使用する。さらに、バックアップ軸受内輪および外輪、ロータ接地スリーブ１０８に用いる耐食材料とともに、耐食性が向上した真空ステータアセンブリを提供する。 （もっと読む）

【課題】アキシアル方向における主軸の長さを短くすることができる磁気軸受装置およびこれを備えた工作機械を提供する。
【解決手段】磁気軸受装置１は、ラジアル方向Ｒへ延設されたフランジ部１６を備える主軸１０と、アキシアル方向Ａにおいてフランジ部１６と対向して配設され、電磁石３２によって主軸１０をアキシアル方向Ａに支持するアキシアル磁気軸受３０と、アキシアル方向Ａにおける主軸１０の位置を検出するアキシアル変位センサ４０とを備える。アキシアル変位センサ４０は、ラジアル方向Ｒにおいてフランジ部１６と対向して配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 回転軸から軸受に伝達させた振動を高温部から離れたところへ取り出し、減衰させる。
【解決手段】 回転軸９の外側に隙間が形成されるように嵌合させた浮動軸受１０と、浮動軸受１０の外側に隙間が形成されるように嵌合させた固定軸受１１を配置する。回転軸９と浮動軸受１０との間の第一の流体潤滑膜１２に加圧流体を供給する孔１５ａを有する振動伝達ロッド１５の内端側を上記浮動軸受１０に固定する。振動伝達ロッド１５の外端側を、固定軸受１１に設けた挿入用孔１６内を通して固定軸受１１の外へ取り出し、減衰素材１４で支持する。 （もっと読む）

【課題】回転体とラジアル軸受パッドとの隙間調整を容易に行なうことができる静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】この回転体を支持する静圧気体軸受は、回転体を半径方向に支持するラジアル軸受パッド３と、ラジアル軸受パッド３を移動させる直動案内１ｃと、直動案内１ｃに対してラジアル軸受パッド３を揺動可能に結合するボールスタッド４とを備える。直動案内１ｃがラジアル軸受パッド３を移動させる方向は、回転体の回転中心とボールスタッド４とを結ぶ方向に対して交差している。回転体の外周面２ｃとラジアル軸受パッド３との間の軸受隙間の変化量に対して、直動案内１ｃがラジアル軸受パッド３を移動させる移動調整量は大きいために、軸受隙間の微細な量の調整を精度よく行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】回転子が半径方向に移動しても、回転子を支持する磁気支持力が変化し難い磁気軸受部を備えた電動機を提供する。
【解決手段】固定子１８と回転子１と空隙に形成され磁気支持力を発生させる磁気回路に、固定子歯８と永久磁石Ｍｇ間の空隙の磁気抵抗Ｒｇより磁気抵抗が大きくなる部位を設けた。 （もっと読む）

【課題】回転始動時から低速回転域においてモータ回転の急加速を抑制でき、軸受の異常発熱を抑制して寿命向上を図ることができるモータ一体型の磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】モータ２８は、３相の無整流子モータである。モータロータ２８ａの位相を検出する位相検出器４０Ａ〜４０Ｃの出力に基づいてモータステータ２８ｂの各相のコイル２８ｂａに電流を印加するコイル電流印加タイミング信号を生成する演算部３８と、この演算部３８の出力するコイル電流印加タイミング信号に従って各相のコイル２８ｂａに電流を印加するパワー回路３９とを備える。パワー回路３９は、モータコイル２８ｂａの線間電圧となるＤＣバス電圧を制御する電圧可変部４１と、パルス幅変調によりモータコイル線間電圧をパルス幅に応じた等価電圧として制御する電力出力部３９Ｂとを有し、電圧可変制御とパルス幅変調とを併用する。 （もっと読む）