【課題】線形性を向上させ、かつ製造コストを減少させた回転機械の回転シャフトの軸方向位置の検出装置を提供する。
【解決手段】回転シャフト１０の端部１１に設置された強磁性材料のターゲット１２と、エアギャップ６０を残しつつ回転機械の構造に固定され、ターゲットと対向配置された固定磁気回路３２に接続された誘導コイル３１と、誘導コイルに給電するための給電回路とを含む装置であり、給電回路が、誘導コイルの第１端部と基準電圧（０Ｖ）に位置する領域との間に接続されたＡＣ電源と、誘導コイルの第１端部と第２端部との間に接続された少なくとも１つのコンデンサと、第２端部と基準電圧に位置する領域との間に挿入された検出器デバイスとを、第２端部と基準電圧に位置する領域との間を流れる電流の大きさについての情報をライン上に供給するために有し、情報は、所定の公称値ｅ０を有するエアギャップの幅の変更値ｘを表す装置である。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得ると共に、部品点数を削減し得、組み立て工数を減少し得、しかも、ラジアル方向の磁気による吸着力が不均一となってラジアル方向の負荷容量が低下する虞をなくし得るロール装置を提供すること。
【解決手段】ロール装置１は、中空のロール体２と、ロール体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関してロール体２を静圧気体によって支持すべくロール体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受手段７及び８と、スラスト方向に関してロール体２を磁力によって支持する磁性軸受手段９及び１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】隙間調整機構などの装置を設けることなく、ダイアフラムと弁座との隙間を所定の隙間に設定できるダイアフラム式可変絞り装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】第1開口部２１が形成された第1ハウジング１１と、第1開口部２１と対向するように第２開口部２２が形成された第２ハウジング１２と、第1開口部２１の周縁部に形成された第1挟持部３２と、第２開口部２２の周縁部に形成された第２挟持部３３と、第1開口部２１と第２開口部２２との間に設けられ、第1挟持部２１と第２挟持部２２により周縁が挟持されたダイアフラム１３と、第１開口部２１に連通する流体導入路４１と、第1開口部２１に設けられた弁座４５と、ダイアフラム１３との弁座４５との隙間４３に応じた流体を排出する流体供給通路と、を備え、第１ハウジング１１の第1挟持部３２と弁座４５は別体となっており、第1挟持部３２は弁座４５に取り付け又は取り外しが可能とした。 （もっと読む）

【課題】磁気ベアリングは、取り付けの間に、多大な注意を要し、特に、磁気ベアリングの種々の構成部品を、構造体に対して非常に精度良く配置することが、しばしば必要である。
【解決手段】環状の本体２０は、クランプ手段に関連して設けられている少なくとも１つの径方向のスロットを有し、且つステータ構造体１０に面している面にセットバック部分２１を有する。前記ステータ構造体１０に面している前記環状の本体２０の面は、シース１３の表面部分１４と共動する摺動面２３を有しており、前記環状の本体２０の前記セットバック部分２１は、前記本体２０に面している前記シース１３の面に形成されている環状の溝１５に係合される調整リング３０のねじ部分３２と共動するねじ部分２２を形成している。前記調整リング２０は、前記環状の溝１５に軸方向に移動しないように防がれる。 （もっと読む）

【課題】構成を簡単にでき、コンパクト化が図れ、メンテナンスフリーでクリーンな真空排気ポンプを提供する。
【解決手段】中央に配置されたシャフト１１及びその周囲に取付けられた動翼１２を有するロータ１３と、ロータ１３を囲むケーシング１４及びケーシング１４の内側に設けられた静翼１５を有するステータ１６と、シャフト１１を回転自由に支持する軸受とを備える真空排気ポンプ１０であり、軸受に超電導磁気軸受１７、１８が使用され、かつステータ１６を冷却する冷媒に、超電導磁気軸受１７、１８に用いる冷媒が使用されている。 （もっと読む）

【課題】モータビルトインのスピンドル装置において、ロータとステータの芯合わせを正確かつ簡単に行う。
【解決手段】スピンドル装置１であって、前方側に工具Ａを取り付け可能な回転軸１０と、回転軸１０を中心軸Ｐ上に収容し、当該回転軸１０を軸受１２を介して回転自在に支持する本体ハウジング１３と、回転軸１０の後方側に設けられ、回転軸１０を回転駆動するモータ部１１と、本体ハウジング１３の後方部に固定され、モータ部１１を収容するモータハウジング１４と、を有している。モータ部１１は、回転軸１０の後方部に当該回転軸１０と同軸上に固定されたモータ軸４０と、当該モータ軸４０の外周面に固定された環状のロータ４１と、当該ロータ４１に対向しモータハウジング１４の内周面に固定された環状のステータ４２を有し、モータハウジング１４の内周面のステータ４２が固定されていない位置又はモータハウジング１４の外周面には、ステータ４２の内周面４２ａと同心の環状の位置合わせ面Ｅが形成されている。 （もっと読む）

【課題】モータビルトインのスピンドル装置において、補助軸受のモータ軸に対する芯合わせを簡単に行う。
【解決手段】スピンドル装置１であって、前方側に回転具を取り付け可能な回転軸１０と、回転軸１０を中心軸上に収容し、当該回転軸１０を軸エア受１２を介して回転自在に支持する本体ハウジング１３と、回転軸１０の後方部に当該回転軸１０と同軸上に固定されたモータ軸４０を回転させて回転軸１０を回転駆動するモータ部１１と、モータ部１１を収容するモータハウジング１４と、モータ軸４０を回転自在に支持する補助エア軸受１５と、補助エア軸受１５を収容する軸受ハウジング１６とを有している。補助エア軸受１５は、軸受ハウジング１６の内周面に固定され、軸受ハウジング１６の内周面には、補助エア軸受１５の内周面と同心の環状の位置合わせ面Ｇが形成されている。 （もっと読む）

いくつかの実施例は：ロータ部と、ステータ部と、前記ステータ部と前記ロータ部を実質的に取り囲むハウジングとを有する磁力スラストベアリングを具え、前記ロータ部が、ロータの周囲に取り付けられ当該ロータとともに回転するのに適合したスラストディスクを具え、当該スラストディスクが、スラストディスク第１面とスラストディスク第２面を規定しており、前記第１面は前記第２面と対向する装置を提供しうる。
（もっと読む）

【課題】組み立て作業が簡単であり、部品点数の低減及び主軸長の短縮化を図ったスラスト力発生装置及び該スラスト力発生装置を適用した電磁機械を提供する。
【解決手段】永久磁石１３の径方向寸法は、ベアリングレスモータ４０、５０の可動子４、６、及びセンサターゲット２、８と同じにすることで、回転体形状を凸型から円筒型に改良した。また、永久磁石１３の外周部分をセンサターゲットとすることで、ベアリングレス回転機の軸長短縮化を可能にした。更に、主軸１の下側に永久磁石１９、もしくは強磁性体を設置し、スラスト力発生の付加機構を設けることで、低消費電力化を可能にした。 （もっと読む）

【課題】流体軸受け面の圧力分布を任意に調整し、浮上時の変形を抑制することを可能としたスライダーを実現する。
【解決手段】底面よりステージに向かって流体を噴出させて形成される流体軸受けを介して前記ステージ上を浮上して移動するスライダーにおいて、前記底面に形成された複数個の流体抜け穴と、前記流体抜け穴から流出する流体量を個別に調整する流体調整手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】小型軽量で単純、加工および組立精度が低くて良く、隙間の変動に対し安定で、かつ安価な、スクイーズ空気膜圧特性に優れたスクイーズ空気軸受、および大がかりな付帯設備が不要で、小型で簡便な装置であり、高精度駆動および位置決めが可能な平面アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】スクイーズ空気軸受は、振動子１により振動する振動面２１と対向する面のいずれかが外周部に凸部２２を設けるなど平面でなくすことにより、スクイーズ空気膜力特性を改善させる。平面アクチュエータ装置は、非接触軸受としてスクイーズ空気膜力特性に優れたスクイーズ空気軸受を備える。 （もっと読む）

【課題】スラスト荷重の負荷に対する転がり軸受の長期耐久性を向上させることができ、かつ主軸を高速回転させることが可能なモータ一体型の磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】モータ一体型の磁気軸受装置は、転がり軸受１５，１６と磁気軸受を併用する。磁気軸受を構成する電磁石１７は、主軸１３に設けられたスラスト板１３ａ，１３ｂに非接触で対向するように、スピンドルハウジング１４に取付けられる。これらのスラスト板１３ａ，１３ｂは、片面に電磁石ターゲットが形成され、他方の面にはモータロータ２８ａ用の永久磁石２８ａａが配置される。この永久磁石２８ａａに挟まれるようにモータステータ２８ｂが配置される。モータ２８は、アキシアルギャップ型のコアレスモータで、モータステータ２８ｂは集中巻き方式の複数個のコイル２８ｂａを有し、それらのコイル２８ｂａが周方向に複数並び互いに一体化された複数個のモジュールに分けて構成する。 （もっと読む）

【課題】 過大なアキシアル荷重が作用した場合でも、安定な制御が可能でコントローラの構成を簡略化でき、かつ主軸の軸長を短くできて、高速回転させることが可能なモータ一体型の磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 このモータ一体型の磁気軸受装置は、転がり軸受と磁気軸受を併用し、転がり軸受１５，１６がラジアル負荷を支持し、磁気軸受がアキシアル負荷と軸受予圧のどちらか一方または両方を支持するようにしたものである。磁気軸受を構成する電磁石１７は、主軸１３に設けられた強磁性体からなるフランジ状のスラスト板１３ａの両面に非接触で対向するように、スピンドルハウジング１４に取付けられる。アキシアルギャップモータ２８のモータロータ２８ａは、前記スラスト板１３ａの両面またはどちらか一方に電磁石ターゲットと共通して配置され、このモータロータ２８ａと対向するようにモータステータ２８ｂが配置される。 （もっと読む）

【課題】ロータを軸方向（アキシャル方向）および径方向（ラジアル方向）に制御可能であり、加工・組立時において永久磁石による磁気吸引力を受けない磁気軸受を提供する。
【解決手段】ステータ１は、少なくとも一対の環状部１２ａ、１２ｂと、環状部１２ａ、１２ｂ各々の内周に設けられた第１磁極１３ａ及び第２磁極１３ｂ、環状部１２ａ、１２ｂ間に位置する環状の永久磁石３を備える。第１磁極１３ａ及び第２磁極１３ｂ内にはラジアル励磁コイル１４、アキシャル励磁コイル１５が巻回され、ラジアル励磁磁束φｒ、アキシャル励磁磁束φａを発生させる。 （もっと読む）

【課題】 回転体のラジアル制御軸方向およびアキシアル制御軸方向の変位を正確に検出することができ、しかも、変位センサユニットの構造が簡単で、部品点数が少なくてすみ、製作が容易で、コストダウンが可能な磁気軸受装置の変位検出装置を提供する。
【解決手段】 ２組の変位センサユニット6,7のそれぞれが、回転体1のターゲット部15,17の片側の縁部に対向するとともに２つのラジアル制御軸上に位置するように周方向に等間隔をおいて配置された４個の変位センサ16a,16b,16c,16d,18a,18b,18c,18dを備えている。変位演算手段が、８個の変位センサの出力を用いて所定の演算を行うことにより、一方の変位センサユニット6の部分における２つのラジアル制御軸方向の回転体1の変位、他方の変位センサユニット7の部分における２つのラジアル制御軸方向の回転体1の変位、および回転体1のアキシアル制御軸方向の変位を求めるものである。 （もっと読む）

【課題】 回転体の軸方向の変位を正確に検出することができ、しかも、アキシアル変位センサユニットの構造が簡単で、部品点数が少なくてすみ、製作が容易で、コストダウンが可能な磁気軸受装置の変位検出装置を提供する。
【解決手段】 ２組のラジアル変位センサユニット6,7のそれぞれが、回転体1の外周部のターゲット部15,17に対向するように周方向に等間隔をおいて配置された４個のラジアル変位センサ16a,16b,18a,18bを備え、１組のアキシアル変位ユニット8が、回転体1の外周部のターゲット部17の軸方向両縁部に対向するように軸方向に間隔をおいて配置された１対のアキシアル変位センサ19a,19bを備えている。変位演算手段が、ラジアル変位センサの出力より回転体1の径方向の変位を演算し、アキシアル変位センサの出力より演算した値をラジアル変位センサの出力に基づいて補正することにより回転体1の軸方向の変位を演算する。 （もっと読む）

【課題】 組立時の作業性が良く、不良品発生のおそれが少なく、不良品発生時の対応が容易で、安価に製作できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】 磁気軸受装置は、回転体2と、複数組の軸受用部品がハウジング3の内側に固定された軸受部分1とを備えている。軸受部分1が、分割ハウジング部材14a〜14eの内側に軸受用部品が固定された複数の部品装着ユニット13a〜13eに分割されて、これらの分割ハウジング部材14a〜14eを連結することによって軸受部分1が組み立てられている。軸受用部品の電線が接続されたコネクタ15a〜15eが分割ハウジング部材14a〜14eに取り付けられ、合成樹脂モールド部16により、分割ハウジング部材14a〜14eのコネクタ取付部分が密封されるとともに、少なくともコネクタ15a〜15eに接続された電線の部分が被覆されている。 （もっと読む）

【課題】軸方向の推力を得るロッドを静圧気体軸受構造を用いて支持してなるエアベアリングシリンダであって、静圧気体軸受構造を構成する軸受部材と軸受装着部との間のシールを確保しつつ、軸受部材の着脱を容易な構造とする。
【解決手段】マニホールドシリンダ１０は軸方向の推力を得るロッド１１を非接触で支持する静圧気体軸受構造を用いて構成されており、その静圧気体軸受構造を構成する軸受部材２６に一対のＯリング２７ａ，２７ｂが周方向に環状に装着される。Ｏリング２７ａ，２７ｂは、軸受部材２６の軸方向において該軸受部材２６に加圧エアを供給するための供給通路２０を挟んだ各位置にそれぞれ配置されると共に、軸受部材２６とロッド挿入孔１５の大径孔部１５ａの内周面との間に介在されその相互間で押圧変形されることで、軸受部材２６が該大径孔部１５ａの内周面に対して弾性保持される。 （もっと読む）

【課題】 ねじ等を用いないでも静圧気体軸受パッドに隙間調節部材を脱落しないように連結できて、而して、コスト低下を図り得る静圧気体軸受パッドと隙間調節部材との組み合わせ構造、それに最適な静圧気体軸受パッド及び隙間調節部材並びにそれを用いた静圧気体軸受機構を提供すること。
【解決手段】 可動体１を固定体２に対してＸ方向に移動自在に保持すベく可動体１と固定体２との間に介在させる静圧気体軸受パッド３と、静圧気体軸受パッド３と可動体１との間の隙間４を調節する隙間調節部材５との組み合わせ構造６は、静圧気体軸受パッド３に設けられていると共にリング装着溝７を有する凹所８と、リング装着溝７に装着された拡径自在な弾性Ｏリングからなるリング９と、隙間調節部材５に設けられていると共に凹所８を規定する静圧気体軸受パッド３の凹所規定面１０から部分的に突出するリング９を受容する受容溝１１とを具備している。 （もっと読む）