【課題】温度上昇に伴って回転体が膨張して軸方向に伸びた場合でも、静圧気体軸受による良好な軸受性能が発揮できるエアスピンドルを提供する。
【解決手段】固定軸１はラジアル方向への突出部１ａと、突出部１ａを挟んだ両側の軸受部１ｂを有する。１対の静圧気体軸受３を、軸受部１ｂに外嵌し、Ｏリング５により軸方向で移動可能に取り付ける。これにより、静圧気体軸受３は、ハウジング２の内周面と対向するラジアル軸受面３１と、端部材４および突出部１ａの端面と対向するアキシアル軸受面３２を有する。 （もっと読む）

【課題】環境温度が低温になっても、スピンドルが回転不能に陥るのを防止できる空気静圧軸受スピンドル装置、これを用いた回転霧化装置および塗装装置を提供する。
【解決手段】軸部２２およびフランジ部２３を有するスピンドル２１、軸受本体３１、軸部２２との間にラジアル隙間４３を有するラジアル軸受部材４１Ａ，４２Ａ、および、フランジ部２３との間にスラスト隙間４５を有するスラスト軸受部材４１Ｂ，４２Ｂを備えた空気静圧軸受スピンドル装置２０において、環境温度が２０℃の状態においてスラスト隙間が４０μｍ以下に形成され、環境温度が０℃の状態においてスラスト隙間が１０μｍ以上確保されるように、軸受本体３１およびスラスト軸受部材４１Ｂ，４２Ｂに用いる材料の線膨張係数が選択されている。 （もっと読む）

【課題】 回転精度が高いことに加えて、モータ等で発生した熱が主軸を経由してモータと反対側の回転テーブルへ伝わりにくく、かつ主軸の熱膨張を抑えることができ、さらに、不導体材料を使用しながら静電容量タイプの非接触計での測定を可能にした静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】 静圧気体軸受スピンドルは、主軸２と、この主軸２を回転自在に支持する静圧気体軸受３と、主軸２の一端がモータ軸と２ｃなり主軸２を回転駆動するモータ４と、主軸２の他端に固定された回転テーブル５とを備える。主軸２における静圧気体軸受３により回転自在に支持される部分である主軸被支持部２ａ、および主軸２における主軸被支持部２ａよりも回転テーブル５側の部分である主軸テーブル側部２ｂをセラミックス材で形成し、主軸被支持部２ａにおけるラジアル軸受部３ｂに導電性のメッキを施す。 （もっと読む）

【課題】スピンドルとハウジングとの軸受隙間の大きさを可変として、高い剛性を必要とする場合にスピンドルの剛性をより高くするとともに、必要とするエネルギーの増加量をより抑制することができる流体軸受装置を提供する。
【解決手段】スピンドルＳは、回転軸ＴＺ方向の一方に向かって径が小さくなるテーパ面ＭＰを有するテーパ部ＳＴと、回転軸方向の一方の方向に向かう流体の力を受ける軸方向力受動面ＭＪを有する軸方向力受動部ＳＪとを有し、テーパ面に対向しているテーパ対向面Ｍ１にはテーパ部ポケットＰ１〜Ｐ４が周方向に分割されて形成されており、軸方向力受動面に対向している軸方向対向面Ｍ２に軸方向ポケットＰＢが形成されている。スピンドルが回転軸に交差する方向の力である負荷Ｆを受けると、軸方向力受動面の受ける力を大きくしてスピンドルをハウジングに対して相対的に回転軸方向の一方の方向に移動させる剛性増加手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】回転軸の回転精度を良好に保つことが可能な気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】気体軸受スピンドルは、回転軸１と、スリーブ３、４と、ハウジング２とを備える。スリーブ３は、回転軸１の側面の少なくとも一部と隙間を介して対向するように配置される。ハウジング２は、開口部を有し、当該開口部の内部にスリーブ３、４および回転軸１を保持する。回転軸１では、ハウジング２の開口部側の端部に形成された開口に連通する空洞部としての空洞１ｂが形成される。回転軸１の側面に、回転軸１の側面を周回する円周溝１ａが形成されている。回転軸１では、円周溝１ａと空洞１ｂとを繋ぐ連通孔１ｃが形成されている。スリーブ３、４およびハウジング２には、円周溝１ａに液体や気体などの冷却媒体を供給する供給路２ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】使用中の発熱による悪影響を抑制することが可能なスピンドル装置を提供する。
【解決手段】スピンドル装置は、主軸１と、軸受スリーブ３、４と、冷却スリーブ１５と、ハウジング２とを備える。軸受スリーブ３、４は主軸１の側面の一部に対向するように配置され、主軸１の側面の一部との間の間隙に気体を供給するための給気孔３ｂ、３ｃ、４ｃが形成されている。冷却スリーブ１５は、主軸１の側面において軸受スリーブ３、４と対向する領域以外の領域の少なくとも一部に対向するように配置される。ハウジング２は開口部を有し、当該開口部の内部に軸受スリーブ３、４、冷却スリーブ１５および主軸１を保持する。多孔質材料からなる冷却スリーブ１５には主軸１の側面に向けて冷却用気体を供給する冷却用気体供給孔として、内周側表面に複数の孔が形成される。主軸１において冷却スリーブ１５と対向する側面には、冷却溝部１ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】コーティングロールが撓んだり、コーティングロールに重力方向以外の外力が加わったりしても、コーティングロールの回転軸心が変動することがなく、高い回転精度を実現する。
【解決手段】
ロール１４の回転軸２２を回転自在に支持する油圧式静圧軸受２６と、油圧式静圧軸受２６を支持すると共に、ロール１４の重力方向の撓みにのみ追従するように油圧式静圧軸受２６の傾動を許容するすべり軸受２７と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】ラジアル軸受と回転軸の隙間（軸受隙間）に加圧空気を導入してなるエアーベアリング機構において、ロータシャフト２の高速回転（毎分１６〜３５万回転）時の膨張の影響を軽減し、かつ低速回転（毎分３〜１０万回転）時のエアーベアリング剛性の低下を防止する。
【解決手段】ラジアル軸受３１，４１を円弧状に分割して弾性体をその分割した周方向にできた隙間に挟み込み、ラジアル軸受の外側に配した圧電素子５１，５２，５３，５４に電圧を印加して、前記軸受隙間寸法を電気的に制御する。 （もっと読む）

【課題】 負荷能力が大きく、回転軸の先端部の伸びの少ない高精度の静圧軸受スピンドルを提供すること。
【解決手段】 一対のスラスト軸受５，６は、ハウジング鍔部８より後方側（反負荷側）であって、一対のラジアル軸受３，４より後方側（反負荷側）に配置してある。さらに、スラスト軸受５，６は、回転軸１に形成した回転軸鍔部１ｂの両サイドで軸方向の荷重を支持する構造となっている。さらに、好適には、ハウジング２の材質の熱膨張係数は、回転軸１の材質の熱膨張係数より、大きく設定してある。 （もっと読む）

【課題】熱膨張による影響を受けることなく常に、可動体を安定して滑らかに移動させることが可能な案内装置を提供する。
【解決手段】基台２に延設された複数のガイド部材6,7と、これらガイド部材にそれぞれ１つずつ設けられるとともに、各ガイド部材に沿って移動する空気軸受と、空気軸受によって支持及び位置決めされる可動体４とを備え、複数のガイド部材の中の１つに設けられた空気軸受は、可動体を垂直方向に支持する垂直方向空気軸受８と可動体を水平方向に位置決めする水平方向空気軸受10a,10bとから構成され、その他のガイド部材に設けられた空気軸受は、可動体を垂直方向に支持する垂直方向空気軸受のみで構成されている。 （もっと読む）

【課題】主軸へ伝達する熱量を少なくし、主軸の温度上昇を抑え、主軸の軸方向の伸びが少ない静圧空気軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】主軸２を非接触で支持する静圧空気ジャーナル軸受３、４と静圧空気スラスト軸受５、６、および主軸２を直接駆動するモータ９を備えた静圧空気軸受スピンドルにおいて、スリーブ１０の負荷側の端部は、一部が静圧空気ジャーナル軸受３の反負荷側の端部と隣接して連結されると共に，スリーブ１０とハウジング１との間に排気通路１３と連通する空気通路１４を形成するよう、外径側を略リング状に切り欠いた段付部１０ａを設けてあり，スリーブのハウジングとの対向面側には、空気通路と連通し、軸方向に貫通した凹溝１０ｂを少なくとも1つ設けてある。 （もっと読む）

【課題】シール部の隙間の変化を抑えることができるスピンドルシール装置を提供する。
【解決手段】軸受１１と、当該軸受１１を介してハウジングに相対的に回転可能に支持された回転軸１３とを備えたスピンドル装置に静圧の気体軸受１５を配し、前記気体軸受から吹出される圧縮空気３０の圧力及び流れによって、スピンドル装置１０の内部と大気側との間を密封可能にしてなるスピンドルシール装置１であって、前記気体軸受１５の外周側に軸１３と同一若しくは近似の熱膨張係数を有する金属製のリング部材３１を嵌装してなる。 （もっと読む）

【課題】ステージが大型化しても温度変化に対する軸受性能の低下を抑え且つ低コストな静圧空気軸受直線案内装置を提供することを課題としている。
【解決手段】基台１から突設するガイド部材２の両側面に所定間隙を置いて対向する一対の対向部４，５をステージ３下部に設けて一対の水平方向空気軸受６を形成する。その各水平方向空気軸受６の位置よりも幅方向外側にそれぞれ上下方向を支持する上下方向空気軸受７を配置する。その各上下用空気軸受７の近傍にそれぞれ、非接触状態でステージ３を基台１に向けて吸引する吸引力発生手段９を設ける。 （もっと読む）