【課題】自励振動を起こすことなく、安価な静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置を提供することにある。
【解決手段】静圧気体軸受１は、熱可塑性合成樹脂、又はこの熱可塑性合成樹脂にガラス繊維、ガラス粉末、炭素繊維もしくは無機充填材を３０〜５０質量％含有した補強充填材含有熱可塑性合成樹脂、又はアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されている軸受基体２と、軸受基体２に接着剤により接着一体化されている熱可塑性合成樹脂から形成されている合成樹脂製の軸受体３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】大量生産が可能で安価な静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置を提供すること。
【解決手段】静圧気体軸受１は、好ましくは、ポリアセタール樹脂（ＰＯＭ）、ポリアミド樹脂（ＰＡ）、ポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）などの熱可塑性合成樹脂、又はこれらの熱可塑性合成樹脂にガラス繊維、ガラス粉末、炭素繊維もしくは無機充填材を３０〜５０質量％含有した補強充填材含有熱可塑性合成樹脂、あるいはアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されている軸受基体２と、軸受基体２に環状シール部材３を介して締結部材４により締結一体化されていると共に好ましくはポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂などの熱可塑性合成樹脂から形成されている合成樹脂製の軸受体５とを具備している。 （もっと読む）

【課題】自励振動を起こすことがなく、大量生産が可能で安価な静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること
【解決手段】基部４、該基部４の一方の面５から一体的に突設されている環状突出部６、一端７では該環状突出部６の突出端面８で開口している一方、他端９では基部４の外周面１０で開口すると共に環状突出部６及び基部４に設けられた給気通路１１を備えた合成樹脂製の軸受基体２と、基部４の一方の面５に対面している一方の面４１に形成されていると共に軸受基体２の環状突出部６を受容した環状凹所４２、他方の面４３で開口した環状凹溝４４及び一端４５では環状凹溝４４に連通していると共に他端４６では環状凹所４２に開口した自成絞りとしての複数個の空気吹出孔４７を有した合成樹脂製の軸受体３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】エアースライド装置の軽量化を目的とする。
【解決手段】ガイドレール１２と、このガイドレール１２の上面部１２１と対向するパッド取付面１４１を有する可動体１４と、この可動体１４の前記パッド取付面１４１に埋設された複数の静圧気体軸受パッド１６とを備え、前記ガイドレール１２の上面部１２１に向けて前記静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１から噴出する気体により前記可動体１４をスライド可能に支持するエアースライド装置１０において、前記ガイドレール１２と前記可動体１４の少なくともどちらか一方の少なくとも一部を、炭素繊維プリプレグの積層体からなる炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）で形成したことを特徴とするエアースライド装置１０。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受によりラジアル荷重を支持する構成の両吸込横軸ポンプにおいて、締切点付近を含む小流量領域で主軸に作用する動的スラスト荷重を効果的に抑制する方法を提供する。
【解決手段】両吸込横軸ポンプ１の主軸２のラジアル荷重は静圧軸受８，９で支持される。背静圧軸受８，９には羽根車３の吐出口２１から吐出された圧力水が供給される。主軸３に取り付けられた受圧ディスク４３の主軸３の駆動側の面には静圧軸受８を通過後の圧力水の静圧が作用する。受圧ディスク４３の主軸２の反駆動側の面には、羽根車３の吸込口２０Ａ側の静水圧が作用する。 （もっと読む）

【課題】支持板の表面から噴出する気体によるワークの支持力を柔軟に調節することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】非接触支持装置は、エアを供給するエア通路と、エア通路から供給されるエアを透過させて表面から噴出させるフィルム５０と、フィルム５０の表面から噴出される気体を透過させて表面から噴出させる多孔質板６０とを備える。フィルム５０及び多孔質板６０は、リベット７１によって本体３０に固定されている。フィルム５０は内部に多数の空孔を有する多孔質フィルムであり、フィルム５０の通気抵抗は多孔質板６０の通気抵抗よりも大きく設定されている。 （もっと読む）

【課題】外部の真空発生機と接続することなく、排出される軸受用気体を回収する機構を備えた静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、内部に形成された排気通路７を有し、かつ排気通路７が開口した外周面を有する円筒形状の回転軸１と、回転軸１を支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間５をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲む固定部２と、回転軸１の外周面のうち排気通路７の開口した部分を覆うように回転軸１に取り付けられた排気リング６とを備えている。排気リング６と回転軸１の外周面との間には排気通路７に通じる排気回収路２０が形成されている。排気回収路２０は、軸受隙間５の開口部２２と向かい合う位置に開口部２１を有している。 （もっと読む）

【課題】揺動自在とされた本体がその自重によって不用意に傾倒してワークを傷つけるおそれを大幅に低減すること。
【解決手段】支持体３０の球体部３５は本体２０の球面軸受け部２８ａに収容され、これにより本体２０は揺動自在となって支持体３０に支持されている。本体２０内には球体部３５と当接するＯリング２９と、そのＯリング２９によってシールされる閉空間Ｋ１とが設けられている。そして、その閉空間Ｋ１に加圧ポート４１及び内圧調節用通路４２を通じて加圧エアが供給されるようにした。支持体３０が固定された状態であれば、加圧エアの供給によって閉空間Ｋ１の圧力を高めるとその内圧の高まりによって本体２０が支持体３０に対して押し上げられる。これにより、Ａ部分での摩擦抵抗が高まって本体２０の自重による傾倒が抑制される。 （もっと読む）

【課題】動圧軸受式モータにおいて、コストの低廉化を図ることができるとともに、モータ使用時の軸受け温度を考慮することなく、高精度及び安定した強度で動圧軸受部を固定すること。
【解決手段】一端に開口部を有する樹脂製のハウジング１１０内に、動圧軸受部１５０を配し、この動圧軸受部１５０にロータシャフト１４０を回転自在に支承させる。動圧軸受部１５０の内周面にはヘリングボーン溝部が形成され、動圧軸受部１５０とロータシャフト１４０のとの間には潤滑油が配させる。ハウジング１１０内の動圧軸受部１５０の上端部を覆うようにキャップ１９０が取り付けられている。キャップ１９０は、開口部を閉塞する蓋上面部の外周縁から垂下する筒状壁部の内周面で、動圧軸受部１５０の上端部の外周面に圧入により外嵌され、外周面でハウジング１１０の開口部の内周面に内嵌されて固定させる。 （もっと読む）

【課題】耐食性磁気軸受とその組立、製造方法の提供。
【解決手段】アーマチュア２は、互いに隣接して配置された絶縁層８及び被覆プレート６のスタック１４を含み、スタック１４は、第１の端部及び第２の端部を有する。第１の圧縮カラー２２は、第１の端部に配置された、第２の圧縮カラー２２は、第２の端部に配置され、またシャフト４は、第１及び第２の圧縮カラー２２並びにスタック１４を貫通して配置される。被覆プレート６は、その上に配置された皮膜を有するコアプレートを含み、皮膜は、金属、金属合金、金属酸化物、金属間化合物、多相合金、固溶体及び前述のものの少なくとも１つを含む組合せからなる群から選択された材料を含む。 （もっと読む）

隙間を維持しながら、相互に噛み合う関係に噛み合わされる内部負荷軸受部材と外部負荷軸受部材とを有する、小型非接触機械連結、減衰及び／または負荷軸受装置に関する。制限されるわけではないが、静力学手段、流体力学手段、電子流動学的流体、磁気流動学的流体、電気流体及び／または磁気流体を含む、隙間を内外負荷軸受部材間に維持する手段を有してもよい。 （もっと読む）

【課題】使用条件によらずエアハンマーの発生を確実に抑制すること。
【解決手段】ハウジング１２に、スピンドル１４が空気軸受１６、１８を介して回転自在に支持され、スピンドル１４がフランジ２２を介して電動モータ３８のモータ回転軸４４に連結され、モータ回転軸４４の軸方向端部にはゴムリング５４を介して制振リング５２が装着され、スピンドル１４の振動に伴うエアハンマーが制振リング５２によって吸収される。 （もっと読む）

【課題】酸性ガスなどの腐食環境に適合可能である、動作中のロータシャフト支持用に磁気軸受を配したロータアセンブリおよびステータアセンブリの提供。なお、前記ロータアセンブリおよびステータアセンブリには、ＮＡＣＥ防食規格準拠の磁気軸受を含む。
【解決手段】ロータアセンブリ１００および／またはステータアセンブリの露出表面の特定領域に施されるバリヤ層１０６を使用する。さらに、バックアップ軸受内輪および外輪、ロータ接地スリーブ１０８に用いる耐食材料とともに、耐食性が向上した真空ステータアセンブリを提供する。 （もっと読む）

【課題】精密な押圧制御を行うと共に、微少な位置を高精度に検出することができるエアベアリングユニットを提供すること。
【解決手段】ロッド４に対して加圧エアを噴出することにより、シリンダブロック２に非接触状態でロッド４を支える。そして、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間に測定用エアを出力すると共に、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間に出力される測定用エアの流量を計測することにより、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間の距離を計測する。 （もっと読む）

【課題】大量生産が可能で安価な静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】貫通孔２ａが軸方向に伸びる筒状に形成され、貫通孔２ａの内面に複数の空気吹出口２ｂを、外面に複数の空気吹出口２ｂと連通する給気溝２ｃを有する樹脂製軸受部材２と、給気溝２ｃを覆うように樹脂製軸受部材２に接合され、外面に給気溝２ｃと連通する給気口３ｂを有する基体３とを備える静圧気体軸受。樹脂製軸受部材２を射出成形によって形成し、基体３の構造も簡単で、樹脂製軸受部材２を覆うように接合するだけで、静圧気体軸受１を組み立てることができる。基体３側に給気溝３ｄを設けてもよい。樹脂製軸受部材２及び基体３を円筒状とした場合には、樹脂製軸受部材２を、基体３の内径よりも大きい外径を有するようにして、樹脂製軸受部材２の外径を一時的に縮径するか、基体３の内径を一時的に拡径し、基体３の内側に挿設することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】大量生産が可能で安価な静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】上面に自成絞り形状又はオリフィス形状の複数の空気吹出口２ａを、下面に複数の空気吹出口と連通する給気溝２ｂを有する樹脂製軸受部材２と、樹脂製軸受部材の下面に給気溝を覆うように接合され、給気溝と連通する給気口３ａを有する基体３とを備える静圧気体軸受。樹脂製軸受部材を射出成形し、基体の構造も簡単で樹脂製軸受部材の下面に接合する。基体３側に給気溝３ｅを設けてもよい。樹脂製軸受部材と基体を、ポリフェニレンスルフィド樹脂又はガラス繊維、炭素繊維もしくは無機質充填材の少なくともいずれか１つによって強化した補強材入りポリフェニレンスルフィド樹脂で形成することができ、基体は金属製としてもよい。樹脂製軸受部材と基体とは、超音波接合、高周波誘導加熱による接合又は接着剤を介しての接合により接合することができる。 （もっと読む）

【課題】高強度で、大量生産が可能で安価な静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】自成絞り形状又はオリフィス形状の複数の空気吹出口２ａと、給気口２ｂとを有する樹脂製基体２と、複数の空気吹出口２ａ及び給気口２ｂと連通し、樹脂製基体２の内部に一体成形された金属製給気管３とを備える静圧気体軸受１。樹脂製基体２の内部に金属製給気管３をインサート成形した後、空気吹出口２ａ及び給気口２ｂをドリルによって穿設することで簡単に静圧気体軸受１を製造することができる。金属製給気管３を樹脂製基体２の空気吹出面と略々平行に延設することで平面静圧気体軸受を提供することができる。樹脂製基体２は、ポリフェニレンスルフィド樹脂、又は、ガラス繊維、炭素繊維もしくは無機質充填材の少なくともいずれか１つによって強化した補強材入りポリフェニレンスルフィド樹脂を用いることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】流体軸受を用いたワークホルダでワークを把持することにより、ノイズを軽減すると共に、ワークの一時的脱着後の再度のワークホルダ上への再装着の再現性を向上させる。
【解決手段】ワークホルダは、ラジアル流体軸受（１４）、スラスト流体軸受（１６）ならびに流体とで構成される胴部を含み、流体を被把持ワーク（１２）とワークホルダとの間の間隙に保持してワークに対して軸方向力と径方向力とを発生させてワークを高精度で芯出ししてワークを把持する。 （もっと読む）

【課題】ワークの搬送に際してワークの浮上量の変動を好適に抑制することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】非接触支持装置１は、検査ステージ２及び浮上ステージ４を備え、これらの上方において略水平に搬送されるワークＷを非接触にて支持する。検査ステージ２には、加圧エアを噴出する浮上パッド３０と、周辺のエアを吸引する吸引パッド４０とがそれぞれ複数個配置されている。これら吸引パッド４０と浮上パッド３０とは、ワークＷの搬送方向に沿って５列ずつ互いに平行に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 コストの大幅な増加を抑えながら、高精度な浮上領域で本来意図した効果を確実に得る。
【解決手段】 相対的に浮上量を一定とする精度が高い浮上吸引混合部５と、精度が低い浮上テーブル３との間に、両者の中間の精度を有する多孔質浮上部４を設けた。このため、浮上吸引混合部５での浮上とその両側での浮上との間の精度ギャップを低減させることができる。これにより、高精度浮上が低精度浮上から受ける影響も低減する。そして、多孔質浮上部４を設けることは浮上吸引混合部５を広げるよりもコスト増加は低く抑えられる。 （もっと読む）