【課題】面状発熱体の装着によって起こる浮き上がり等を防止し、また、しわやたるみを生じにくくさせ、使用感の向上を図ること。
【解決手段】空気層部材２１に密着するように空気層部材２１と非通気性のＰＴＣヒータ２２を両面テープ等で貼り合わせて空気層部材２１とＰＴＣヒータ２２を密着するよう配設している。ＰＴＣヒータ２２が空気層部材２１に沿ってしわやたるみを生じにくくなり空気層部材２１と座席カバー２６とが密着しやすくなり、またＰＴＣヒータ２２から座席カバー２６への熱伝導がより効果的に直接的に行われようになると共に、ＰＴＣヒータ２２の浮き上がり等が防止され、さらに構成部品も大幅に削減できるというメリットがある。 （もっと読む）

【課題】ウェハ加熱装置では、ヒータ部に冷媒を供給しても、冷媒の供給量を大幅に増加することは難しいため、３００ｍｍ以上の大型のウェハを加熱するウェハ加熱装置のヒータ部を短時間で冷却することができないという問題があった。
【解決手段】本発明のウェハ加熱装置は、板状体の一方の主面に帯状の抵抗発熱体を備え、他方の主面にウェハを載せる載置面を備えたヒータ部と、前記抵抗発熱体に電力を供給する給電端子と、該給電端子を包むように板状体と接続したケースと、該ケースに前記ヒータ部を冷却するノズルと開口部とを備え、載置面への投影面から見て上記ノズルの先端を上記抵抗発熱体の帯の間に設ける。 （もっと読む）

【課題】 窒化アルミニウム焼結体中の気孔を極力減少させることにより、均熱性に優れたサセプタを提供する。
【解決手段】 本発明の窒化アルミニウム焼結体は、含有するビスマスと塩素の量を一定値以下に制御する。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする窒化アルミニウム焼結体において、窒化アルミニウム焼結体中のビスマスの含有量が３０ｐｐｍ以下であり、かつ塩素の含有量が１００ｐｐｍ以下であることを特徴とする。前記窒化アルミニウム焼結体に、抵抗発熱体が形成されていることが好ましく、半導体加熱用部品として使用されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 抵抗値の変化の原因となる微小なクラックの発生を抑え、使用経時における抵抗発熱体の抵抗値の変化率を小さくする。
【解決手段】 耐熱・絶縁性材料で形成される長尺平板状の基板１１の長手方向に、発熱抵抗体１２１，１２２および発熱抵抗体１２１，１２２に電力を供給するための電極１４，１５を形成し、少なくとも発熱抵抗体１４，１５上にオーバーコート層１８を施してヒータ１００を形成する。ヒータ１００の発熱抵抗体１４，１５としては、銀（Ａｇ）とパラジウム（Ｐｄ）の重量比率Ａｇ／Ｐｄが、９０／０〜７０／３０のＡｇ／Ｐｄ合金およびガラス、前記Ａｇ／Ｐｄ合金重量に対して２０〜６０重量％の無機酸化物および／または無機窒化物を含有したものとする。 （もっと読む）

【課題】昇降温特性に優れ、被加熱物を迅速に加熱、冷却することができるとともに、充分な機械的強度を有するセラミックヒータを提供すること
【解決手段】、セラミック基板の表面または内部に発熱体が形成されたセラミックヒータであって、上記セラミック基板の加熱面、または、上記加熱面と反対側の面に、溝部が形成されていることを特徴とするセラミックヒータ。 （もっと読む）

【課題】熱処理過程で過度の熱処理になることもなく（抵抗値曲線にボトムが現れない）、広い温度範囲において表面抵抗値の経時変化が極めて少ない面状発熱体を与えるグラフトカーボン塗液およびその製造方法、並びに該塗液を用いた面状発熱体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】有機溶媒中でカーボンブラックとビニル系モノマーをグラフト重合させて得られるカーボンブラック・グラフトポリマーを含む溶液と、有機溶媒にピッチを溶解した溶液とを混合してグラフトカーボン塗液を製造した。このグラフトカーボン塗液を、基材に塗布または含浸した後、熱処理して発熱素子を形成し、その表面を電気絶縁材で被覆せしめて面状発熱体を製造した。 （もっと読む）

【課題】 並列接続されたＰＴＣの抵抗発熱体が発する熱を長手方向により均一な温度分布の得られるセラミックヒータを実現する。
【解決手段】 セラミック製の長尺平板状基板１１上の長手方向に所定の間隔を置いて正の温度係数を有する抵抗発熱体１６，１７を形成する。抵抗発熱体１６の短手方向の一端と配線パタン１４を電気的に接続した状態で基板１１上で接続する。抵抗発熱体１７の短手方向の一端配線パタン１５を電気的に接続した状態で基板１１上で接続する。抵抗発熱体１６の短手方向の他端と配線パタン１８を基板１１上で電気的に接続する。抵抗発熱体１７の短手方向の他端と配線パタン１９を基板１１上で電気的に接続する。一端が開放された配線パタン１４，１５の長手方向の他端と電極１２を接続する。一端が開放された配線パタン１８，１９の長手方向の他端と電極１３を電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】帯状の抵抗発熱体を備えたウエハ加熱装置において、加熱冷却を繰り返しても抵抗発熱体の剥離やクラックの発生を防止する。
【解決手段】板状セラミック体２の一方の主面をウエハを載せる載置面３とするとともに、他方の主面に１または２回路以上の帯状の抵抗発熱体４を備えると共に、前記抵抗発熱体またはそれを覆う絶縁層の表面を凹凸面を形成する。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＣ抵抗発熱体を用いながら長手方向により均一な温度分布を有するヒータを実現する。
【解決手段】セラミック製の長尺状基板１１上に形成された電極１２，１３からそれぞれ基板１１の長手方向に配線パタン１４，１５を形成する。配線パタン１４，１５にはそれぞれ基板１１の長手方向に沿ってＰＴＣ抵抗発熱体１６，１７の一端を接続する。発熱抵抗体１６の他端は配線パタン１４，１５同材料で同時に形成された基板１１の長手方向に延びる配線パタン１８に接続する。発熱抵抗体１７の他端は配線パタン１４，１５同材料で同時に形成された基板１１の長手方向に延びる配線パタン１９に接続する。配線パタン１８，１９は電極１２，１３から離れた位置の結合部２０で電気的に接続する。これにより、抵抗発熱体１６，１７の特定箇所に異常があっても幅が大きいことから発熱への影響を極力抑え、均一な温度分布を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、難燃性と高い信頼性を有する柔軟性発熱体を提供することを目的としている。
【解決手段】柔軟性を有する難燃性ベース不織布２と、難燃性ベース不織布２に熱融着された柔軟性と耐熱性を有する難燃性ベースフィルム３と、難燃性ベースフィルム上に印刷により形成された櫛形電極４と櫛形電極４により給電される高分子抵抗体５と、櫛形電極４、高分子抵抗体５、及び難燃性ベースフィルム３との接着性と柔軟性を有する難燃性カバーフィルム６と、難燃性カバーフィルム６上に接着された柔軟性を有する難燃性カバー不織布７とを備えてなる柔軟性発熱体とすることで、柔軟性と難燃性を有して、かつ、高い信頼性を有する柔軟性発熱体を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】建物の屋上やベランダ、あるいは風呂場等の床面に適用することが可能な化粧舗装材のような表面を有するブロック状パネルを提供することを目的とする。
【解決手段】熱硬化性樹脂から成る枠体１０の上面の偏平な凹部１１にシート状発熱体１２を配し、その上にアクリル樹脂によって結合固化された天然石から成る粒状物１３を収納するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】 支持容器のセラミック基板と接触する部分の平面度を管理する必要がなく、支持容器とセラミック基板との接触面積を小さくすることができ、セラミック基板からの熱の逃散が少なく、セラミック基板の加熱面の温度を均一にすることができるホットプレートユニットを提供すること。
【解決手段】 その表面または内部に抵抗発熱体が形成されたセラミック基板が、支持容器に配設されてなるホットプレートユニットであって、前記セラミック基板と前記支持容器とは、点接触してなることを特徴とするホットプレートユニット。 （もっと読む）

【課題】セラミックスからなる板状体の一方の主面に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を具備してなるセラミックヒーターにおいて、板状体の厚みを薄くすると、発熱抵抗体で発生した温度分布が十分緩和されず、載置したウエハの温度がなかなか均一にならないという課題があった。
【解決手段】上記発熱抵抗体の少なくとも一部を、周囲のパターンの抵抗値に対し３倍以内の抵抗値にトリミングした抵抗調整部を形成する。 （もっと読む）