【課題】 並列接続されたＰＴＣの抵抗発熱体が発する熱を長手方向により均一な温度分布の得られるセラミックヒータを実現する。
【解決手段】 セラミック製の長尺平板状基板１１上の長手方向に所定の間隔を置いて正の温度係数を有する抵抗発熱体１６，１７を形成する。抵抗発熱体１６の短手方向の一端と配線パタン１４を電気的に接続した状態で基板１１上で接続する。抵抗発熱体１７の短手方向の一端配線パタン１５を電気的に接続した状態で基板１１上で接続する。抵抗発熱体１６の短手方向の他端と配線パタン１８を基板１１上で電気的に接続する。抵抗発熱体１７の短手方向の他端と配線パタン１９を基板１１上で電気的に接続する。一端が開放された配線パタン１４，１５の長手方向の他端と電極１２を接続する。一端が開放された配線パタン１８，１９の長手方向の他端と電極１３を電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】帯状の抵抗発熱体を備えたウエハ加熱装置において、加熱冷却を繰り返しても抵抗発熱体の剥離やクラックの発生を防止する。
【解決手段】板状セラミック体２の一方の主面をウエハを載せる載置面３とするとともに、他方の主面に１または２回路以上の帯状の抵抗発熱体４を備えると共に、前記抵抗発熱体またはそれを覆う絶縁層の表面を凹凸面を形成する。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＣ抵抗発熱体を用いながら長手方向により均一な温度分布を有するヒータを実現する。
【解決手段】セラミック製の長尺状基板１１上に形成された電極１２，１３からそれぞれ基板１１の長手方向に配線パタン１４，１５を形成する。配線パタン１４，１５にはそれぞれ基板１１の長手方向に沿ってＰＴＣ抵抗発熱体１６，１７の一端を接続する。発熱抵抗体１６の他端は配線パタン１４，１５同材料で同時に形成された基板１１の長手方向に延びる配線パタン１８に接続する。発熱抵抗体１７の他端は配線パタン１４，１５同材料で同時に形成された基板１１の長手方向に延びる配線パタン１９に接続する。配線パタン１８，１９は電極１２，１３から離れた位置の結合部２０で電気的に接続する。これにより、抵抗発熱体１６，１７の特定箇所に異常があっても幅が大きいことから発熱への影響を極力抑え、均一な温度分布を得ることが可能となる。 （もっと読む）

概ね台形状を有する加熱可能な物品（例えば、自動車の風防）は、異なる長さを有する間隔を開けた一対の母線の間でかつ接触する伝導性部材（例えば、伝導性コーティング）を、有する。これら母線の間の選択された部分のコーティングは、電流がこのコーティングを通って移動する場合に母線でのコーティングの間の電力密度における差異を低減するために、セグメント化される。１つの非限定的な実施形態において、より長い母線でのセグメントの幅は、より長い母線でのセグメントの幅より小さい。この構成を持ちて、風防の底部の電力密度は増加されて、氷および雪をより効率的に除去する。別の非限定的な実施形態において、コーティングは、電磁スペクトルの振動波（例えば、ＲＦ波）を通過させて乗り物内から情報を得るため、連絡窓を有する。
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【課題】基板表面温度の均熱化が可能な基板加熱装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】一方の面に基板を載置する加熱面を有する板状のセラミックス基体と、セラミックス基体に埋設された抵抗発熱体とを有し、加熱面が中央部が最も低く周辺部へ近づく程高い凹面形状である、基板加熱装置である。抵抗発熱体が埋設された板状のセラミックス基体を形成する工程と、加熱面となる、セラミックス基体の一方の面を、中央部が最も低く周辺部へ近づく程高い凹面形状に研削加工する工程と、セラミックス基体の他方の面の中央領域に筒状部材を接合する工程とを有する基板加熱装置の製造方法である。 （もっと読む）

その長手方向において互いに本質的に平行に、ならびに加熱される窓ガラス（１）の基端（２）に平行に延在する、極性の異なる２つの接触バスバー（６、７）と、接触バスバー（６、７）に電気的に接触している一連の加熱フィラメント（９）とを有する、とりわけ車のサイドウインド用の加熱される窓ガラス（１）が開示されている。本発明の窓ガラス（１）は、接触バスバー（６、７）がその長手方向に実質的に一直線に配置されている一方で、加熱フィラメント（９）が、窓ガラス（１）全体を確実に一様に加熱できるように本質的に同じ長さであることを特徴とする。加熱フィラメント（９）は、補償ループ（１１）を構成すること、および／または波形に配置される加熱フィラメント（９）の幅を変えることによって同じ長さにすることができる。
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腐食的な製造環境での製作中に、半導体ウェハーを加熱するための改良された加熱システム（１０）が開示されている。前記システム（１０）は、新規なセラミックヒータ（１２）を備えており、前記セラミックヒータ（１２）は、該セラミックヒータ（１２）のセラミック基板（１６）内部に完全に直接埋め込まれている多数の加熱素子（４４）と温度センサ配置（３８）を有している層状のセラミック基板（１６）から作成されている。前記複数の加熱素子（４４）と温度センサ配置（３８）は、前記セラミックヒータ（１２）の作動効率を改良する低い温度抵抗係数を備えているモリブデンと窒化アルミニウムの複合物から構成されている。作動時に、前記温度センサ配置（３８）は、前記半導体ウェハーの全表面に渡って一定で一様な温度分布を供給するような方法で前記加熱素子（４４）を制御すること可能であるマイクロプロセッサー（１４）に温度示度を伝達する。 （もっと読む）

【課題】十分な強度と耐候性、耐久性を有し、穏やかに発熱する保温・加熱用ヒーターを提供する。
【解決手段】本発明のセラミックカーボンヒーターは、発熱体層の上面と下面に絶縁層を有し、該発熱体層が石英閃緑袴岩５０〜８５重量％、カーボン１０〜３０重量％及び粘土５〜１５重量％からなる組成を有し、導電性を有することを特徴としている。これを製造するには、上記組成を有する混合粉末に、適量の水を加えて顆粒状に造粒し、これを所望の形状に加圧成形した後、可燃性カーボンを酸化させることなく１，　１００〜１，３００℃で焼成すればよい。 （もっと読む）

【課題】 支持容器のセラミック基板と接触する部分の平面度を管理する必要がなく、支持容器とセラミック基板との接触面積を小さくすることができ、セラミック基板からの熱の逃散が少なく、セラミック基板の加熱面の温度を均一にすることができるホットプレートユニットを提供すること。
【解決手段】 その表面または内部に抵抗発熱体が形成されたセラミック基板が、支持容器に配設されてなるホットプレートユニットであって、前記セラミック基板と前記支持容器とは、点接触してなることを特徴とするホットプレートユニット。 （もっと読む）

【課題】 発熱装置内部での空洞をなくし、発熱体から被加熱面への熱伝導を促進し、かつ、面状発熱材の単位面積あたりの出力を上げて発熱温度を上げること。
【解決手段】 発熱体の少なくとも表裏両面に対して合成樹脂シートを挟着してなる面状発熱材を有し、その少なくとも片面が、放熱板またはその加工品で被覆された発熱装置。 （もっと読む）