【課題】 ガス経路毎の噴出口から噴出されるガス噴出量を均一にし、反応膜の堆積を低減する加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置１００は、ガス噴出口１２ｈが形成された基板加熱面１０ａと、ガスが供給されるガス供給口１８とを有し、抵抗発熱体１１が埋設されたセラミックスを含む材料によって構成される基体１０と、ガス供給口１８からガス噴出口１２ｈまで連通し、基体１０内に形成されたガス経路１２と、ガス経路１２の断面積を可変とする調整部とを備える。 （もっと読む）

【課題】発熱抵抗体が固着された絶縁基板の幅方向に広い均一な発熱面を得る。
【解決手段】アルミナ等で形成された長尺平板状の絶縁基板１１の長手方向に沿って銀／パラジウム合金で形成される発熱抵抗体１２，１３を固着する。絶縁基板１１上に通電しても大きな発熱現象が起こりにくい銀等で形成された電極１４，１５に電力を供給する。電極１４は接続導体１４１を介して発熱抵抗体１２の一端と発熱抵抗体１２の他端は接続導体１６に接続する。電極１５は接続導体１５１を介して発熱抵抗体１３の一端と発熱抵抗体１３の他端は接続導体１６に接続する。発熱抵抗体１２，１３間に沿って絶縁基板１１上にアルミニウム等の熱拡散体１７，１８を固着する。発熱抵抗体１２，１３、接続導体１６、熱拡散体１７，１８は、ガラス保護層１９で保護する。熱拡散体１７，１８は、発熱抵抗体１２，１３から発生する熱の保護層１９上での均一化を図る。 （もっと読む）

【課題】 シーズヒータを加熱装置の溝に組み込むときにカシメ型が不要であり、かつ、シーズヒータと溝との間に隙間が発生する場合が少なくなるシーズヒータを用いた加熱装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 シーズヒータを発熱源とする加熱装置１０の製造方法において、金属板等の熱伝導性部材２０の表面２１に蟻溝３０を形成し、蟻溝３０内に、加圧により変形可能なシーズヒータ４０を配置し、シーズヒータ４０を加圧して、蟻溝３０内にシーズヒータ４０を埋め込んだこと。さらに、シーズヒータ４０を加圧する際に、前蟻溝３０内のシーズヒータ４０の全てを同時に加圧すること。さらに、蟻溝３０内において、シーズヒータ４０が熱伝導性部材２０と一体化するようにすること。 （もっと読む）

【課題】 低コストかつ簡単な構成で装置のスペックを低下させることなく非通紙部昇温を防止することができ、より信頼性の高い加熱装置及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 基板と、基板上に形成された負の抵抗温度特性を有する抵抗発熱体と、抵抗発熱体に給電する電極とからなる加熱体によって被加熱材を加熱する加熱装置において、抵抗発熱体を長手方向において3個以上の部分に分割し、分割した抵抗発熱体の各ブロックは被加熱材搬送方向に電流が流れるように給電され、かつ分割した抵抗発熱体の各ブロックは電気的に直列に接続する。抵抗発熱体の加熱面から見た形状は長方形、もしくは平行四辺形と台形とする。各ブロック間の隙間近傍で抵抗発熱体の抵抗を高くして、隙間部分の発熱量低下を補う構成をとってもよい。 （もっと読む）

【課題】
加熱用導体が形成されていても十分な強度を有する自動車用フロントガラスを提供する。
【解決手段】
第１のガラス基板１１と、樹脂フィルム１３を介して第１のガラス基板１１に接合された第２のガラス基板１２と、第１のガラス基板１１上に、かつ、第１のガラス基板１１と樹脂フィルム１３との間に形成された銀導体１４とを備える自動車用フロントガラス１０において、銀粉末、ニッケル粉末、ガラスフリット、および有機ビヒクルを含有する導電性ペーストを焼き付けることにより銀導体１４を形成する。
銀粉末が球状である場合、銀粉末は最小粒径が０．３〜１．０μｍかつ最大粒径が１．０〜３．０μｍであり、ニッケル粉末は導電性ペーストにおいて１〜４重量％含有される。銀粉末が不定形状である場合、銀粉末は最小粒径が０．１〜１．０μｍかつ最大粒径が０．５〜５．０μｍであり、ニッケル粉末は導電性ペーストにおいて２〜３重量％含有される。 （もっと読む）

【課題】 板状セラミックス体に抵抗発熱体を備えたウエハ支持部材の載置面における温度バラツキを抑える。
【解決手段】 板厚が１〜７ｍｍ、１００〜２００℃のヤング率が２００〜４５０ＭＰａである板状セラミック体２の一方の主面側を、ウエハを載せる載置面３とするとともに、上記板状セラミック体２の下面に帯状抵抗発熱体５を有するウエハ支持部材１において、上記帯状抵抗発熱体５の厚みを５〜７０μｍとし、かつ上記板状セラミック体２の一方の主面に平行な投影面で見て、上記帯状抵抗発熱体５を囲む外接円Ｐ１の面積に対し、上記外接円Ｐ１内に占める帯状抵抗発熱体５の面積の比率が５〜５０％となるようにする。 （もっと読む）

【課題】 内部電極としての導体膜のコーナー部近傍に発生するクラックを防止し、繰り返し熱サイクルが加わる環境下でも長期間にわたって使用することができるウエハ支持部材を提供する。
【解決手段】 板状セラミック体１２の一方の主面を、ウエハＷを載せる載置面１３とするとともに、板状セラミック体１２中の同一深さに少なくとも二つの導体膜１５ａ，１５ｂを埋設したウエハ支持部材１１において、少なくとも一つの導体膜１５ｂにはコーナー部を有し、かつこのコーナー部から他の導体膜１５ａまでの最短距離を２５ｍｍ以下とするとともに、コーナー部の角部を円弧状Ｐとする。 （もっと読む）

【課題】 炉床が十分に堅牢であって石釜構造の炉内雰囲気を有し、温度制御が容易で、かつ広範な被焼成物を対象とすることができる電気オーブンを提供することにある。
【解決手段】 煉瓦焼成前の成形時に肉厚方向と直交しかつ平面視において分散するように可燃バー１０ａを貫通状に埋め込み、焼成時に前記可燃バー１０ａを燃焼させて当該燃焼跡に孔１０を形成し、前記各孔１０に抵抗加熱体１１を通した耐火煉瓦からなるオーブン用加熱板を製造する。そして、焼成炉の下火用焼成板１ａ及び上火用焼成板１ｂを、一枚又は複数枚の前記オーブン用加熱板により構成する。 （もっと読む）

【課題】 ＡｌＮ基板の熱伝導の良さを最大限に生かした発熱面積のより大きな加熱体とその製造方法を提供する。
【解決手段】ＡｌＮ基板１と、上記ＡｌＮ基板１の表面もしくは裏面に、上記ＡｌＮ基板１の長手方向に沿って帯状に延びるように形成された発熱抵抗体３と、上記発熱抵抗体３を覆うように形成された保護膜とを有する加熱体であって、上記保護膜は、少なくとも発熱抵抗体をその土台の一部として覆う第１保護膜４ａと、この第１保護膜４ａを覆う第２保護膜４ｂとを有しており、上記ＡｌＮ基板１の表面および裏面に形成される酸化膜２の厚みがいずれも上記ＡｌＮ基板１の厚みの２％以内であり、上記発熱抵抗体３および上記第１保護膜４ａがいずれもポーラスな膜に形成されており、上記第２保護膜４ｂは非ポーラスな膜に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 絶縁性が高く、より広範囲な使用温度環境などにおいても特性が変化しない汎用性があり、しかも樹脂やゴムを用いても発熱のロスがない発熱マットを提供すること。
【解決手段】 通電により発熱する発熱層と、その両面にそれぞれ少なくとも１層の絶縁層と、が積層されてなる面状発熱体、を有する発熱マットであり、前記面状発熱体が、前記発熱層とその片側に存在する絶縁層との間に、又は前記発熱層の片側に存在する少なくとも２層の絶縁層の間に、布帛に、平均粒子径が１０〜１００μｍの略球形の中空ビーズと、平均粒子径が５〜３０μｍの略球形の非中空ビーズと、が分散した液体を塗布、乾燥してなる断熱性布帛からなる断熱材層、を有することを特徴とする、発熱マット。 （もっと読む）

【課題】 フィルム加熱方式の加熱装置に好適に用いられる、優れた温度即答性と強度を共に有する多孔質セラミックス加熱体及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】板状多孔質セラミックス抵抗発熱層１１と、板状多孔質セラミックス補強層１２との積層構造物であり、該補強層に、該抵抗発熱層の表面が露出する温度検出素子埋設用の穴を設けた加熱体１０。 （もっと読む）

【課題】より簡便な工程によって製造することができ、建築・土木用や農業・水産用などの大規模の産業分野に適用することができる成形発熱材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】炭素繊維糸発熱織物を利用した遠赤外線面状発熱体またはその以外の面状発熱体１２１を型枠の中に定置し、面状発熱体１２１の上下に、骨材を含む混合物１３１，１３２を流し込んで常温乾燥させ、成形発熱材１３３を製品化する製造方法である。骨材を含む混合物１３１，１３２は、主材料である骨材と水硬性凝固材などを、真空撹拝装置を利用して混練されたものである。骨材を含む混合物１３１，１３２を真空攪拌装置で混練し、また、流し込んだ後に常温乾燥することで、気泡や割れ目のない成形発熱材１３３を製造することができる。 （もっと読む）

【課題】断熱層の断熱性を向上して赤外線の放射効率を高めると共に、製造を容易にする赤外線放射素子を提供する。
【解決手段】 シリコンからなる支持基板の一方の表面からシリコンを多孔質化することにより支持基板よりも熱伝導率の小さな断熱層２を形成するとともに、前記支持基板の他方の表面には多孔質化されていないシリコンが発熱体層３として存在し、該発熱体層３の表面に一対のパッド４が形成されてなる。これにより、断熱層の断熱性を向上して赤外線の放射効率を高めると共に、製造を容易にした。 （もっと読む）

【課題】 従来のウェハ加熱装置では、ヒータ部に冷却ガスを供給しても、冷却ガスの供給量を大幅に増加することは難しいため、３００ｍｍ以上の大型のウェハを加熱する場合にヒータ部を短時間で冷却することができないという問題があった。
【解決手段】 板状体２の一方の主面に絶縁層１４を備え、絶縁層１４の上に帯状の抵抗発熱体５を備え、他方の主面にウェハＷを載せる載置面３を備えたヒータ部と、抵抗発熱体５に電力を供給する給電端子１１と、給電端子１１を包むように板状体２と接続したケース１９とを有するとともに、ケース１９にヒータ部を冷却するノズル２４と開口部２３とを備え、載置面３への投影面から見て、ノズル２４の先端が抵抗発熱体５の間に位置するウェハ加熱装置１である。ヒータ部の冷却時間を短くすることができ、ウェハの冷却時間を短くすることができるので、半導体製造工程におけるウェハ処理時間を短縮させることができる。 （もっと読む）

本発明は、層加熱板素子に関する。より具体的には、本発明は、コネクタ（９、１０）を用いて電圧を印加することにより加熱可能な導電性コーティング（３）と、コーティングから電気的に絶縁され、少なくとも１つの特定の電気コネクタ（５Ｅ）を設けられる少なくとも１つの導電性部分面（５、５Ｔ）とを保持する少なくとも１つの剛体板ガラス（２）、特に窓ガラスを有する、板素子（１）に関する。本発明によると、部分面（５、５Ｔ）は、接地電位との接続のために設けられる。
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【課題】 金属薄膜に形成される電極に対して過度の電流が流れることを防止し、鏡の全面について常に良好な防曇効果の得られる防曇鏡を提供する。
【解決手段】 ガラス基板２の一面に形成された金属薄膜３に対して短冊状の形状をなす複数の第一電極４と第二電極５が所定間隔毎に交互且つ平行に配置されており、複数の第一電極４を第一導電プレート６によって接続すると共に、複数の第二電極５を第二導電プレート７によって接続し、任意に選択される一組の第一電極４と第二電極５に対して、電源接続部８を有する電源プレート９を接続し、第一電極４若しくは第二電極５と電源プレート９との接続近傍位置に、第一電極４若しくは第二電極５を経由せずに電源プレート９からの電流を第一導電プレート６若しくは第二導電プレート７に流すバイパスプレート１０を設ける。 （もっと読む）

【課題】セラミック体の温度分布を均一化することができる静電チャックを提供すること。
【解決手段】発熱体１９は、アルミベース９の貫通孔３３のセラミック体７側の投影領域Ｔを避けるように配置されている。詳しくは、発熱体１９は、円形の投影領域Ｔよりも径方向に１ｍｍ以上広い領域（大投影領域ＤＴ）内を避けるように配置されている。また、発熱体１９は、投影領域Ｔの上下方向では、左右方向に直線状に伸びているが、投影領域Ｔの左右方向では、投影領域Ｔの近傍にて左右対称に（投影領域Ｔ側を凸にして）略Ｕ字状に曲がって、投影領域Ｔと重ならないように配置されている。 （もっと読む）

【課題】 ヒーター全体を均一に加熱することができ、昇温速度を増大させることができるとともに、トナー画像の定着性に優れたヒーターの構造を提供する。
【解決手段】 セラミックヒーター１０は用紙９の表面上に形成されたトナー画像を定着させる。セラミック基板１は、トナー画像が形成された用紙９の一方の表面に対向するように配設される。発熱体２は、用紙９の一方の表面に対向するセラミック基板１の表面と反対側の表面に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 加熱による膜質や導電性の変化が生じ難い導体を形成し得る白金ペーストを提供する。
【解決手段】 白金ペーストは、白金粉末の結晶子サイズが60〜100(nm)の範囲内と十分に大きくされていることから、焼結性が抑えられているので、高温に曝されても凝集が生じ難くなり、延いては加熱による膜質変化や導電性或いは抵抗値の変化が生じ難い抵抗発熱体層を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】 窒化アルミニウムメタライズ基板の製造工程の途中において、最終的に得られるメタライズ層の抵抗値を非破壊により簡単に検査できるメタライズ脱脂中間体を提供する。また、このメタライズ脱脂中間体を焼成することにより、抵抗値のバラツキが低減された窒化アルミニウムメタライズ基板を提供する。
【解決手段】 有機化合物を含有するメタライズペースト層を非酸化性雰囲気中にて脱脂して、その全体及び部分的な明度がＪＩＳ Ｚ ８７２１に規定する明度でＮ６以下、好ましくはＮ４以下のメタライズ脱脂中間体を得る。このメタライズ脱脂中間体を非酸化性雰囲気中で焼成することにより、窒化アルミニウムメタライズ基板が得られ、このメタライズ基板は抵抗値のバラツキが小さいためヒータとして好適に使用することができる。 （もっと読む）