【課題】加熱可能な物品（例えば、現在利用可能な風防の制限を有さない加熱可能な風防）を提供する、より具体的には、電磁スペクトルの周波数を通過する領域を有するかまたは有さない、エネルギーをかけられた場合に風防の表面を均一に加熱する、導電性部材を提供する。
【解決手段】加熱可能な物品であって、第一母線；第一母線から間隔をあけた第二母線；母線の各々の間でかつ電気的に接触する、導電性部材１６であって、ここで、第一母線に隣接した伝導性部材は複数の別個の電気的に絶縁された複数の導電性セグメント１８を有し、少なくとも１つのセグメントは、第一母線が第二母線へ向けて間隔を増加させるに従って幅を変動させる導電性部材を備える物品。 （もっと読む）

【課題】ヒータの発熱量のバラツキをなくし、被処理基板の面内温度の均一性を向上させた熱板及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】被処理基板を載置し該被処理基板を加熱するための熱板４１であって、基材となるシリコン基板４２と、シリコン基板の裏面に成膜された金属の電気抵抗体からなるヒータ４３と、シリコン基板の裏面又は表面に成膜された金属の電気抵抗体からなる温度センサ４７と、被処理基板を下方から支えて熱板の上に昇降するための支持ピンを挿通させるべくシリコン基板に設けられたピン孔４９と、シリコン基板４２の表面に形成され、熱板の上に載置される被処理基板との間に隙間を形成するためギャップ用突起５０とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】保護層上に抵抗率や硬さが調整された耐食層が形成され、高温・腐食性ガス環境下でも、導電層、特に給電端子部の腐食による劣化を回避でき、しかもチャックパターンを有する場合でも静電チャックとして高い機能を発揮できる長寿命で低製造コストな加熱素子を提供する。
【解決手段】 少なくとも、耐熱性の基材１と、該耐熱性基材上に形成されたヒーターパターン３ａを有する導電層３と、該導電層上に形成された絶縁性の保護層４とを有する加熱素子１０であって、少なくとも前記保護層４の上に第三の元素が含有された化合物からなる耐食層４ｐを有するものであることを特徴とする加熱素子。 （もっと読む）

【課題】本発明は、自動車、モーターボート等のステアリングホイールに用いられる面状発熱体に関するもので、ステアリングホイールへ装着した面状発熱体の温度部分を調整して、ステアリングホイールを握ったときの使用感を向上すること目的とする。
【解決手段】リング部１２の円周上を区分して線状ヒータ１７を円周方向に沿って折り返しを繰り返した発熱部を複数箇所形成し、かつ、前記発熱部の線状ヒータ１７の折り返しの疎密を設けてあるので、前記リング部１２の円周上の温度分布を調整することができるようになり、ステアリングホイール１１のスポーク部１３等の構成や使用者の握り方に合わせて、面状発熱体１４の発熱を調整出来、ステアリングホイール１１を握ったときの使用感を向上することができるようになる。 （もっと読む）

【課題】高温・腐食性ガス環境下でも、腐食性ガスが透過し難く、導電層、特に給電端子部の腐食による劣化を回避できる長寿命で低製造コストの加熱素子を提供する。
【解決手段】少なくとも、耐熱性の基材１と、該耐熱性基材上に形成されたヒーターパターン３ａを有する導電層３と、該導電層上に形成された絶縁性の保護層４とを有する加熱素子１０であって、少なくとも前記保護層４の上に窒素ガス透過率が１×１０^−２ｃｍ^２／ｓｅｃ以下である耐食層４ｐを有するものであることを特徴とする加熱素子。 （もっと読む）

【課題】共通電極板に接続される電線の太径化を抑制して、電気ヒータの小型化を図る。
【解決手段】通電発熱部材２３と、熱交換フィン２２と、通電発熱部材２３および熱交換フィン２２に接触して通電発熱部材２３へ通電させる電極板とを順次積層して放熱部を構成した電気ヒータにおいて、２つの通電発熱部材２３へ同時に通電する共通電極板２４ａに２つの端子部２４ｃを一体に形成して、これらの端子部２４ｃにそれぞれ電線２７を接続する。これにより、電線２７の線径を太線化することなく一本当たりの電線２７に流れる電流を小さくできるので、電線２７の取り回しスペースの縮小化や電線２７を接続する接続コネクタの小型化が可能となり、電気ヒータ全体を小型化できる。 （もっと読む）

【課題】 簡単に設置し得る面状発熱体及びその面状発熱体を備えた床暖房装置を提供する。
【解決手段】 所定間隔を空けて設置させた複数の電極線６と、これら電極線６間をつなぐシート状のＰＴＣ特性を有する発熱部３とを含み、発熱部３がメッシュ状に形成され、かつ、電極線６と交差する方向に延びる少なくとも２本の電源線７を設け、この各電源線７と電極線６とを安全保護回路１１を介して接続すると共に、電源線７が、発熱部３の縁部に位置する箇所に設けられた電源コネクタ部８に接続されていることにより、前記課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】部位によらず発熱時の温度分布が略均一である面状発熱体の提供を目的とする。
【解決手段】面状発熱体１は、電気絶縁性を有する板状の基材２を有し、この基材２の電極配置面１０上に電極５，６と発熱部７とが配されている。発熱部７は、電極５，６に対して電気的に接続されており、電極５，６への通電に伴って発熱する。面状発熱体１において、電極配置面１０の外周側における電極５，６の長手部２０ｂ，３０ｂの間隔Ｄ１および長手部２０ｄ，３０ｄの間隔Ｄ１は、電極５，６の中央部２１ａと長手部３０ｂ，３０ｄとの間隔Ｄ２よりも狭い。 （もっと読む）

【課題】高周波プラズマを発生可能な加熱装置において、プラズマの分布を被加熱物の中央部と周縁部とで均一にして、良好な特性の製品を安定して生産することができる加熱装置を提供する。
【解決手段】被加熱物を加熱する加熱面を有する絶縁性セラミックス基体１０と、この絶縁性セラミックス基体１０に配設された発熱体１３と、この加熱面より絶縁性セラミックス基体１０の内部にて、この加熱面と平行に近接して設けられた低抵抗セラミックス部材１６と、この低抵抗セラミックス部材に接続する導電性部材１８とを備える加熱装置。 （もっと読む）

【課題】セラミックス基体やリング状部材に電荷が残留するのを抑制して、アーキングが発生することを効果的に防止することができる加熱装置を提供する。
【解決手段】被加熱物を加熱する加熱面１１ａを有する絶縁性セラミックス基体１１と、この絶縁性セラミックス基体１１の加熱面１１ａ近傍に埋設された高周波電極１３と、この高周波電極１３よりも前記加熱面から離れて当該絶縁性セラミックス基体に配設された抵抗発熱体１２と、この絶縁性セラミックス基体１１の加熱面１１ａの一部に露出し、かつこの絶縁性セラミックス基体１１内に設けられた導電性部材としての高周波電極１３と接続する低抵抗セラミックス部材１６とを備える加熱装置。 （もっと読む）

ヒータ構造の製造方法および対応するヒータ構造が開示される。上記方法は、ガラスクロスのような多孔質の補強材料を準備することと、スプレーによって上記多孔質の補強材料に金属を付着させることと、その構造を堅くするために金属を付着させた上記多孔質の補強材料に樹脂を付着させることからなる。樹脂を付着させる前に多孔質の補強材料に金属を付着させることは、多孔質の補強材料と付着される金属層の間の剪断強度を向上させたり、樹脂を付着させる前に金属を付着させた多孔質の補強材料の形状を操作しうるというような多くの利点がある。ヒータ構造は、上記したような多くの用途で使用することができる。
（もっと読む）

【課題】ヒータ寿命が長く、且つ、到達温度が高い結晶成長装置を実現する。
【解決手段】結晶基板支持部１０は、蓋部１２と、アルミナスリーブ１４と、石英管１６と、を備えている。蓋部１２の上には結晶基板１００が載置され、上方から原料ガスが導入される。アルミナスリーブ１４は、円筒状をなしており、その円筒の一方端には蓋部１２が配置される。さらにこの一方端の内部には第１の平面ヒータ１８ａと、第２の平面ヒータ１８ｂとが重畳して取り付けられている。第１の平面ヒータ１８ａと第２の平面ヒータ１８ｂとは電気的に直列に接続されており、同じ電力の場合、電流値を小さく電圧値を大きくすることができる。電流値が小さくなるので、電源コード等を細くすることができ、さらに水銀接点等の発熱を抑制できる。さらに、平面ヒータ１８を２枚で構成したので、発生する熱量をより多くすることができ、高温をより容易に実現可能である。 （もっと読む）

【課題】被加熱材を支持する微小な突起が加熱面に形成されている加熱装置において、突起の接触部と非接触部との温度差を解消して、ウエハなどの被加熱材を均一に加熱する加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置１は、セラミックス基体２とこのセラミックス基体に取り付けられた発熱体３とを備えている。セラミックス基体２は被加熱材を加熱する加熱面２ａを有し、この加熱面２ａに上面が平らな複数の突起２１が形成されている。突起２１の上面は表面粗さが中心線平均粗さＲａで０．８μｍ以下であり、突起２１が突出する加熱面２ａの底面は表面粗さが中心線平均粗さＲａで０．９μｍ以上、２．０μｍ以下であり、前記加熱面の底面の表面粗さのばらつきが０．２μｍ以下であり、前記突起の上面が、円相当の直径で０．５〜３ｍｍであり、前記突起の底面からの高さが、５〜４０μｍである。 （もっと読む）

【課題】加熱面を略均一な加熱温度面になすことができる配置パターンを有するカーボンワイヤー発熱体を備えた面状ヒータを提供する。
【解決手段】カーボンワイヤー発熱体ＣＷの面内配置密度が、内側領域とこの外周に位置する外側領域で異なっており、前記外側領域の面内配置密度が内側領域の面内配置密度より密となっており、前記発熱体ＣＷに通電する接続線を有する電源端子部８が、前記シリカガラス板状体２の裏面側の中央部に配置され、前記内側領域のカーボンワイヤー発熱体と接続される接続線４ａ、４ｂは、前記シリカガラス板状体の中央部において、内側領域のカーボンワイヤー発熱体ＣＷと接続され、前記外側領域のカーボンワイヤー発熱体と接続される接続線３ａ、３ｂは、前記内側領域のカーボンワイヤー発熱体ＣＷと交差することなく、前記シリカガラス板状体の中央部から外側領域に延設され、外側領域のカーボンワイヤー発熱体ＣＷと接続される。 （もっと読む）

【解決手段】ガラスパネルは、導電性フィルムを設けたガラスシートと、導電性フィルム上に配置された導電体とを有し、ガラスシートと導電体とに係合するリテーナにより、導電体と導電性フィルムとの間の電気的接触を高める導電体に、圧縮圧力を加える。加熱ガラスパネルは、導電性フィルムを設けたガラスシートと、導電性フィルム上の第１の位置に配置する第１導電体と、導電性フィルム上の第２の位置に配置する第２導電体を含み、直流電源の第１端子は、第１導電体に接続され、制御システムは、直流源の第２端子と第２導電体の間に直列に接続され、直流源を第２導電体に接続している。
（もっと読む）

【課題】オーバーエッチングのない所望の形状の膜パターンが形成された薄膜ヒーターを製造する。
【解決手段】基板１上に薄膜２１からなる第１の被エッチング層と薄膜２２からなる発熱抵抗層と薄膜２３からなる第２密着層を積層する積層工程と、第１のレジストマスク３１を形成する第１のレジスト形成工程と、第１のレジストマスク３１を用いて第２密着層及び発熱抵抗層をエッチングして第１密着層の上面の一部を露出する第１のエッチング工程と、第１のレジストマスク３１を除去する工程と、第２密着層の上面及び側面と発熱抵抗層の側面とを被覆し且つ第１密着層の露出された上面における第２密着層及び発熱抵抗層の周囲の部分を被覆する第２のレジストマスク３２を形成する第２のレジスト形成工程と、第２のレジストマスク３２を用いて第１密着層をエッチングする第２のエッチング工程と、を含む薄膜ヒーター１０の製造方法である。 （もっと読む）

【構成】電気加熱パネルである。このパネルは、矩形ベース部をもつ内側シェルと、内部に、一連のＵ字形ベンドをもつカバーからなる外側気密アルミニウムシェルからなる。このカバーの内部に、一連のＵ字形ベンドを有し、外側シェルと一体化された気密コネクタモジュールの内部まで延長する２つの擬似円形端部をもつ平面蛇線体の形を取るオーミック抵抗を配設する。蛇線体は、断面が矩形、幅および厚みが一定で、幅／厚み比が３未満のステンレスＡＩＳＩ３０４鋼からなる剛性バーから構成する。それぞれ蛇線体の各面に接触する内側シェルおよびカバーに接触する２枚の雲母シートが蛇線体を外側シェルから絶縁するとともに、自由内部空間を最小限に抑える。内側シェルのベース部が、ハードな陽極処理によって形成され、かつ赤外線照射に有利に作用する黒色の厚い酸化物層を有する。内部の断熱体がカバーに向う熱の流れを妨害する。コネクタモジュールは、広い円形ベース部を有し、ベース部のねじによって給電ワイヤおよび蛇線体の端部に接続された、２つの真鋳カラムを有する。プロウブが、蛇線体に接触する温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】 基板処理に使用される基板支持体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 基板支持体を形成する方法及び装置が提供される。一実施形態において、基板支持体は、本体に溝を形成するステップと、その溝に加熱素子を配置するステップと、加熱素子を包囲するように溝を溶接するステップであって、この溶接が、本体の少なくとも一部分を加熱素子に密接接触するように強制するステップと、を備えた方法により製造される。別の実施形態では、基板支持体を形成する方法であって、本体に溝を形成するステップと、その溝に加熱素子を配置するステップと、溝を攪拌溶接して、加熱素子を収容するように閉じるステップとを備えた方法が提供される。 （もっと読む）

自動車の窓用デフロスタアセンブリは、透明パネルと、ロボット分配機構によって透明パネルと一体形成されたデフロスタグリッドとを含む。デフロスタは、部分的に線形に形成された第１および第２の導電性母線と、第１の母線と第２の母線の間に延び、それに接続される複数の導電性グリッド線とを含む。
（もっと読む）

【課題】 熱源体の経路や熱源体の端子の配置の自由度が高く、その結果、温度分布を十分に最適化することができるとともに端子の取り合い位置を自由に設計できるサーモプレートを提供する。
【解決手段】 伝熱体としてのプレート２と、線状または管状に形成され、プレート２の板面に形成された溝部２ａ〜２ｅ内に、溝部２ａ〜２ｅの底部に沿って組み込まれた、それぞれ発熱または冷却可能な複数の熱源体４ａ〜４ｅとを備え、複数の熱源体４ａ〜４ｅのうちの少なくとも一組は、互いに交差するよう配設され、当該交差する熱源体４ａ〜４ｄと熱源体４ｅとがそれぞれ組み込まれる各溝部２ａ〜２ｄと溝部２ｅとは、互いに異なる深さに形成されている。 （もっと読む）