【課題】 均熱板にウエハを支持するウエハ加熱装置において、均熱板の載置面が凹状になると、中心付近で均熱板とウエハの間のギャップが大きくなるので、特に、均熱板の温度設定を変更したり、ウエハを交換したりした際の昇温過渡時に中心部の加熱が遅れ気味になり、その結果ウエハ面内の温度分布が大きくなるという課題があった。
【解決手段】 セラミックスからなる均熱板の一方の主面をウエハの載置面とし、他方の主面もしくは内部に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を前記他方の主面に具備してなるウエハ加熱装置において、前記均熱板の載置面を凸状にする。 （もっと読む）

【課題】
ヒータを形成させる作業が容易で、ヒータの厚みを抑えることが可能で、意図した熱量を効率的にミラーに伝達することが可能なミラー用面状ヒータを提供することにある。
【解決手段】
所定の電気抵抗を有する導電性の塗膜で、反射材の裏面に帯状に直接塗布されてなる発熱塗膜と、発熱塗膜の両端にそれぞれ設けられた電極とを備え、電極が帯状で略平行に２本配設され、発熱塗膜が２本の電極間に複数本架設されると共に、複数の発熱塗膜が互いに略平行に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】セラミックスヒータの非通紙部を記録紙が通過した場合における定着性の低下を防止する。
【解決手段】長尺のセラミック基板１１の長手方向に平行して発熱抵抗体１２，１３を形成する。発熱抵抗体１２，１３の一端には通電用の電極１４，１５を、他端には接続導体１６を接続し、発熱抵抗体１２，１３を直列的に接続する。発熱抵抗体１２の両端には発熱抵抗体１２から漸次幅を広くした端部発熱抵抗体１２１，１２２をそれぞれ形成する。発熱抵抗体１３の両端には発熱抵抗体１３から漸次幅を広くした端部発熱抵抗体１３１，１３２をそれぞれ形成する。電極１４，１５以外は、発熱抵抗体、端部発熱抵抗体、それに接続導体上をオーバーコート層１７で覆い、電気的、機械的、化学的な保護を行う。端部発熱抵抗体１２１，１２２，１３１，１３２を記録紙が通過した場合も、端部発熱抵抗体により、絶縁基板端部領域での中央領域からなだらかに温度低下させ、加熱不良を解消させる。 （もっと読む）

【課題】加熱効率に優れるとともに、製造コストが比較的低く、さらに大型に作製しても不都合がない加熱装置。
【解決手段】加熱装置Ｄ１は、上下一対の基板半体からなるアルミニウム合金製基板１を備えてなる。すなわち、基板１は、一対の基板半体の一方としての上部基板２と、基板半体の他方としての下部基板３とからなる。加熱装置Ｄ１はさらに、基板１を加熱することで、上部基板２に載置された被処理物を加熱するための加熱管（ヒーター）５０と、基板１を冷却することで、上記被処理物を冷却するための冷却管（冷却用ガス流通管）６０とを備えている。ヒーター５０を嵌め込むための溝２ａ，３ａとヒーター５０との間隙およびガス流通管６０を嵌め込むための溝２ｂ，３ｂとガス流通管６０との間隙は、熱伝導性部材としてのシリコーンゴム製シート５をこれらの間隙に配設することで塞がれている。 （もっと読む）

【課題】 ウエハの大口径化及び配線の微細化に伴って要望される高い均熱性及び信頼性を有するウエハ保持体を提供する。
【解決手段】 ウエハを載置して加熱する加熱体１１と、この加熱体１１をチャンバー内で支持する支持部材１５とからなる半導体製造装置用ウエハ保持体であって、加熱体１１は、そのウエハ載置面を複数の領域に分割して得られる各領域毎に、加熱体１１内に埋設されている発熱体１２ａ、１２ｂと、発熱体１２ａ、１２ｂに接続されている電極部１３ａ、１３ｂと、発熱体部１３ａ、１３ｂが埋設されている領域の温度を測定する温度測定素子部１４ａ、１４ｂとを有しており、支持部材１５は、電極部１３ａ、１３ｂと温度測定素子１４ａ、１４ｂとを全て内包し、且つウエハ載置面上に載置されるウエハを着脱するためのリフトピンを内包していない。 （もっと読む）

【課題】定着用ヒータとしての特性に優れた材料を発熱体とする定着用ヒータを提供する。
【解決手段】フラン樹脂、塩素化塩化ビニル樹脂などの炭素含有樹脂に窒化硼素などの導電阻害物質となり得る金属または半金属化合物を混合し、基材上にスクリーン印刷により発熱体のパターンを形成し、１０００℃程度の温度で焼成してＮＴＣ特性の定着用ヒータを得る。 （もっと読む）

【課題】面状ヒータで発生した熱エネルギーを被加熱物に伝導する効率を従来よりも上げる。
【解決手段】ヒータ１０は線状発熱体、第１絶縁体板２１、第２絶縁体板２２、第３絶縁体板２３、断熱部材３０、カバー３３、第１端子および第２端子を備える。第１絶縁体板２１に巻き付けられた線状発熱体を第２絶縁体板２２と第３絶縁体板２３により挟む。第３絶縁体板２３の外側に断熱部材３０が配設される。第２絶縁体板２２および断熱部材３０を被うように熱伝導性あるカバー３３が配設され、第１端子が線状発熱体の第１の所定箇所に接続され、第２端子が線状発熱体の第２の所定箇所に接続される。 （もっと読む）

【課題】リム部内に組み付けられた状態においてシート状発熱体にしわが生じることを抑制するとともに、リム部に設けられる電線引き回し用のスペースを低減すること。
【解決手段】リム部の内部に設けられるシート状発熱体２５は、平面状態においてリム部芯体２２の軸線Ｐに沿った円弧形状の第１ヒータ部２７と、平面状態においてリム部芯体２２の軸線Ｐに沿った円弧形状の第２ヒータ部２８とを備えている。そして、第１ヒータ部２７と第２ヒータ部２８とは、接続部２９を介して接続されている。第１ヒータ部２７には第１ヒータ線３１が接続された一対の端子部３８が設けられている。また、第２ヒータ部２８の第２ヒータ線３３は、第３シート状基材４３及び第１シート状基材３０に亘るように設けられた接続用ヒータ線４４を介して、端子部３８と接続されている。 （もっと読む）

【課題】発熱抵抗体とコネクタとの距離を離さない場合においてもコネクタとの接触不良の発生を抑えるようにする。
【解決手段】長尺平板状のセラミック基板１１の長手方向に平行してＡｇとＰｄ合金を主成分とする発熱抵抗体１２，１３を形成する。発熱抵抗体１２の一端には接続パターン１６を介して通電用の電極１４を、発熱抵抗体１３の一端には接続パターン１７を介して通電用の電極１５を他端には接続パターン１８を接続し、発熱抵抗体１２，１３を直列的に接続する。発熱抵抗体１２，１３上にはオーバーコート層１９を形成する。電極１４，１５は接続パターン１６，１７より厚くし、コネクタが嵌合される側には摺動部２０，２１が形成される。 （もっと読む）

【課題】電子写真方式による画像形成装置の定着装置のための発熱体として、耐熱性、絶縁性、及び、耐磨耗性に優れ、摩擦係数も低く、及び、ある程度熱伝導率も高い、保護層を設けた、新規な定着用ヒータを提供する。
【解決手段】基材と、前記基材上に設けられ、少なくともアモルファス炭素を含む炭素系発熱体層と、前記炭素系発熱体層を被覆する、耐熱樹脂体質材中に金属または半金属化合物を混合した第一の保護層と、さらに前記保護層を被覆する、融点が５００℃以下のガラスからなる第二の保護層とを具備したヒータとする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マイグレーションパターンにより抵抗発熱体の耐久性をより向上させることを目的とする。
【解決手段】長手方向に延び、第１主面および第１主面と対向する第２主面を備える長板状のセラミック基体と、第１主面上に配置され長手方向先端側に配置された発熱部及び長手方向に延びるように第１主面上に配置され、発熱部に電流を供給する一対の発熱リード部を有する抵抗発熱体と、第２主面上に配置され、長手方向先端側に配置された導体部及び導体部と発熱リード部の一方とを接続する導体リード部、を有するマイグレーションパターンと、を備えるセラミックヒータは、第１主面と第２主面との対向方向に見たときに導体部の面積は発熱部の面積より大きい。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム製の支持板を使用したものであっても、高温時の剛性を確保し、高温の下で反りや曲がりが無く、しかもアルミニウム製の支持板としての諸特性（耐食性の優れた絶縁皮膜いわゆるアルマイト処理）を満足することが出来る基板加熱プレートヒータを得る。
【解決手段】基板加熱プレートヒータは、金属製の板体からなる支持板１と、この支持板１の中に埋設されたヒータ線３とを有する。支持板１にヒータ線３に沿って同支持板１より剛性の高い補強部材４が埋め込まれ、この補強部材４が支持板１と同じ材質の蓋体７により覆われている。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１層のグレージング材料と、アンテナと、加熱回路を形成している導電体の配列と、を具えている加熱車両窓を開示している。加熱回路は、複数の導電体と、導電体が接続され、直流を供給するための少なくとも２つのバスバーと、を具える。別個の導電層は、少なくとも２つのバスバーの少なくとも一部分を、直流的には電気絶縁状態で覆うように設けられている。バスバーおよび別個の導電層は、交流が存在する際には、キャパシタとして働く。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの透明な電気絶縁性の基材（１）と、少なくとも１つの導電性材料（２．１）を含んでおり、または少なくとも１つの導電性材料（２．１）で作られており、透明な電気絶縁性の基材（１）の大部分を覆っている構造化された透明コーティング（２）と、導電性材料（２．１）の存在しない電気絶縁領域（２．２）を含む構造と、少なくとも１つの局所に限定され、構造化され、電気的に加熱可能である透明領域（２．３）と、少なくとも１つの導電性の透明領域（２．４）と、コーティング（２）に電圧を印加するための少なくとも１つの電気接点（３）と、を備えている図１による透明物体に関する。コーティング（２）が構造化されており、少なくとも１つの電気接点（３）は、電圧が印加されたときに電流が少なくとも領域（２．３）を通って流れるように接続されている。さらに、この透明物体の製造方法および使用も提示される。
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【課題】簡易な構成で、熱効率、信頼性及び保守性に優れた面状発熱体を提供する。
【解決手段】発熱体１と、コーティング層３を介して該発熱体１を挟み込む加熱板２とを有する面状発熱体１０において、前記コーティング層３は、前記加熱板の厚み方向のうち前記発熱体に対向する該加熱板のそれぞれの面に、窒化珪素又はアルミナを含むセラミックス材料で形成され、かつ、該コーティング層３に、線状又は箔状の該発熱体１を収容するための溝部４が形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】非通紙部に相当する温度上昇の抑制を図る。
【解決手段】長尺平板状のセラミック基板１１の長手方向に平行してＡｇとＰｄ合金を主成分とする発熱抵抗体１２，１３を形成する。発熱抵抗体１２，１３の一端には通電用の電極１４，１５を、他端には接続導体１６を接続し、発熱抵抗体１２，１３を直列的に接続する。発熱抵抗体１２，１３上にはオーバーコート層１７を形成する。オーバーコート層１７上にはオーバーコート層１７同材料で複数の凸状部１８を一体的に形成する。凸状部１８は、セラミック基板１１の長手方向の両端に向けて漸次高さを高くする。これにより、非通紙部となるヒータ端部ほど凸状部１８が高くすることで放熱性の向上させ、非通紙部における温度上昇の抑制に寄与することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】熱放射効率が改善されて、省エネルギー化に貢献し、健康にも寄与し得る天井放射暖房発熱パネルを提供すること。
【解決手段】パネル基板１と、該パネル基板１上に設けられ、かつ発熱体３が不燃性塗膜６で絶縁被覆されて形成された電極４、５を有する薄膜状発熱体２と、該薄膜状発熱体２上に設けられた不燃性遠赤外線放射膜７を含み、前記薄膜状発熱体２に対する通電により、前記不燃性遠赤外線放射膜７を介して放射された輻射熱により前記室内が暖房される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、面熱源に関する。
【解決手段】本発明の面熱源は、基板と、該基板の表面に設置された加熱素子と、該加熱素子と電気的に接続された少なくとも二つの電極と、を含む。前記加熱素子が少なくとも一本のカーボンナノチューブ線状構造を含み、該カーボンナノチューブ線状構造が複数のカーボンナノチューブを含む。前記カーボンナノチューブ線状構造が、少なくとも一本のカーボンナノチューブワイヤを含み、単一の前記カーボンナノチューブワイヤが複数のカーボンナノチューブを含む。 （もっと読む）

【課題】均等な熱エネルギーの放散が可能で、温度を制御することもできる面状発熱ユニット体およびこれを用いた暖房器具を提供する。
【解決手段】一対の電極部４，５と、通電されてジュール熱を発生させる発熱性金属フィルムの抵抗発熱部６と、熱を発生しない複数の受熱部７とからなる熱放散部２が形成され、抵抗発熱部６は、２つの側部通電部６ａと、この両側部通電部６ａに対しこれらの間に平行に配設された複数の中間通電路６ｂと、側部通電路６ａと中間通電路６ｂとの端部間および中間通電路６ｂの各端部間をそれぞれ接続する連結通電路６ｃとからなる通電経路パターンに形成されている。受熱部７は、各側部通電路６ａから突出する配置と、中間通電路６ｂから突出する配置とで多数設けられている。暖房器具は、面状発熱ユニット体Ｈを収容部材の保持凹所に嵌め入れて、保持凹所を放熱板部材で密封する。 （もっと読む）

【課題】
従来のＳｉ合金電熱合金は、抵抗温度曲線が急峻な山の形状で、均一な温度分布が得がたい。温度の暴走、昇温不能に陥りやすい欠点がある。
【解決方法】
必須相成分としてＳｉ相と珪化物相が存在するミクロ組織を持つＳｉ電熱合金の珪化物相の面積率を２５体積％以上にすることで課題を解決する。またＳｉ成分の出発原料として９９質量％純度以下のシリコン原料を使用することを特徴とする。 （もっと読む）