プレート型固形油溶解ヒーターは、シーズヒータと、該シーズヒータの中間部と熱伝導関係にて該中間部の全体を覆うプレート状金属体と、前記シーズヒータの両端部を接続する外装体と、該外装体に設けられた取手と、前記外装体を通して前記シーズヒータに電力を供給するための電源接続体とを備える。
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【課題】本発明は、熱的衝撃による基板破損を防止することができ、基板の熱伝導率が低く抵抗発熱体の発熱量を効果的に定着処理に用いることができ、さらに非通紙部昇温を制御できる面状ヒータを提供することを目的とする。
【解決手段】面状ヒータは、絶縁基板、発熱体、電極、および耐熱絶縁層を備える。絶縁基板は、ポリイミド樹脂から成る。発熱体は、導電性物質が混合分散されたポリイミド樹脂から形成されており、絶縁基板上に設けられる。電極は、発熱体に電力を供給するためのものである。耐熱絶縁層は、絶縁基板と発熱体とを覆うように形成される。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ保持面の均熱性に優れ、半導体等製造装置や液晶製造装置等に用いるのに好適なセラミックスヒータを提供する。
【解決手段】 板状のセラミックス焼結体１に抵抗発熱体２が形成されていて、セラミックス焼結体外周縁１ａと実質的な抵抗発熱体領域外周縁２ａとの間のプルバック長さＬのばらつきが±０．８％以内であり、ウエハ保持面の全面における均熱性が±１．０％以下である。好ましくは、プルバック長さＬのばらつきを±０．５％以内とすることで、±０．５％以下の優れた均熱性を達成することができる。 （もっと読む）

電熱手段と、この電熱手段を電源に接続する導電材料の少なくとも１個のバスバー（１１）とを具える車輌用積層グレイジング（１０、３０）を開示する。グレイジング材料の少なくとも２個のプライ（２１、２２）と、これ等のプライ間に延在する中間層材料のプライ（２３）とから、グレイジング（１０、３０）を構成する。この電熱手段は配列するワイヤ（１２）、又は導電コーティング（３１）を有することができる。この導電材料は内部に分散した導電粒子（好適には銀フレーク）を有している重合体材料（好適には熱可塑性材料）である。更にａ）として車輌用積層グレイジング（１０、３０）の製造方法を開示する。この方法はグレイジング（１０、３０）の表面に導電材料を加える際、この導電材料に熱を与える工程を有し、これにより両者間を接着する。また、ｂ）として車輌用積層グレイジング（１０、３０）を製造する装置（７０）を開示する。この装置はグレイジング（１０、３０）の表面に導電材料を分配する手段（７２）と、導電材料が分配される前に、グレイジング（１０、３０）の表面を予熱する手段（７３）とを具える。
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【課題】 抵抗発熱体の配線間距離を最適化することによって、加熱処理時に損傷が発生せず、しかもウエハ表面の均熱性を高めた半導体製造装置用セラミックスヒーターを提供する。
【解決手段】 セラミックス基板２ａ、２ｂの表面又は内部に抵抗発熱体３を有する半導体製造装置用セラミックスヒーター１であって、抵抗発熱体３の互いに隣り合う配線間の距離を０．１〜５ｍｍ、好ましくは１．０〜５ｍｍとする。セラミックスヒーター１は、セラミックス基板２ａ、２ｂの表面又は内部に、更にプラズマ電極が配置されていても良い。また、セラミックス基板２ａ、２ｂは、窒化アルミニウム、窒化珪素、酸窒化アルミニウム、炭化珪素から選ばれた少なくとも１種が好ましい。 （もっと読む）

【課題】 単独でその形状を保持することができ、機械的強度が高く、簡単な方法で施工することができ、防水性、耐候性、耐食性などにも優れた硬質面状発熱体を提供すること。
【解決手段】 柔軟性を有する面状の発熱部１１と、この発熱部１１を内包するよう形成された硬化樹脂層２０とを有する。硬化樹脂層２０は、熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂による硬化樹脂を含有することが好ましく、繊維強化された硬化樹脂からなることが好ましい。また、発熱部１１は、発熱用導電性糸を含む横糸８と、絶縁性糸からなる縦糸１０と、横糸８の両端部に電気的に接続するよう配置される一対の電極線６とが織り込まれた織布５からなることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 セラミックスヒーターの形状、特に常温時の厚み方向における外径の変動を抑え、加熱処理時におけるウエハ表面の均熱性を高めた半導体製造装置用セラミックスヒーターを提供する。
【解決手段】 セラミックス基板２ａ、２ｂの表面又は内部に抵抗発熱体３を有する半導体製造装置用セラミックスヒーター１であって、非加熱時において、セラミックスヒーターの厚み方向における最大外径と最少外径の差を、ウエハ載置面における平均外径の０．８％以下とする。セラミックスヒーター１は、セラミックス基板２ａ、２ｂの表面又は内部に、更にプラズマ電極が配置されていても良い。また、セラミックス基板２ａ、２ｂは、窒化アルミニウム、窒化珪素、酸窒化アルミニウム、炭化珪素から選ばれた少なくとも１種が好ましい。 （もっと読む）

【課題】温度制御の故障によりヒータの発熱抵抗体の破損や絶縁基板の割れに至るまでの時間を長くして、温度ヒューズ等の他の安全素子が機能するまでヒータの破損を防止して安全性の向上を図る。
【解決手段】耐熱・絶縁性材料で形成した長尺平板状の絶縁基板１１上の長手方向に平行して銀／パラジウムを主成分とする導電性成分により発熱抵抗体１２，１３を形成する。直列接続された状態の熱抵抗体１２，１３に電極１４，１５から電力を供給する。少なくとも電極１４,１５を残した絶縁基板１１上にオーバーコート層１７を形成する。発熱抵抗体１２，１３間の全域もしくは発熱抵抗体１２，１３間の電位差が高い部分にオーバーコート層１７のないスリット１８を形成した。スリット１８は、温度制御の故障によりヒータ１００の発熱抵抗体１２，１３の破損や絶縁基板１１の割れに至るまでの時間が長くし、他の安全機能が働くまでヒータ１００の破損を抑え安全性の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】優れた均熱性を有するセラミックス部材を提供する。
【解決手段】セラミックス部材１０は、セラミックス焼結体１１と、セラミックス焼結体１１に接して形成された、金属元素を含む金属部材１２とを備える。セラミックス焼結体１１における金属部材１２周辺の変質層１１ａの厚さｔは３００μｍ以下に抑えられている。 （もっと読む）

【課題】抵抗値のばらつきも少なくして温度ムラを軽減させるとともに、熱伝導損失も抑えることのできるヒータを実現する。
【解決手段】長尺平板状の絶縁性基板１１の長尺方向の中央に第１の抵抗発熱体１２１を形成する。第１の抵抗発熱体１２１の両側に沿った基板１１上に第１の抵抗発熱体１２１より幅の狭い第２および第３の抵抗発熱体１２２，１２３を形成する。基板１１上に形成した第１の電極１３と第１の抵抗発熱体１２１の一端と電気的に接続する。第１の抵抗発熱体１２１の他端と第２および第３の抵抗発熱体１２２，１２３の一端を、基板１１上に形成した接続導体１４と電気的に接続する。第１の電極１３に近傍の基板上に形成した第２の電極１５と第２および第３の抵抗発熱体１２２，１２３の他端をそれぞれ電気的に接続する。ガラス製の保護層１９で少なくとも第１〜第３の抵抗発熱体１２１〜１２３を覆うようにした。 （もっと読む）

【課題】
発熱効果が高く、高温で安全に使用でき、製作コストの低い半導体電熱膜の製造方法の提供。
【解決手段】
上記の半導体電熱膜の製造の下記のステップで完成した。(1)塩化物及び硅化物を主体材料とし、金属化合物を混合し、溶剤を加えて原料とする。(2)調合剤として少量の無機酸を加え、主体材料を酸化、または還元させる。(3)基板を超音波と純水で洗浄し、高温炉に入れて徐々に加熱し、双態点温度に達したとき、ノズルから高温の調合された燒着原料の荷電粒子を基板に噴射燒着する。 （もっと読む）

【課題】抵抗発熱体の抵抗値を精度良く調整でき、基板加熱面の均熱性を確保することが可能な基板加熱装置の製造方法を提供する。
【解決手段】
セラミックス焼結体を作製する（Ｓ１０１）。セラミックス焼結体上に抵抗発熱体を形成する（Ｓ１０２）。セラミックス成形体を積層し、セラミックス焼結体と、抵抗発熱体と、セラミックス成形体を一体的に焼成する（Ｓ１０３）。基体と管状部材とを接合する（Ｓ１０５）。抵抗発熱体と端子とを接続する（Ｓ１０６）。処理前加熱装置の基板加熱面の温度分布を測定する（Ｓ１０７）。抵抗発熱体を変質させる変質処理を行って、抵抗値を調整する（Ｓ１０８）。 （もっと読む）

【課題】 セラミックヒーターの劣化した特性を修復する方法を提供する。
【解決手段】 炭素又は炭素複合材料からなる支持基材の表面に少なくとも１層の絶縁体層が形成され、該絶縁体層の上に導電体層が形成され、かつ該導電体層の上に少なくとも１層の誘電体層が形成されたセラミックヒーターの劣化した特性を修復する方法であって、該炭素又は炭素複合材料の上に形成された層を最外表面からその一部あるいはすべてを除去する第一の除去工程、第一の除去工程で除去した該炭素又は炭素複合材料の上に形成された層を再び形成する第二の形成工程を経ることにより特性を回復させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワイパーなどの凍結を防ぐための加熱用導電線条を有している車両用窓ガラスは、多くは加熱して曲げ加工を行って、成形される。本発明は、導電性加熱用導電線条の電気腐食を生じさせない、簡便な方法で製造できる自動車用窓ガラスの提供を課題とする。
【解決手段】車両用窓ガラスの加熱用導電線条の一部または全部を高分子系接着剤で被覆する。加熱用導電線条を被覆するために用いる高分子系接着剤には、エチレン系接着剤が特に有効である。 （もっと読む）

【課題】 表面材が自然石、人工石、タイルまたはガラスの薄片からなる表面材、ハニカムコア、裏面材（断熱材）および電熱線を一体化した暖房用部材であって、軽量で、熱効率が良く、かつ安価に製作できる暖房用ハニカムコアパネル部材の提供。
【解決手段】ハニカム１に溝４を加工し、その溝４に絶縁材で被覆した電熱線５を通して発熱パネルを作成し、その表面に、美麗であり、遠赤外線を発する自然石などの表面材２を貼りつけた暖房用部材であって、従来の暖房用部材に比べ、薄く軽量でかつ熱効率を高めた暖房用床、暖房用壁、暖房用パネルなどの暖房用ハニカムコアパネル部材。 （もっと読む）

【課題】ヒータプレートの大型化による変形を防止するとともに、熱伝導性が良く、耐久性の高いヒータプレート及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のヒータプレート１は、アルミニウム又はアルミニウム合金の部材２と部材３から構成されており、内部にヒータ回路４がヒータプレート全体に配設されている。部材２と部材３には、前記ヒータプレート外周部とヒータ回路４の全周両側に接合用嵌合部として溝部と凸部が設けられており、さらに補強用勘合部として溝部と凸部が複数設けられている。前記補強用接合部は、前記ヒータプレート外周部より内側に４０００／ｍ２以上設けるものとし、前記接合用嵌合部及び前記補強用勘合部の相互の距離を１８ｃｍ以内とする。 （もっと読む）

透明なプラスチックの光沢パネルの重要な視界領域で生成される熱の量を増大させるプラスチックのウインドウ及び霜取り器のアセンブリである。そのアセンブリは、透明なプラスチックのパネル及び約ミリオーム／スクエア＠２５．４μｍ（１ミル）未満の面抵抗率を有する導電性のインクを印刷することによって形成された導電性のヒータ・グリッドを備える。
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【課題】 浸透水に対する耐漏電性および長期にわたる耐久性に優れ、しかも熱効率が高い電気発熱体を使用する路面の融雪凍結防止構造、および車両走行によるわだち掘れ現象および施工車両の運行を考慮して融雪凍結防止構造を施工する施工方法を提供する。
【解決手段】 ワイヤメッシュ１４が埋設されたコンクリート舗装１３と路盤材１１との間に電気発熱体１が配設され、コンクリート舗装１３の表面から電気発熱体１までの距離が８０〜１２０ｍｍであるか、または、アスファルト舗装と路盤材との間に電気発熱体が配設され、アスファルト舗装の表面から電気発熱体までの距離が１２０〜１６０ｍｍである路面の融雪凍結防止構造である。また、融雪凍結防止構造を道路方向に平行して複数配置し、隣接し合う融雪凍結防止構造間の距離は少なくとも車両のタイヤの幅よりも広くするその施工方法である。 （もっと読む）

【課題】一枚当りの重量削減しても変形を有効に防止でき、しかも加熱のための電気容量を低減できる大面積加熱板を用いた加熱装置を提供する。
【解決手段】発熱体２を第一発熱体保持板３及び第二発熱体保持板１で挟持し、更に、第一発熱体保持板側に格子状支持板４を組み付けて保持して大面積加熱板を構成することにより、加熱板の変形を防止するとともに、加熱板の軽量化及び電気容量の低減化を可能とした。保温体で囲まれた保温室内に、この大面積加熱板少なくとも一枚を、大面積加熱板の少なくとも片面側に空間が残されるように取り付けて熱処理装置とする。 （もっと読む）

【課題】 加熱開始から冷却終了までの間の温度分布をより均一にできる加熱体及びこれを搭載した装置を提供する。
【解決手段】 本発明の半導体製造装置用加熱体は、被処理物を載置あるいは一定の距離を離して加熱する加熱面を有する基材と抵抗発熱体とから構成される加熱体であって、該加熱体を構成する基材の一部もしくは全ての材料が、単位体積当りの熱容量が２．０Ｊ／Ｋ・ｃｍ^３以上で、かつ熱伝導率が５０Ｗ／ｍＫ以上であることを特徴とする。 （もっと読む）