【課題】温度制御管理に関する機能性が高く信頼性を向上させる。
【解決手段】反応管及び反応管内部のウェーハを加熱処理するためのヒータと、上記反応管の温度を測定して上記ヒータの温度を調節する温度調節用の複数の第１の温度センサと、上記反応管の温度を測定して上記反応管の温度を監視する監視用の複数の第２の温度センサと、上記複数の第１の温度センサのうちの任意の第１の温度センサが故障したときは、上記故障した任意の第１の温度センサにより測定される温度に代えて、上記複数の第２の温度センサのうち上記任意の第１の温度センサの近傍に設けられた第２の温度センサにより測定される温度に応じて、上記ヒータヘの電力供給の制御を継続させる制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】グリル庫内の被調理物の重量を求めることができる加熱調理器を得る。
【解決手段】調理容器１０が載置されるトッププレート２を有する本体１と、本体１に設けられ、被調理物３２を出し入れ可能に前面が開口したグリル庫１７と、グリル庫１７内に設けられ、被調理物３２を加熱するグリル加熱手段と、複数の重量センサ５を有し、本体１の重量を検出する重量検知手段と、グリル加熱手段を制御する制御手段とを備え、重量検知手段の検出値の変化に基づき、グリル庫１７内の被調理物３２の重量を求め、該被調理物３２の重量に応じて、グリル加熱手段による加熱時間、加熱電力、および加熱パターンの少なくとも１つを制御する。 （もっと読む）

【課題】Ｈｉｇｈ−Ｌｏｗの切り替えができるとともに、温度過昇を防止することができるヒータユニット及びそれが組み込まれたシートを提供すること。
【解決手段】温度制御部３は、第一の温度制御サーモスタット１１と、第二の温度制御サーモスタット１２と、スイッチ３１からなり、上記第一の温度制御サーモスタット１１の動作温度が上記第二の温度制御サーモスタット１２より高く、これらが並列に接続されるとともに、上記スイッチ３１によってこれらが切り替えられる構造となっており、採暖部４が、少なくとも一つの採暖ヒータを有しており、温度過昇防止部５が、少なくとも一つの温度過昇防止サーモスタット５１を有しており、上記温度制御部３と上記採暖用ヒータ４と上記温度過昇防止部５が直列に接続されていることヒータユニット。 （もっと読む）

【課題】記録媒体のカール量を低減し、通紙性能の向上を図る。
【解決手段】定着ローラ５１と、該定着ローラ５１に圧接される加圧ローラ５２とを有し、その間に未定着画像を担持した記録媒体Ｓを通過させて未定着画像を記録媒体に定着させる定着装置５であって、加圧ローラ５２は、該加圧ローラ５２を加熱する加熱源５４と、表面温度を検知する少なくとも２以上の温度検知手段とを備え、加圧ローラ５２の記録媒体Ｓの送り方向に対する幅は定着ローラ５１の幅よりも広く、かつ、温度検知手段のうち少なくとも１つを記録媒体Ｓの通紙範囲内の表面温度を検知する位置に第１の温度検知手段５５として、温度検知手段のうち少なくとも１つを定着ローラ５１に圧接されない端部側の表面温度を検知する位置に第２の温度検知手段５６として備える。 （もっと読む）

【課題】立上がり時間が速く、温度安定時の温度変化を感じない快適なシートヒータにおける制御装置を提供すること。
【解決手段】ヒータ温度検出部２と、温度設定部３と、コントロール部４と、電圧可変部５と、電源オン／オフ部６と、雰囲気温度検出部７とを備え、コントロール部４は供給電源電圧を検出し、ヒータ温度検出部２で検出したヒータ温度と温度設定部３の温度設定との偏差を演算し、立上がり時のヒータ温度のオーバーシュートを抑えつつ立上がりが最速となるようヒータ電圧を可変制御することにより、供給電源電圧に依存することなくヒータ電圧を昇圧して立上がり時間が速くでき、ヒータ電圧を可変制御して立上がり時のヒータ温度のオーバーシュートを抑え、温度安定時の温度変化を感じないシートヒータを提供できる。 （もっと読む）

【課題】 ウエハの大口径化及び配線の微細化に伴って要望される高い均熱性及び信頼性を有するウエハ保持体を提供する。
【解決手段】 ウエハを載置して加熱する加熱体１１と、この加熱体１１をチャンバー内で支持する支持部材１５とからなる半導体製造装置用ウエハ保持体であって、加熱体１１は、そのウエハ載置面を複数の領域に分割して得られる各領域毎に、加熱体１１内に埋設されている発熱体１２ａ、１２ｂと、発熱体１２ａ、１２ｂに接続されている電極部１３ａ、１３ｂと、発熱体部１３ａ、１３ｂが埋設されている領域の温度を測定する温度測定素子部１４ａ、１４ｂとを有しており、支持部材１５は、電極部１３ａ、１３ｂと温度測定素子１４ａ、１４ｂとを全て内包し、且つウエハ載置面上に載置されるウエハを着脱するためのリフトピンを内包していない。 （もっと読む）

【課題】常に一定の温度制御と、１８５０度以上の高温領域における温度制御が可能な加熱処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】処理室と、処理室内に設けられた加熱物支持部材と、加熱物支持部材内に配置された加熱手段と、加熱物支持部材の温度を測定する温度測定手段とを有する加熱処理装置であって、温度測定手段が、処理室の周壁に設けられた加熱物支持部材の放射する赤外線エネルギーを透過可能な透過窓の外部に配置されており、温度測定手段が、加熱物支持部材の放射する赤外線エネルギーを集光する集光部と、赤外線内の２波長の強度比に基づいて温度を算出する算出部とを有する。 （もっと読む）

【課題】温度検知手段の異常と、片寄せ通紙による端部昇温を判別でき、画像不良の発生や加熱部材、加圧部材の劣化を防止できる画像形成装置を提供する。
【解決手段】定着ローラ９、加圧ローラ１０それぞれの両端部に端部サーミスタ１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂを備え、端部サーミスタ１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂの検知温度から得られる定着ローラ９、加圧ローラ１０の温度左右差や（Ｓｔｅｐ４）、定着ローラ９と加圧ローラ１０の温度上下関係（Ｓｔｅｐ２）に基づき、端部サーミスタ１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂの異常検知（Ｓｔｅｐ２−１，Ｓｔｅｐ４−３）及び端部昇温検知（Ｓｔｅｐ５）をおこなう。 （もっと読む）

【課題】温度検出素子の感度変化にかかわらず、適正に定着ローラの温度を制御でき、さらには、ヒータ制御部を構成するマイクロコンピュータの暴走や、ヒータへの通電を断続するトライアックの短絡故障等による異常過熱を検知する前にヒータへの通電を遮断できる定着温度制御装置を提供する。
【解決手段】被加熱媒体を加熱する定着ローラ２０の軸心方向に沿って複数の温度検出素子Ｔｈ１、Ｔｈ２が配置され、何れかの温度検出素子による検出温度に基づいて定着ローラ２０が目標温度になるようにヒータ２１を制御するヒータ制御部４０を備えた定着温度制御装置９であって、前記ヒータ制御部４０は各温度検出素子Ｔｈ１、Ｔｈ２による検出温度の差が所定値以上となったときに、前記検出温度が高い方の温度検出素子を選択し、選択した温度検出素子の検出温度に基づいて前記ヒータ２１を制御するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】電力使用系に対する電圧及び電流を正確に測定して精度の高い抵抗値を求め、断線の予測を精度良く行うことができる電力使用系の断線予測装置を提供する。
【解決手段】電力使用系４２Ａ〜４２Ｅに対して個別に各給電ライン４６Ａ〜４６Ｅを介して供給される電力を制御するようにした電力供給回路系２４に設けた断線予測装置２６において、各給電ライン毎に設けられ、異なる周波数のパルス波をオフ期間に対応させて発生するパルス波発生手段５２Ａ〜５２Ｅと、自己のパルス波発生手段にて発生したパルス波を混合させるパルス波混合手段５４Ａ〜５４Ｅと、伝送される自己のパルス波を検出するパルス波検出手段５６Ａ〜５６Ｅと、パルス波検出手段にて検出されたパルス波に基づいて電力使用系の断線予測を判断する判断手段５８とを備える。 （もっと読む）

【課題】流動物の加熱で生じる温度ムラを緩和、解消するとともに、加熱部への固形物の付着を抑制し、焦げ付きの発生を抑えて連続運転時間を大幅に延長することができる流動物の加熱装置を提供すること。
【解決手段】流動物を流路１内で連続的に移動させながら、流路１の一部に設けた加熱部２で加熱するようにした流動物の加熱装置において、加熱部２の下流側で分岐するとともに加熱部２の上流側に合流する循環流路３と、加熱部２を通過した流動物の一部を循環流路３に取り込んで再循環させる循環ポンプ４とを備えるようにする。 （もっと読む）

【課題】発熱体の第１電熱線と第２電熱線とに互いに逆方向の電流を流して発熱体から発生する電磁波を抑制することができ、且つ、第１電熱線及び第２電熱線のいずれかが半断線状態になった場合の安全を確保することができる電気採暖具を提供する。
【解決手段】第１電熱線１と第２電熱線２とが直列接続しており、第１電熱線１と第２電熱線２とに互いに逆方向の電流が流れる電気採暖具であって、入力端子Ｔ１−入力端子Ｔ３間の電圧と入力端子Ｔ２−入力端子Ｔ３間の電圧との比較結果に基づいて第１電熱線１及び第２電熱線２のいずれかが半断線状態になったことを検知する異常検出回路９と、異常検出回路９が第１電熱線１及び第２電熱線２のいずれかが半断線状態になったことを検知したときに第１電熱線１及び第２電熱線２の直列接続体への通電を遮断する遮断器１０とを備える電気採暖具。 （もっと読む）

【課題】断線による誤検知を防止し、できるだけ早い時間にて断線検知し、これを解消して画像形成動作を行うことができる定着装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】定着ローラ３１の温度制御を行うセンサが非接触センサ３９ｂ、３９ｃであり、この非接触センサは、対象物を測定するセンサと周囲温度を測定するサーミスタの二つを少なくとも設けており、検知温度はこの二つのセンサ出力値より決定され、その温度に基づいて定着ローラ３１の温度コントロールし、定着装置３０が設置された環境温度を測るセンサ３９ａを少なくとも一つ設けていて、周囲温度を測定するサーミスタが断線した場合に、該環境温度センサ３９ａが示す所定温度を閾値として、断線検知の判定方法を変えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】非通紙領域の温度を所定温度以下に維持して、定着装置部材の熱劣化やホットオフセットを防止し、かつスループット最大化を図る定着装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】ヒータ１０５は、第一の抵抗発熱体４０１と第二の抵抗発熱体４０２とを備え、サーミスタ１０１ａが検知する温度が所定の定着温度となるように、抵抗発熱体４０１、４０２に供給する電力を制御するＣＰＵと、２つ以上の定着条件によって抵抗発熱体４０１、４０２の通電比率を変更するＣＰＵとを有し、抵抗発熱体４０１、４０２の通電比率と、ヒータ１０５または定着ベルトの非通紙領域の上限温度とに応じて、サーミスタ１０１ｂが検知する閾値温度を変更し、サーミスタ１０１ｂが検知する温度が所定の閾値温度となった時に、単位時間当たりに定着処理を行う記録紙の枚数を変更する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でヒータの交換時期を判定して、ヒータの不具合による被処理基板の
不良を防止することができる半導体製造装置の電熱線の劣化判定方法及び半導体製造装置
を提供する。
【解決手段】縦型拡散炉は、筐体の内部には筒状ヒータ１１を有している。筒状ヒータ１
１の各ブロック２０Ａ〜２０Ｄには、それぞれ電熱線２４Ａ〜２４Ｄ及び温度センサ２６
Ａ〜２６Ｄが備えられている。例えば、Ｕブロック２０Ｄが所定温度から目標温度に昇温
されたとき、所定温度と目標温度との温度差と、所定温度から目標温度への変化に要した
第１経過時間とから単位時間当たりの第１温度変化量を算出する。そして、第１温度変化
量が、交換が必要な程度に劣化した上部電熱線２４ＤによりＵブロック２０Ｄが所定温度
から目標温度に昇温された場合の単位時間当たりの劣化温度変化量よりも小さい場合には
、上部電熱線２４Ｄが劣化していると判定する。 （もっと読む）

【課題】熱応答性の異なる温度検知手段を適時使い分けることで、定着ベルト等の、走行する無端状の被加熱体の温度制御を行う、被加熱体の温度制御装置、これを用いた、複写機、ファクシミリ、プリンタ等の画像形成装置に用いられる定着装置及び定着方法、並びにこれらを用いたかかる画像形成装置及び画像形成方法の提供。
【解決手段】走行する無端状の被加熱体２１を加熱する加熱手段２５と、被加熱体２１の温度を検知する、互いに熱応答性の異なる複数の温度検知手段４０、４１と、温度検知手段４０、４１が検知した温度に基づいて、加熱手段２５による被加熱体２１の加熱の制御を行う温度制御手段とを有し、温度制御手段は、被加熱体２１の温度が立ち上がる前後において、制御を行うために用いる温度検知手段４０、４１を、熱応答性の低いものから熱応答性の高いものに切り替える。 （もっと読む）

【課題】遠赤外線放射体の温度の範囲の上限を６５０℃まで拡大することができ、よって、被加熱物の加熱範囲を拡大することにより、被加熱物の処理範囲を拡大でき、かつ、短時間に効率よく加熱処理することができる加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置は、枠体１２内に配設された加熱手段２２と、枠体の被加熱物に対向する面に設けられた均熱板１６に設けられた遠赤外線放射体１８とにより、遠赤外線放射体の表面温度を４５０℃から６５０℃に設定でき、遠赤外線放射表面から波長；３．１μｍ〜４．０μｍを放射する。 （もっと読む）

【課題】非干渉化制御などに好適な制御対象のモデル構造、それを用いた制御装置、温度調節器および熱処理装置を提供する。
【解決手段】制御対象モデル１を、２出力ｚ_１，ｚ_２の差を、フィードバック要素Ｐｆを介して２入力ｕ_１，ｕ_２に、正負を異ならせてそれぞれフィードバックする、すなわち、温度差（出力差）に応じて、一方から他方へ熱量（操作量）が移動するという現象に適合するモデル構造とし、このモデル構造を用いて、非干渉化器８によって、その干渉を打ち消すように構成している。 （もっと読む）

【課題】実際に定着する記録用紙の幅を認識することなく、定着部のヒートローラ内の長ヒータと短ヒータを切り替えることができる画像形成装置を提供する。
【解決手段】印刷実行指示があると、ヒートローラの温度制御を開始し、ヒートローラの端部の温度Ｔｂとヒートローラの中央部の温度Ｔａの差が所定のしきい値Ｔoより大きい場合、長ヒータをオフした後、中央部の温度Ｔａが定着温度Ｔαより低いか否かを判定して短ヒータのオン／オフを制御することにより、ヒートローラの温度を定着温度に維持する（ステップ101〜106）。また、端部の温度Ｔｂと中央部の温度Ｔａに差がない場合、短ヒータをオフした後、中央部の温度Ｔａが定着温度Ｔαより低いか否かを判定して長ヒータのオン／オフを制御することにより、ヒートローラの温度を定着温度に維持する（ステップ107〜110）。 （もっと読む）

【課題】 機器の異常な温度上昇を防止するために、温度過昇防止サーモスタット等の過熱保護部品が用いられる。しかし、この保護温度は一定であった。
【解決手段】 本発明は、保護温度の異なる温度過昇防止サーモスタット(6,7,8)を複数備え、この複数の温度過昇防止サーモスタット(6,7,8)を選択的に切り替える選択機構(9)を備える温度過昇防止装置である。また、本発明は、内部(2)の温度を検出する温度センサ(4)と、この温度センサ(4)の出力に応じて前記内部(2)の温度が所定の温度になるように加熱手段(3)の加熱を制御する制御部(10,12)と、前記内部(2)の温度に応じて前記加熱手段(3)の加熱を停止させる温度過昇防止サーモスタット(6,7,8)とを備える加熱装置(1)において、前記温度過昇防止サーモスタット(6,7,8)の保護温度を選択できる加熱装置である。 （もっと読む）